在系统中设置吸附装置(如低温吸附阱、分子筛吸附器等),利用吸附材料对气体分子的吸附作用,去除系统内的残余气体。低温吸附阱通常采用液氮作为冷却介质,能够有效吸附水蒸气、二氧化碳等气体;分子筛吸附器则对氮...
优化运行环境:对螺杆真空泵的运行环境进行严格控制,减少振动、噪音和电磁干扰等不利因素的影响。可以采用减振措施、降低噪音水平、加强电磁屏蔽等措施。螺杆真空泵的工作压力范围,是指该泵在正常工作条件下,能够...
管路设计对有效抽速的影响可达30%-50%,优化措施包括:管径选择:主管道直径应不小于泵入口直径,长度控制在泵入口直径的10倍以内(如泵入口100mm,管道长度不超过1000mm);减少弯头:每个90...
油脂更换:对于需要润滑的部件,如轴承,应定期更换油脂。油脂的更换周期应根据实际情况确定,一般建议每3个月至半年更换一次。进气管道清洗:定期清洗进气管道,去除其中的尘埃、颗粒物等杂质,保持进气畅通。过滤...
干式螺杆真空泵在气体传输过程中的压缩作用对于其性能和应用具有重要意义:提高真空度:通过螺杆末端的压缩作用,干式螺杆真空泵能够将气体压缩至更高的压力水平,从而提高其极限真空度。这对于需要高真空度的应用场...
干式螺杆真空泵能够提供高真空度的抽取效果,适用于对真空度要求较高的工艺和实验。其工作压力范围宽广,能够满足不同工艺需求,从低真空到高真空均能实现有效抽取。这一特性使得干式螺杆真空泵在精密加工、电子制造...
螺杆真空泵的极限压力并非固定不变,而是受到多种因素的影响。以下是影响螺杆真空泵极限压力的主要因素:泵的结构设计:泵体容积、进气口和排气口的设计、螺杆转子的形状和尺寸等都会影响极限压力。合理的结构设计能...
气缸是水环压缩机的外壳,其主要作用是容纳工作液和气体,并为叶轮的旋转提供空间。气缸的内壁通常经过特殊处理,以减小工作液与气缸壁之间的摩擦阻力,提高设备的运行效率。气缸的结构形式有多种,常见的有单级单作...
隔声与减震:在干式真空泵的安装过程中,采用隔声罩、隔音墙等隔声设施将泵体与外界隔离;同时,在泵体与基础之间安装减震垫或减震器以减少振动传递。这些措施可以有效降低噪音的传播和扩散。管道布局优化:合理布局...
圆弧线型转子的加工精度也相对容易保证,而摆线型转子的加工难度则相对较大,需要高精度的加工设备和工艺。密封效果是衡量转子型线设计优劣的另一个重要指标。它反映了转子在旋转过程中对气体的密封能力。摆线型转子...
不同气体具有不同的压缩性和粘性,会对泵的抽气效率和极限压力产生影响。同时,过高的工作温度也可能导致泵内部件的热变形和磨损,从而降低极限压力。密封性能:螺杆真空泵的密封性能是影响极限压力的关键因素之一。...
控制系统根据设定真空度值,通过调节泵转速、阀门开度等方式,精确控制气体抽出速率,维持系统真空度稳定在特定值。如在半导体制造设备中,需将真空度稳定维持在10^-9Pa,控制系统会根据测量装置反馈,实时调...
腐蚀性气体(如氯气、氟化氢):会加速金属部件腐蚀(轴承、波纹管)和橡胶老化(O型圈),更换周期需缩短50%-60%。某氯碱厂的水环泵在处理湿氯气时,机械密封寿命从15000小时降至6000小时,且必须...
动态密封:气体压缩的空间屏障,水环基础的作用是形成动态密封,将气缸内部分割为单独的基元容积。在叶轮旋转过程中,液环内表面始终与叶片顶端保持微小间隙(通常0.1-0.3mm),这种“液体密封”比机械密封...
当前级泵建立基础真空后,罗茨泵通过齿轮传动带动两个转子反向同步旋转,转子啮合形成的封闭腔室随旋转运动将气体从进气口推送至排气口。由于转子不接触且间隙极小,气体在传输过程中几乎无压缩,而是通过“容积转移...
排气量是衡量真空泵性能的重要指标之一。在选择干式真空泵时,需要确保泵在其工作压强下能够排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。排气量不足会导致泵无法有效维持真空度,影响生产效率和产品质量。因此,在选型...
旋片机组的优势在于能获得中高真空(10⁻³Pa),且结构紧凑、成本较低。但其抽气性能受泵油状态影响明显——油蒸气会污染被抽气体,因此不适用于半导体制造等洁净要求高的场合;若处理含可凝性气体,易导致泵油...
涡轮分子泵机组能获得10⁻¹¹Pa超高真空,且抽速不受压力影响(在10⁻¹-10⁻⁸Pa区间保持恒定)。但其对安装姿态敏感(水平或垂直安装需对应不同型号),振动控制要求严格(振幅需<0.01mm),否...
螺杆真空泵能够抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,具有较强的适应性。这得益于其独特的螺杆结构和材料选择,使得泵体能够在恶劣的工作环境中保持较高的耐腐蚀性和耐磨性。螺杆真空泵能够高效抽除含有大量水蒸...
与干式螺杆真空泵相比,无油往复真空泵在抽气量上可能稍逊一筹,但其无油设计同样保证了真空环境的洁净度,且制造成本相对较低,是经济型真空解决方案的选择之一。爪式真空泵由多级转子构成,每级都包含两个相对旋转...
其内部有多层动叶片和静叶片相间排列,动叶片由电机驱动高速旋转,转速可达数万转每分钟。气体分子进入泵腔后,频繁碰撞高速旋转的动叶片,获得指向排气口的动量,经多级叶片加速后,被推向排气口排出。由于工作时转...
而传统油封式真空泵在面对腐蚀性气体时,其润滑油和密封部件容易受到损害,导致设备性能下降和维修成本增加。在半导体制造和光学设备制造领域,干式真空泵的应用尤为广阔。半导体制造过程中对纯净度的要求极高,任何...
这些成分将直接影响压缩机的材料选择、密封方式以及安全防护措施。气体特性:考虑气体的分子量、密度、粘度等物理特性,这些特性将影响压缩机的压缩效率、功耗以及运行稳定性。压缩效率:选择具有较高压缩效率的压缩...
气体从转子与泵壳之间的间隙被推向排气口后,沿着排气管道排出泵外。气体排出路径的顺畅程度直接影响着气体的排出效率。为了确保气体排出顺畅,排气管道的设计应尽量减少弯头和阀门,降低气体的流动阻力。排气压力是...
前级泵的抽气速率也需要与主泵相匹配。如果前级泵的抽气速率过小,无法及时将主泵排出的气体抽出,会导致主泵排气口压力升高,影响主泵的正常工作。因此,在选择前级泵时,需要根据主泵的排气量和极限真空度要求,选...
真空机组较高真空度的实现是一个复杂的过程,受到多种因素的综合影响,既有设备自身性能的限制,也有外部环境和系统状态的制约。重点泵作为真空机组抽气的关键部件,其自身的性能参数是决定机组较高真空度的首要因素...
它能够大量抽除可凝性气体、腐蚀性气体或含有微尘的气体。医药工业中,螺杆真空泵被用于回收药液及药物中间体,为人造组织生产提供清洁无菌条件,以及回收气体消毒剂等。这些应用要求真空泵能够抽除含有大量水蒸汽及...
工作压力与真空机组的匹配需建立在压力范围与机组性能的科学对应上。根据工业实践总结,不同工作压力区间对应着特定的机组类型:工作压力范围,对应真空度等级,重点机组类型,典型工艺案例,101325Pa-10...
干式螺杆真空泵以其无油运行、高真空度、低噪音、长寿命等特点,在半导体、生物医药、电子、核能等新兴行业得到了广阔应用。干式螺杆真空泵在处理腐蚀性气体时,其材料选择至关重要。泵体、螺杆、密封件等关键部件需...
半导体制造:在半导体芯片的生产过程中,需要高纯度的真空环境以避免杂质污染。干式螺杆真空泵能够提供稳定的真空环境并满足生产需求。光学薄膜制备:在光学薄膜的制备过程中同样需要高纯度的真空环境。干式螺杆真空...