EVG120特征:晶圆尺寸可达200毫米超紧凑设计,占用空间蕞小蕞多2个涂布/显影室和10个加热/冷却板用于旋涂和喷涂,显影,烘烤和冷却的多功能模块的多功能组合为许多应用领域提供了巨大的机会化学柜,用...
SmartNIL技术简介SmartNIL是基于紫外线曝光的全域型压印技术,可提供功能强大的下一代光刻技术,几乎具有无限的结构尺寸和几何形状功能。由于SmartNIL集成了多次使用的软标记处理功能,因此...
轮廓仪对所测样品的尺寸有何要求?答:轮廓仪对载物台xy行程为140*110mm(可扩展),Z向测量范围蕞大可达10mm,但由于白光干涉仪单次测量区域比较小(以10X镜头为例,在1mm左右),因而在测量...
EVG公司技术开发和IP总监MarkusWimplinger补充说:“我们开发新技术和工艺以应对jiduan复杂的挑战,帮助我们的客户成功地将其新产品创意商业化。技术,我们创建了我们的NILPhoto...
表面三维轮廓仪对精密加工的作用:一、从根源保障物件成品的准确性:通过光学表面三维轮廓仪的扫描检测,得出物件的误差和超差参数,积大提高物件在生产加工时的精确度。杜绝因上游的微小误差形成“蝴蝶效应”,造成...