选择性与重复性的技术保障选择性是等离子刻蚀机实现“精细雕刻”的重要能力,指设备优先刻蚀目标材料、不损伤相邻或底层材料的程度,通常用“目标材料刻蚀速率与非目标材料刻蚀速率的比值”衡量,部分场景下选择性需...
部分先进设备支持无掩膜刻蚀,通过激光或电子束直接控制等离子体的刻蚀区域,无需光刻胶掩膜。这种方式简化了工艺步骤,适用于小批量、快速迭代的芯片研发。对需要高深宽比结构(如微机械传感器的悬臂梁、存储芯片的...
真空腔体是等离子去胶机的**反应容器,其性能直接影响去胶效果和设备稳定性。腔体材质通常选用304或316L不锈钢,具备优异的耐腐蚀性和密封性,可避免腔体生锈或气体泄漏影响等离子体质量;腔体内部需进行精...
等离子电浆机为木材加工行业的表面处理提供了环保方案,尤其适用于木材的涂装前处理。未经处理的木材表面存在油脂、树脂等杂质,且表面粗糙度不均,直接涂装易出现漆膜起泡、脱落;经等离子处理后,可去除表面杂质,...
射频电源是产生等离子体的重要部件,通过向反应腔室输入射频能量,使气体电离。不同频率的电源(如13.56MHz、27.12MHz)可产生不同密度的等离子体,适配不同刻蚀需求。29.等离子刻蚀机性能篇(腔...
等离子电浆机在包装行业中,主要用于提升包装材料的印刷与粘接性能。对于塑料包装膜(如PE膜、PP膜),未经处理时油墨难以附着,经等离子处理后,表面张力提升至38达因以上,油墨附着牢固度显著提高,且印刷图...
MEMS(微机电系统)器件(如加速度传感器、陀螺仪)的结构尺寸通常在微米级,且包含复杂的三维结构(如悬臂梁、空腔),传统湿法去胶易导致液体残留于空腔内,引发器件失效,而等离子去胶机的干式处理方式完美适...
TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)的像素层制造过程中,需在玻璃基板上形成精细的像素电路,光刻胶作为掩膜使用后,需通过等离子去胶机去除。像素层的电路线宽通常在几微米到几十微米,胶层残留会导致电路短路...
精度与均匀性的重要指标精度是衡量等离子刻蚀机性能的首要标准,直接决定芯片能否实现设计的电路功能。先进等离子刻蚀机的刻蚀精度已达到纳米级别,部分机型可将图形尺寸误差控制在3nm以内,相当于人类头发直径的...
在大规模量产中,重复性直接影响生产成本——若每批次晶圆刻蚀结果差异较大,需频繁调整工艺参数,不仅降低生产效率,还会增加废品率。例如某芯片工厂每月生产10万片晶圆,若重复性误差从0.5%升至1%,每月会...
等离子去胶机的工作原理环节其工作原理可概括为“电离-反应-排出”三步闭环。首先,在射频或微波电源激发腔体内工作气体(如氧气、氩气),使其电离成含电子、离子、自由基的低温等离子体;接着,高能粒子通过物理...
等离子去胶机的工作原理可概括为“电离-反应-排出”三步闭环。首先,射频或微波电源激发腔体内工作气体(如氧气、氩气),使等离子去胶机的电离成含电子、离子、自由基的低温等离子体;接着,高能粒子通过物理轰击...
对比传统湿法去胶,等离子去胶机的优势体现在“处理效果”“环保性”“适配性”三个维度。处理效果上,湿法去胶易残留试剂与胶屑,均匀性偏差≥±10%,而等离子去胶可实现“零残留”,均匀性≤±5%;环保性上,...
等离子电浆机在汽车制造中是提升部件质量的关键设备,尤其适用于塑料与金属部件的预处理。汽车内饰的塑料面板(如仪表盘、门板)在喷涂前,表面张力低易导致油漆脱落,经等离子处理后,表面极性基团增加,油漆附着力...
均匀性是保障芯片量产良率的关键性能指标,指同一晶圆表面不同区域刻蚀深度、图形尺寸的一致性,质量机型可将均匀性误差控制在1%以内。要实现高均匀性,需从设备结构与工艺设计两方面突破:在结构上,反应腔室采用...
随着精密制造行业的升级,等离子去胶机的发展呈现三大趋势。一是精度纳米化,针对3nm及以下制程芯片,研发脉冲直流等离子体技术,将基材损伤率降至0.01%以下,实现纳米级胶层的精细去除;二是效率集成化,开...
等自理去胶机在半导体晶圆制造中的光刻后去胶应用晶圆光刻后,需去除边缘及背面的光刻胶(EBR工艺),避免后续工序异常。此时等离子去胶机采用低功率(100-200W)、高均匀性模式,以氧气为工作气体,在3...
空系统是等离子刻蚀机的“呼吸***”,其性能直接决定等离子体稳定性与刻蚀均匀性。刻蚀过程需在高真空环境(通常为10⁻³~10⁻¹Pa)中进行,原因有二:一是避免空气中的氧气、氮气与刻蚀气体或晶圆材料反...
它能将光刻胶上的电路图形精细转移到下层材料,是芯片制造中“图形化”的精确步骤。通过等离子体的定向反应,让光刻胶图形复刻到硅片等基底上,为后续沉积、掺杂等工艺打下基础。7.等离子刻蚀机功效篇(表面改性)...
等离子电浆机的低温处理特性,使其成为热敏性材料加工的理想选择。许多材料(如PET薄膜、纸张、生物医用高分子材料)耐高温性能差,传统高温处理易导致变形、老化或性能失效。而等离子等离子电浆机处理通常在室温...
常用工作气体的特性与适配场景不同工作气体的作用机制差异***,需根据工艺需求精细选择。氧气是通用型气体,通过氧化反应分解有机胶层,成本低、环保,适用于半导体芯片、PCB板的常规去胶;氩气为惰性气体,*...
重要性能指标——去胶均匀性的技术保障去胶均匀性直接决定器件质量一致性,行业对半导体级设备要求偏差≤±5%,其技术保障集中在三点。一是采用多通道气体进气系统,通过精密流量控制确保气体在腔体内均匀扩散;二...
等离子电浆机在医疗器械行业中,主要用于表面消毒与生物相容性改性。对于注射器、手术刀片等金属器械,等离子处理可通过高能粒子杀灭表面细菌、病毒等微生物,且无化学消毒剂残留,避免了传统消毒可能带来的腐蚀问题...
重要性能指标——去胶均匀性的技术保障去胶均匀性直接决定器件质量一致性,行业对半导体级设备要求偏差≤±5%,其技术保障集中在三点。一是采用多通道气体进气系统,通过精密流量控制确保气体在腔体内均匀扩散;二...
等离子去浆机的处理效果受多个技术参数影响,重要包括处理功率、气体种类、处理时间与真空度。处理功率过低,等离子体能量不足,无法彻底分解浆料;功率过高则可能损伤纤维。气体方面,氧气型等离子体氧化性强,适合...
等离子去胶机的设备**结构——真空排气系统的功能实现真空排气系统负责维持腔体真空与排出反应产物,由多级真空泵与尾气处理装置组成。机械泵作为前级泵,将压力降至10-1Pa;罗茨泵或分子泵作为次级泵,进一...
当前等离子去胶机在高精度、高难度场景中仍存在技术痛点,对应的突破方向已成为行业研发重点。一是“深腔均匀性”痛点,针对MEMS器件中深度超过200μm的空腔结构,现有设备易出现腔口与腔底去胶不均(偏差≥...
随着半导体工艺向3nm及以下节点推进,等离子刻蚀机呈现三大发展趋势:一是向更高精度突破,刻蚀尺寸需控制在1nm级别,以满足芯片集成度需求;二是向多功能集成发展,单台设备可实现刻蚀、清洗、表面改性等多种...
去胶均匀性是保障器件质量一致性的关键性能指标,通常用“±X%”表示,指在处理区域内不同位置去胶厚度的偏差程度,行业内对半导体级设备的要求普遍在±5%以内。影响均匀性的**因素包括腔体内等离子体分布、气...
等离子刻蚀机是半导体制造中的关键工艺设备,等离子刻蚀机通过特定技术将惰性气体或反应性气体(如氟气、氯气)电离为等离子体,利用等离子体中的高能离子、电子与活性基团,对晶圆表面的薄膜材料进行选择性物理轰击...