同时,通过优化射频功率与气体流量,可在精度与速率间找到平衡:例如加工厚材料(如10μm的硅层)时,提高射频功率与气体流量,提升刻蚀速率,缩短加工时间;加工薄材料(如10nm的金属膜)时,降低功率与流量...
在半导体芯片制造中,等离子去胶机是贯穿“光刻-蚀刻-封装”全流程的关键设备,主要应用于两个**环节。一是光刻后去胶,去除晶圆边缘及背面的光刻胶(EBR工艺),避免边缘胶层影响切割精度,或背面残留污染光...
等离子刻蚀机表面改性与多材料兼容的优势表面改性是等离子刻蚀机的重要功效之一,指通过等离子体作用改变材料表面物理或化学性质,无需改变材料本体性能,即可满足后续工艺需求。表面改性主要包括三类:一是表面粗糙...
等离子去胶机设备**结构——真空腔体的设计要点真空腔体作为反应容器,设计需兼顾密封性、耐腐蚀性与易维护性。材质选用304或316L不锈钢,内壁精密抛光(粗糙度≤Ra0.4μm),减少胶层残留附着;**...
去胶过程结束后,设备会自动停止等离子体生成,关闭气体供应,然后通入惰性气体(如氮气)破真空,待腔体压力恢复至大气压后,操作人员打开腔体取出基材,进入后处理与质量检测阶段。后处理主要是用无尘布轻轻擦拭基...
等离子去胶机的功能围绕“清洁”与“预处理”两大**展开,具体可拆解为三项关键能力。一是精细去胶,能针对不同厚度(从几百纳米到几微米)、不同类型(如常规光刻胶、交联硬胶)的胶层,通过调节参数实现彻底去除...
等离子电浆机在设计上注重安全性,配备多重安全保护装置,保障操作人员与设备安全。设备的真空腔体采用**度不锈钢材质,能承受稳定的真空压力,避免腔体破裂;电气系统设有过载保护与漏电保护,当电流过大或出现漏...
可编程的工艺控制系统,可预设多种工艺参数模板,更换材料时只需调用对应模板,无需重新调试。多材料兼容让等离子刻蚀机可覆盖全品类芯片制造:例如在逻辑芯片中,需刻蚀硅(晶体管)、二氧化硅(绝缘层)、铜(互联...
射频电源是产生等离子体的重要部件,通过向反应腔室输入射频能量,使气体电离。不同频率的电源(如13.56MHz、27.12MHz)可产生不同密度的等离子体,适配不同刻蚀需求。29.等离子刻蚀机性能篇(腔...
OLED显示面板的基板(如玻璃基板、柔性PI基板)在光刻工艺后,需使用等离子去胶机去除残留光刻胶,以保证后续有机发光层、电极层的沉积质量。与半导体芯片不同,OLED基板面积更大(如8.5代线基板尺寸达...
等离子去胶机在PCB板制造中的线路去胶与表面活化应用PCB板线路制造中,等离子去胶机替代传统化学脱胶,避免了基材腐蚀。等离子去胶机以氧气为工作气体,室温下快速分解有机胶层,不损伤环氧树脂基材与铜线路,...
等离子去胶机在OLED显示面板制造中的基板去胶应用OLED基板(玻璃或柔性PI)面积大(如2200mm×2500mm)、耐热性差,对设备要求特殊。等离子去胶机等离子去胶机设备采用大面积平行板电极,配备...
随着芯片集成度提升,先进封装(如CoWoS、SiP、3DIC)成为突破性能瓶颈的关键,而等离子刻蚀机在此领域的应用场景也不断拓展,从传统的“前道工艺”延伸至“后道封装”环节。在3DIC封装中,刻蚀机主...
反应离子刻蚀(RIE)是主流刻蚀技术,结合物理与化学刻蚀优势:离子轰击提供方向性(物理),活性粒子与材料反应加速去除(化学)。这种结合实现了高各向异性与高选择性的平衡。设备需适配不同尺寸晶圆(如8英寸...
等离子去胶机的设备**结构——真空排气系统的功能实现真空排气系统负责维持腔体真空与排出反应产物,由多级真空泵与尾气处理装置组成。机械泵作为前级泵,将压力降至10-1Pa;罗茨泵或分子泵作为次级泵,进一...
在多层结构芯片加工中,选择性至关重要:例如刻蚀3DNAND的多层介质层时,需精细刻蚀氧化层而不损伤氮化硅层,若选择性不足,会导致层间短路,直接报废整片晶圆。重复性是保障芯片量产稳定性的关键性能,指在相...
标准操作流程——工艺参数设置与启动参数设置需结合基材与胶层特性,等离子去胶机的**参数包括气体种类及流量(如氧气200sccm)、射频功率(300W)、腔体压力(10Pa)、处理时间(5分钟)、腔体温...
等离子去胶机设备**结构——真空腔体的设计要点真空腔体作为反应容器,设计需兼顾密封性、耐腐蚀性与易维护性。材质选用304或316L不锈钢,内壁精密抛光(粗糙度≤Ra0.4μm),减少胶层残留附着;**...
等离子去浆机需精细控制面料张力,避免处理过程中面料褶皱或拉伸变形。设备的进料口与出料口均设有张力辊,通过调节张力辊的压力,控制面料在处理过程中的张力大小;对于轻薄面料(如丝绸、雪纺),需采用低张力(通...
衡量等离子刻蚀机性能的重要指标包括刻蚀速率、均匀性、选择性与图形保真度。刻蚀速率决定生产效率,需在保证质量的前提下尽可能提升;均匀性要求晶圆不同区域的刻蚀深度差异极小,通常需控制在5%以内;选择性指对...
工艺兼容性指设备与其他半导体制造工艺(光刻、沉积、掺杂)的匹配度。质量设备需适配不同的光刻胶类型、薄膜材料,保证刻蚀工艺与前后工序无缝衔接,不影响整体芯片性能。设备运行时会产生射频噪声、真空泵噪声,需...
部分先进设备支持无掩膜刻蚀,通过激光或电子束直接控制等离子体的刻蚀区域,无需光刻胶掩膜。这种方式简化了工艺步骤,适用于小批量、快速迭代的芯片研发。对需要高深宽比结构(如微机械传感器的悬臂梁、存储芯片的...
随着半导体工艺向3nm及以下节点推进,等离子刻蚀机呈现三大发展趋势:一是向更高精度突破,刻蚀尺寸需控制在1nm级别,以满足芯片集成度需求;二是向多功能集成发展,单台设备可实现刻蚀、清洗、表面改性等多种...
工作气体是决定等离子去胶机处理效果的重要变量,其选择需严格匹配基材特性与胶层类型,不同气体的作用机制差异直接影响**终结果。氧气作为**通用的气体,通过强氧化性将有机胶层分解为CO₂和H₂O,成本低且...
它可对晶圆边缘进行刻蚀,去除边缘多余的光刻胶或薄膜,避免边缘缺陷影响整片晶圆良率。边缘刻蚀需精细控制范围,防止损伤有效区域的电路结构。针对芯片的多层结构,设备可实现连续多层刻蚀,通过切换气体与工艺参数...
重要性能指标——去胶均匀性的技术保障去胶均匀性直接决定器件质量一致性,行业对半导体级设备要求偏差≤±5%,其技术保障集中在三点。一是采用多通道气体进气系统,通过精密流量控制确保气体在腔体内均匀扩散;二...
等离子刻蚀属于干法刻蚀,与依赖化学溶液的湿法刻蚀相比,具有刻蚀精度高、各向异性好、无液体残留的优势。虽成本较高,但能满足先进制程芯片的加工需求,已成为主流技术。设备需具备抗干扰能力,能抵御电网波动、环...
等离子电浆机为玩具行业的安全与品质提升提供支持,尤其针对塑料玩具的表面处理。塑料玩具表面通常需要印刷图案或粘贴标签,未经处理时油墨、胶水易脱落,儿童接触存在误食风险;经等离子处理后,玩具表面活性提升,...
等离子去胶机的操作预处理阶段是保障处理效果的基础,主要包括三个步骤。首先是基材清洁,操作人员需用无尘布蘸取异丙醇(IPA)轻轻擦拭基材表面,去除表面的灰尘和油污,避免杂质影响去胶效果;其次是基材固定,...
等离子去浆机的能耗远低于传统脱浆工艺,具体数据对比突出。传统化学脱浆工艺处理1吨面料,需消耗电能约50-80kWh,同时消耗大量热能加热水与药剂;而等离子去浆机处理1吨面料,只消耗电能15-25kWh...