微纳卫星对部件重量与精度要求苛刻,传统加工难以兼顾。Polos 光刻机在硅基材料上实现了 50nm 深度的微沟槽加工,为某航天团队制造出轻量化星载惯性导航陀螺结构。通过自定义螺旋型振动梁图案,陀螺的零偏稳定性提升至 0.01°/h,较商用产品性能翻倍。该技术还被用于微推进器喷嘴阵列加工,使卫星姿态调整精度达到亚毫牛级,助力我国低轨卫星星座建设取得关键突破。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。实时观测系统:120 FPS高清摄像头搭配20x尼康物镜,实现加工过程动态监控。天津德国POLOS光刻机MAX层厚可达到10微米
植入式神经电极需要兼具生物相容性与导电性能,表面微图案可remarkable影响细胞 - 电极界面。Polos 光刻机在铂铱合金电极表面刻制出 10μm 间距的蜂窝状微孔,某神经工程团队发现该结构使神经元突触密度提升 20%,信号采集噪声降低 35%。其无掩模特性支持根据不同脑区结构定制电极阵列,在大鼠海马区电生理实验中,单神经元信号识别率从 60% 提升至 85%,为脑机接口技术的临床转化奠定了硬件基础。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。四川桌面无掩模光刻机让你随意进行纳米图案化技术Benchmark:Polos-µPrinter 入选《半导体技术》年度创新产品,推动无掩模光刻技术普及。
在科研领域,设备的先进程度往往决定了研究的深度与广度。德国的 Polos - BESM、Polos - BESM XL、SPS 光刻机 POLOS µ 带来了革新之光。它们运用无掩模激光光刻技术,摒弃了传统光刻中昂贵且制作周期长的掩模,极大降低了成本。这些光刻机可轻松输入任意图案进行曝光,在微流体、电子学和纳 / 微机械系统等领域大显身手。例如在微流体研究中,能precise制造复杂的微通道网络,助力药物传输、细胞培养等研究。在电子学方面,可实现高精度的电路图案曝光,为芯片研发提供有力支持。其占用空间小,对于空间有限的研究实验室来说堪称完美。凭借出色特性,它们已助力众多科研团队取得成果,成为科研创新的得力助手 。
针对植入式医疗设备的长期安全性问题,某生物电子实验室利用 Polos 光刻机在聚乳酸()基底上制备可降解电极。其无掩模技术避免了传统掩模污染,使电极的金属残留量低于 0.01μg/mm²,生物相容性测试显示细胞存活率达 99%。通过自定义螺旋状天线图案,开发出的可降解心率监测器,在体内降解周期可控制在 3-12 个月,信号传输稳定性较同类产品提升 50%,相关技术已进入临床前生物相容性评价阶段。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。图案灵活性:支持 STL 模型直接导入,30 分钟完成从设计到曝光全流程。
Polos光刻机在微机械加工中表现outstanding。其亚微米分辨率可制造80 µm直径的开环谐振器和2 µm叉指电极,适用于传感器与执行器开发。结合双光子聚合技术(如Nanoscribe系统),用户还能扩展至3D微纳结构打印,为微型机器人及光学元件提供多尺度制造方案。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化,无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下,将该技术带到了桌面上,进一步提升了其优势。Polos-BESM XL:130mm×130mm 曝光幅面,STL 模型直接导入,微流控芯片制备周期缩短 40%。陕西德国POLOS桌面无掩模光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米
微流体3D成型:复杂流道快速曝光,助力tumor筛查芯片与药物递送系统研发。天津德国POLOS光刻机MAX层厚可达到10微米
在tumor转移机制研究中,某tumor研究中心利用 Polos 光刻机构建了仿生tumor微环境芯片。通过无掩模激光光刻技术,在 PDMS 基底上制造出三维tumor血管网络与间质纤维化结构,其中血管直径可精确控制在 10-50μm。实验显示,该芯片模拟的tumor微环境中,tumor细胞迁移速度较传统二维培养提升 2.3 倍,且化疗药物渗透效率降低 40%,与临床数据高度吻合。该团队通过软件实时调整通道曲率和细胞外基质密度,成功复现了tumor细胞上皮 - 间质转化(EMT)过程,相关成果发表于《Cancer Research》,并被用于新型抗转移药物的筛选平台开发。天津德国POLOS光刻机MAX层厚可达到10微米