南通晟辉微电子科技有限公司,位于南通苏锡通产业园区未来岛园区12号厂房,面积1755平米。是由上海交大刘鹏博士创办,团队主要人员在等离子和半导体领域有10年以上的工作经验。公司注重研发,拥有专业的研发团队和先进的研发实验室,已经和国内多家高校和科研院所建立了战略合作。南通晟辉定位于等离子技术的深度研发、产品形成梯次系列化,服务于电子信息产和新材料行业的微纳加工工艺,为客户提供全套的等离子系统方案。
刻蚀均匀性直接影响芯片良率,质量设备能让整片晶圆刻蚀深度、图形尺寸差异小于1%。它通过优化腔室结构、气体分布系统,保证等离子体在晶...
去胶速率是衡量等离子去胶机工作效率的**指标,指单位时间内设备能去除的光刻胶厚度,通常以“nm/min”或“μm/h”为单位。其速...
等离子去胶机的设备**结构——等离子体发生系统的组成等离子体发生系统由电源、电极、匹配网络构成,决定等离子体质量。电源分为13.5...
终点检测是设备的关键功能,通过实时监测刻蚀过程中的信号(如光学发射光谱、激光干涉信号),判断刻蚀是否达到目标深度或完全去除目标材料...
微波等离子清洗机利用2.45GHz微波能量激发气体产生等离子体,具有等离子体密度高、能量集中的特点。它无需电极,避免电极污染,适合...
设备稳定性决定长期运行可靠性,需在连续生产中保持工艺参数稳定。其通过耐用的腔室部件、实时监测与反馈系统,减少因部件损耗或环境变化导...
等离子去胶机在PCB板制造中的线路去胶与表面活化应用PCB板线路制造中,等离子去胶机替代传统化学脱胶,避免了基材腐蚀。等离子去胶机...
终点检测是设备的关键功能,通过实时监测刻蚀过程中的信号(如光学发射光谱、激光干涉信号),判断刻蚀是否达到目标深度或完全去除目标材料...
在芯片制造的缺陷修复环节,等离子刻蚀机可对微小缺陷(如多余的材料凸起)进行精细刻蚀去除。通过缩小刻蚀区域、降低粒子能量,实现对缺陷...