自动测量影像仪

芯片封装是保护芯片、实现电气连接的关键制程，封装尺寸精度、引脚平整度、焊盘位置度直接影响芯片焊接可靠性与使用稳定性，影像仪凭借非接触、高精度、多功能优势，成为芯片封装尺寸检测的设备。半导体芯片封装类型多样（SOP、SOIC、QFP、BGA、倒装芯片），尺寸微小（小封装尺寸 3mm×3mm），引脚密集（QFP 封装引脚数可达 100+，间距 20μm），材质脆弱（塑料封装易变形、金属引脚易弯折），接触式测量易导致引脚变形、封装破损。影像仪可实现非接触式全参数测量，检测参数包括：封装长、宽、厚度（精度 ±2μm）、引脚间距、引脚宽度、引脚共面度、焊盘直径、焊盘位置度、封装边缘平整度、引脚伸出长度一致性。针对 BGA 封装（球栅阵列），可测量锡球直径、锡球间距、锡球共面度，避免焊接时虚焊、短路；针对倒装芯片，可检测凸点高度、凸点间距、凸点位置精度，确保倒装焊接贴合。自动化编程测量可批量检测同类型封装芯片，单班检测 1500 件以上，效率提升 70%，同时规避人工接触导致的引脚变形，保障封装质量一致性。便携式影像仪小巧轻便，可灵活流转于车间现场与实验室完成跨场地检测任务。自动测量影像仪

AI 技术将持续深度赋能影像仪，从 “辅助检测” 升级为 “自主决策、自主优化”，成为半导体智能检测的驱动力，大幅提升检测效率、精度与智能化水平，适配半导体行业复杂、高精度、大批量的检测需求。未来 AI 将在影像仪中实现三大升级：一是 AI 自主学习与优化，影像仪可通过持续学习海量半导体工件图像与检测数据，自动优化测量算法、缺陷识别模型，无需人工重新训练，识别精度与稳定性持续提升；二是 AI 多任务协同检测，单台影像仪可同时完成尺寸测量、缺陷识别、轮廓分析、数据统计、制程预警等多任务，无需切换...自动测量影像仪影像仪亚像素定位技术加持，可将微小零件测量误差控制在微米级精密范围之内。

影像仪，全称光学影像测量仪，又称二次元测量仪，是基于高精度光学成像与数字图像处理技术的非接触式精密测量设备，用于二维平面尺寸与微观形貌的量化检测，是现代精密制造的 “光学标尺” 与质量管控设备。其定位聚焦 “微米 / 亚微米级精度 + 无损检测 + 高效批量测量”，完美适配半导体、电子制造、精密五金等领域微小化、高集成度工件的检测需求，尤其解决传统接触式测量（如卡尺、三坐标）易损伤工件、精度不足、效率低下的痛点，成为半导体全产业链（晶圆制造、芯片封装、测试检测）不可或缺的设备，支撑从 4nm、3nm 先进制程到传统分立器件的全维度质量管控。

影像仪的软件系统是实现智能化测量的 “大脑”，近年来在功能丰富度与操作便捷性上实现了跨越式升级。现代影像测量软件普遍具备图形化编程功能，操作人员无需专业编程知识，通过拖拽模块即可完成复杂测量流程的编制，支持批量工件的自动检测与数据输出。软件内置丰富的几何计算模块，不*能完成点、线、圆、弧等基础元素的测量，还能实现复杂轮廓的拟合、公差分析、形位公差评定等高级功能，如齿轮的齿廓公差、凸轮的曲线轮廓公差等。在数据处理方面，软件支持 SPC 统计分析，自动生成 CPK、PPK 等过程能力指数报告，实时监控生产过程的稳定性；同时具备数据追溯功能，所有测量数据均可关联工件编号、测量时间、操作人员等信息，满足质量追溯要求。操作界面采用可视化设计，支持多语言切换与自定义布局，配合高清触控屏，让新手也能快速上手；远程控制功能的加入，允许技术人员在异地对设备进行参数调整、程序编辑与数据查看，大幅提升了设备的使用灵活性。影像仪低功耗运行设计节能环保，长时间连续作业也能保持设备恒温稳定工作。

光源系统是影像仪精细成像的保障，其技术优化直接决定了测量精度与稳定性。现代影像仪普遍采用多波段 LED 复合光源，包含环形光、同轴光、斜射光、轮廓光等多种光源模式，可根据工件材质与特征灵活切换。针对反光强烈的金属零件，通过偏振光过滤消除反光干扰，让边缘轮廓清晰呈现；对于透明的塑料薄膜、玻璃工件，采用背光源透射成像，精细捕捉内部结构尺寸；而复杂曲面零件则通过多角度斜射光组合，凸显表面凹凸特征。光源的亮度、色温均可通过软件无级调节，配合自动光源校准功能，确保不同批次、不同环境下的成像一致性。在半导体芯片检测中，通过紫外光与红外光的组合使用，既能捕捉芯片表面的线路纹理，又能穿透封装层观察内部焊点状态；在 PCB 板检测中，环形光与同轴光交替工作，精细识别焊盘尺寸与线路间距，光源系统的个性化适配能力，让影像仪突破了不同材质、不同特征的测量局限。影像仪采用非接触式测量方式，可完好保护易变形薄壁工件不产生挤压损伤。自动测量影像仪

晶圆搬送机无尘轨道行进设计，运行过程不扬起细微粉尘颗粒。自动测量影像仪

非接触测量是影像仪的优势，彻底颠覆传统接触式检测模式，通过高速 CCD/CMOS 摄像头捕捉工件高清影像，搭配多模式 LED 光源系统，无需与工件表面直接接触即可完成全尺寸检测，从根源上杜绝划伤、压伤、变形等损伤风险。在半导体行业，这一特点价值尤为突出：半导体工件（如超薄晶圆、倒装芯片、SOP 封装芯片、精密引线框架）具有材质脆弱、表面电路精细、镀金层易磨损、基板超薄（厚度 0.1-0.5mm）的特性，接触式测量极易造成电路破损、镀层脱落、基板开裂，导致工件直接报废。而影像仪的非接触模式可完美保护工件表面完整性，适配半导体各类易损精密元件的检测，尤其满足先进制程芯片（4nm、3nm）关键尺寸的无损检测需求，10% 的尺寸误差即可导致芯片失效，非接触测量可规避人为损伤与测量误差，保障工件良率。自动测量影像仪

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