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南京无尘净化工程

来源: 发布时间:2025年10月24日

电子行业万级洁净厂房需求是控制微粒与静电,需额外强化防静电与电磁屏蔽设计。地面除采用防静电环氧树脂自流平(表面电阻 10^6-10^9Ω)外,还需在地面下铺设铜箔接地网格,网格间距≤1.5m,确保静电快速消散。墙面优先选用导电型彩钢板,表面涂层添加导电颗粒,接缝处用导电密封胶填充,形成整体导电通路,接地电阻≤10Ω。设备布局需远离电磁干扰源,如变压器、高压线路,敏感设备(如芯片光刻机)周围需设置电磁屏蔽罩,屏蔽效能≥80dB(30MHz-1GHz)。空气净化系统需增设化学过滤器,去除 VOCs(挥发性有机化合物)与酸性气体,确保空气中有害气体浓度≤0.1ppm,避免腐蚀电子元件。此外,洁净区需设置防静电接地监测系统,实时监控接地电阻,超标时自动报警,保障电子元件生产过程中的静电安全。设计需合理规划人流、物流及洁净通道。南京无尘净化工程

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十万级净化车间高效过滤器(HEPA)需选用 H12 级,安装方式采用 gasket 密封,gasket 材质为氯丁橡胶,压缩量控制在 30%-50%,确保密封紧密。安装前需对过滤器进行外观检查,确保无破损、变形,安装时需在洁净区内拆除包装,避免外界污染。安装完成后需进行检漏测试,采用气溶胶光度计法,将 PAO 气溶胶注入过滤器上游,用光度计在下游扫描检测,泄漏率≤0.05% 为合格。过滤器需定期更换,更换周期根据压差监测数据确定,当过滤器压差超过初始压差的 2 倍时,需及时更换。南通十万级净化车间装修吊顶结构需承重足够,支撑设备管道。

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万级净化车间物料净化流程需避免 “二次污染”,物料从非洁净区进入洁净区需经过:卸货→粗清(去除外包装灰尘、杂物)→精清(用无尘布蘸取清洁剂擦拭)→消毒(喷洒 0.2% 过氧乙酸溶液或紫外线消毒)→传递窗传递→洁净区暂存。物料净化区需设置的粗清间与精清间,粗清间与精清间的压差≥5Pa,精清间与洁净区的压差≥5Pa,确保空气从精清间流向粗清间。传递窗需选用双门互锁型,内部配备紫外线消毒灯(功率≥30W),消毒时间≥30 分钟,传递窗材质为不锈钢,内壁光滑,便于清洁。此外,物料暂存区需设置货架,货架高度≤1.8m,物料与墙面、地面的距离≥300mm,避免积尘,且需定期对物料暂存区进行清洁消毒,防止微生物滋生。

十万级净化车间暖通系统风机需选用低噪声离心风机,风机风量需按总风量的 1.1 倍选型,风压需按风管总阻力的 1.2 倍选型,确保克服管道阻力后风量满足设计要求。噪声控制需从三方面入手:风机本体选用噪声≤85dB(A)的型号,风机进出口设置柔性短管(长度 200-300mm),减少振动噪声传递;风机机房内壁粘贴 50mm 厚离心玻璃棉吸音板,吸音板外覆盖穿孔铝板(穿孔率≥20%),降低机房噪声外传;风管内壁涂刷阻尼涂料(厚度≥2mm),抑制风管振动产生的二次噪声,确保洁净区噪声≤65dB(A)。传递窗是跨级别传送的必需品。

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十万级净化车间通风管道设计需进行阻力计算,风管阻力包括沿程阻力与局部阻力,沿程阻力按风管长度与摩擦系数计算,局部阻力按管件(弯头、三通、阀门)的局部阻力系数计算,总阻力需控制在风机全压的 80% 以内,确保风机正常运行。风管阻力优化需合理选择风管尺寸,避免风管过细导致阻力过大;风管弯头需采用大曲率半径(曲率半径≥1.5 倍风管边长),减少局部阻力;风管阀门需选用阻力小的蝶阀,阀门开启度需根据风量需求调节,避免阀门节流导致阻力增加。通过阻力优化,可降低风机能耗,提升通风系统效率。整体设计应安全、环保、经济、可靠。南通无尘净化

灯具布置需满足作业面照度要求。南京无尘净化工程

十万级净化车间通风管道需进行保温处理,保温材料选用离心玻璃棉,厚度≥50mm,导热系数≤0.045W/(m・K),保温层外需包裹铝箔保护层,防止保温材料脱落污染空气。风管保温施工需确保保温层连续,无缝隙,接缝处用铝箔胶带密封,避免冷桥结露。风管需进行防腐处理,镀锌钢板风管表面需涂刷防腐漆,涂刷厚度≥0.1mm,防止风管生锈;风管支架需采用热镀锌材质,支架与风管之间需垫防腐垫,避免支架腐蚀污染风管。此外,车间需设置应急照明与疏散指示标志,应急照明时间≥90 分钟,疏散通道宽度≥1.2m,确保人员安全撤离。南京无尘净化工程

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