肾脏组织微流控器官芯片（KoC）：传统方法或常规方法的局限性，例如细胞功能和生理学的变化或不适当，使得肾单位的病理生理学研究不准确且容易出错。相比之下，与微流控技术的集成已被证明可以产生更好和更精确的...

三维微纳结构的跨尺度加工技术：跨尺度加工技术实现了从纳米级到毫米级结构的一体化制造，满足复杂微流控系统对多尺度功能单元的需求。公司结合电子束光刻（EBL，分辨率10nm）、紫外光刻（分辨率1μm）与机...

微纳结构的台阶仪与SEM测量技术：台阶仪与扫描电子显微镜（SEM）是微纳加工中关键的计量手段，确保结构尺寸与表面形貌符合设计要求。台阶仪采用触针式或光学式测量，可精确获取0.1nm-500μm高度范围...

微流控芯片与传感器集成的模块化加工方案：为满足“芯片即实验室”的集成化需求，公司提供微流控芯片与传感器的模块化加工服务，实现流体控制与信号检测的一体化设计。在生物传感芯片中，微流道下游集成电化学传感器...

MEA柔性电极：MEMS工艺开发的MEA（微电极阵列）柔性电极，是脑机接口（BCI）与类***电生理研究的**技术载体。该电极采用超薄柔性基底材料（如聚酰亚胺或PDMS），厚度可精细控制在10-50微...

硬质塑料微流控芯片的耐候性设计与工业应用：在工业检测与环境监测领域，硬质塑料微流控芯片因耐高低温、抗化学腐蚀的特性成为优先。公司针对PMMA、PS等材料开发了紫外稳定化处理工艺，使芯片在-20℃至60...

MEMS多重转印工艺与硬质塑料芯片快速成型：针对硬质塑料芯片的快速开发需求，公司**MEMS多重转印工艺。通过紫外光固化胶将硅母模上的微结构（精度±1μm）转印至PMMA、COC等工程塑料，10个工作...

MEMS制作工艺-微流控芯片： 微流控芯片技术(Microfluidics)是把生物、化学、医学分析过程的样品制备、反应、分离、检测等基本操作单元集成到一块微米尺度的芯片上，自动完成分析全过...

三维微纳结构的跨尺度加工技术：跨尺度加工技术实现了从纳米级到毫米级结构的一体化制造，满足复杂微流控系统对多尺度功能单元的需求。公司结合电子束光刻（EBL，分辨率10nm）、紫外光刻（分辨率1μm）与机...

在MEMS微纳加工领域，公司通过“材料创新+工艺突破”双轮驱动，为医疗健康、生物传感等场景提供高精度、定制化的微纳器件解决方案。公司依托逾700平米的6英寸MEMS产线，可加工玻璃、硅片、PDMS、硬...

微流控芯片加工的跨尺度集成技术与系统整合;公司突破单一尺度加工限制，实现纳米级至毫米级结构的跨尺度集成，构建功能复杂的微流控系统。在芯片实验室（Lab-on-a-Chip）中，纳米级表面纹理（粗糙度 ...

微针器件的干湿法刻蚀与集成传感：基于MEMS干湿法混合刻蚀工艺，公司开发出多尺度微针器件。通过光刻胶模板与各向异性刻蚀，制备前列曲率半径<100nm、高度500微米的中空微针阵列，可无创穿透表皮提取组...