上海POLOSBEAM光刻机分辨率1.5微米

生物医学：神经工程的微观助力，在神经工程研究中，Polos光刻机实现了电极结构的精密加工突破。某团队通过其在铂铱合金电极表面刻制10μm间距的蜂窝状微孔，使神经元突触密度提升20%，信号采集噪声降低35%。其兼容生物相容性材料的特性，还可用于微流控芯片的细胞培养腔道制作，为脑机接口、神经信号监测等前沿领域提供微观结构支撑。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌，以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计，产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列，分辨率达 0.3-23μm，适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域，为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案，推动技术普惠。​德国工艺：精密制造基因，10 年以上使用寿命，维护成本低，设备残值率达 60%。上海POLOSBEAM光刻机分辨率1.5微米

软件系统：操作门槛的大幅降低，Polos配套的控制软件简化了专业光刻操作，基于Windows系统的界面支持CAD文件与位图直接导入，导航逻辑类似CNC系统，无需专业编程知识即可上手。SFTprint软件的自动剂量测试功能，可根据光刻胶类型自动匹配曝光参数，新手也能获得稳定的加工效果。多层对准向导功能则将复杂的多层光刻流程拆解为步骤化操作，使非专业人员也能完成高精度叠加加工。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌，以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计，产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列，分辨率达 0.3-23μm，适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域，为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案，推动技术普惠。​上海POLOSBEAM光刻机分辨率1.5微米能源收集：微型压电收集器效率 35%，低频振动发电支持无源物联网。

SPS POLOS µ以紧凑的桌面设计降低实验室设备投入，光束引擎通过压电驱动实现高速扫描（单次写入400 µm区域）。支持AZ5214E等光刻胶的高效曝光，成功制备3 µm间距微图案阵列和叉指电容器，助力纳米材料与柔性电子器件的快速验证。其无掩模特性进一步减少材料浪费，为中小型实验室提供经济解决方案62。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。

无掩模技术：成本与效率的双重revolution，Poloscore的无掩模光刻技术，彻底摒弃了传统光刻中昂贵且耗时的硬掩模制备环节。通过激光直写将设计直接投射到光敏层，不only节省了每套数万元的掩模成本，更将图案迭代周期从数周缩短至数小时。在芯片研发中，这一技术使科研团队可快速测试不同电路布局，将新品研发周期平均缩短60%；在小批量生产中，则避免了掩模库存压力，适配个性化定制需求。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌，以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计，产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列，分辨率达 0.3-23μm，适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域，为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案，推动技术普惠。​技术Benchmark：Polos-µPrinter 入选《半导体技术》年度创新产品，推动无掩模光刻技术普及。

Polos光刻机在微机械加工中表现outstanding。其亚微米分辨率可制造80 µm直径的开环谐振器和2 µm叉指电极，适用于传感器与执行器开发。结合双光子聚合技术（如Nanoscribe系统），用户还能扩展至3D微纳结构打印，为微型机器人及光学元件提供多尺度制造方案。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化，无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下，将该技术带到了桌面上，进一步提升了其优势。用户案例broad：全球超500家科研机构采用，覆盖高校、研究所与企业实验室。上海POLOSBEAM光刻机分辨率1.5微米

多材料兼容：金属 / 聚合物 / 陶瓷同步加工，微流控芯片集成传感器一步成型。上海POLOSBEAM光刻机分辨率1.5微米

某基因treatment团队采用 Polos 光刻机开发了微米级 DNA 递送载体。通过 STL 模型直接导入，在生物可降解聚合物表面刻制出 1-5μm 的蜂窝状微孔结构，载体的 DNA 负载量达 200μg/mg，较传统电穿孔法提升 5 倍。动物实验显示，该载体在肝脏靶向递送中，基因转染效率达 65%，且免疫原性降低 70%。其无掩模特性支持根据不同细胞表面受体定制载体形貌，在 CAR-T 细胞treatment中，CAR 基因导入效率从 30% 提升至 75%，相关技术已申请国际patent。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。上海POLOSBEAM光刻机分辨率1.5微米