万级净化车间地面需具备防尘、耐磨、防静电三重特性,常用防静电环氧树脂自流平地面与 PVC 卷材地面。环氧树脂自流平地面施工时,需先铺设导电铜箔网格(间距≤1.5m),再涂刷防静电底漆、中涂与面涂,总厚度≥2mm,表面电阻值控制在 10^6-10^9Ω,静电衰减时间≤1s;PVC 卷材地面需选用厚度≥2mm 的防静电卷材,卷材接缝采用热熔焊接,焊缝宽度≥10mm,焊接强度≥1.5MPa,且地面与墙面交接处需设置 50mm 高的挡水条,防止地面积水渗入墙体。地面设计需设置 0.5%-1% 的排水坡度,引导少量积水流向排水口,排水口需配备带密封盖的洁净地漏,地漏与地面的接缝用密封胶密封,确保无粉尘堆积与细菌滋生。噪声控制需考虑,选用低噪音设备。苏州万级净化车间建设

万级洁净厂房需通过压差控制防止空气逆流,确保洁净区空气流向从高洁净度区域流向低洁净度区域,洁净区与非洁净区的压差≥10Pa,不同洁净级别的区域之间压差≥5Pa。压差控制系统采用定风量阀或变风量阀,通过调节送风量与回风量来维持压差稳定,同时需在洁净区关键位置设置压差传感器,如洁净区与走廊、走廊与室外的交接处,传感器精度≤±1Pa,实时监测压差变化,并将数据传输至控制系统。当压差偏离设定值时,系统需自动报警,并调节阀门开度,恢复正常压差。此外,需定期对压差控制系统进行校准,校准周期≤6 个月,确保压差监测数据准确可靠,避免因压差失控导致洁净度下降。苏州万级净化车间建设风管需内壁光滑,不易积尘便于清洗。

万级洁净厂房竣工验收需按照 “分项验收→系统调试→综合检测→达标交付” 流程进行。分项验收包括地面、墙面、吊顶、电气、给排水等部位,检查材质、施工质量是否符合设计要求;系统调试包括空调系统(温湿度、压差、换气次数)、净化系统(洁净度、过滤器检漏)、消防系统(喷头、探测器功能),调试至参数达标;综合检测需委托第三方检测机构,检测项目包括洁净度(≥0.5μm 粒子≤3520 粒 /m³)、温湿度(22±2℃、45%-65%)、压差(洁净区与非洁净区≥10Pa)、噪声(≤65dB)、照度(≥300lux),检测点按每 50m²1 个设置;达标交付需整理验收资料(设计图纸、检测报告、施工记录),组织建设、施工、监理单位签字确认,出具验收合格报告,方可投入使用。
万级洁净厂房地面施工前,基层处理直接影响后续涂层质量,需严格把控三个环节:一是基层平整度控制,采用 2m 靠尺检测混凝土基层,平整度误差需≤2mm,若超标需用环氧砂浆找平,确保基层表面无凸起、凹陷;二是基层强度要求,混凝土基层抗压强度≥C25,表面硬度≥2.5MPa,需通过回弹仪检测,强度不足需重新浇筑或涂刷界面剂增强;三是基层清洁度处理,需用研磨机打磨基层表面,去除浮浆、油污与杂质,再用吸尘器清理粉尘,涂刷环氧底漆,底漆需均匀覆盖,无漏涂、流挂,确保与基层紧密结合,防止后期地面起壳、开裂。基层处理完成后,需静置 24 小时以上,待底漆完全固化后再进行自流平涂层施工。动力系统如电力要预留充足余量。

电子行业万级洁净区需防电磁干扰,墙面采用电磁屏蔽彩钢板,屏蔽效能≥80dB(30MHz-1GHz),彩钢板之间用导电胶条连接,形成整体屏蔽层;地面采用防静电导电地板,地板下方铺设铜箔接地网络,与墙面屏蔽层连接,形成立体屏蔽空间。设备布局需远离电磁干扰源,如变压器、高压电缆,敏感设备(如芯片测试设备)需单独设置屏蔽罩,屏蔽罩材质为铜网(网孔≤0.1mm),屏蔽效能≥60dB。此外,洁净区供电系统需设置电磁滤波器,过滤电网中的电磁干扰,滤波器安装在配电柜内,与设备电源连接,确保设备供电稳定,避免电磁干扰影响电子元件生产质量。设计前需明确生产工艺与洁净等级。南京无尘净化工程建设
换气次数决定洁净度,千级要求更高。苏州万级净化车间建设
万级洁净区排水系统需避免 “异味倒灌、细菌滋生”,排水管道采用 304 不锈钢材质,管道直径根据排水量确定,坡度≥0.005,确保排水通畅。排水口需设置水封装置,水封高度≥50mm,水封罐材质为不锈钢,便于清洁。若洁净区需设置地漏,需选用带密封盖的洁净地漏,地漏盖与地漏本体之间需设置橡胶密封垫,关闭后无泄漏;地漏内部需设置过滤网,过滤杂质,防止管道堵塞。排水系统需定期维护,每周清理地漏过滤网,每月用 0.5% 过氧乙酸溶液对地漏、水封罐进行消毒,每季度检查管道坡度,确保排水无积水,避免细菌滋生。苏州万级净化车间建设