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来源: 发布时间:2024年10月06日

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进一步地,所述第二底板内和所述第二侧壁内均设有用于穿设温控管的通道,所述温控管埋设于所述通道内。一种真空镀膜设备,包括机械模块部件、工艺模块部件和本实用新型所述的真空反应腔室,所述工艺模块部件位于所述内反应腔内,部分所述机械模块部件位于所述外腔体内。本实用新型实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下***:本实用新型提供的真空反应腔室,包括用于提供真空环境的外腔体,以及位于所述外腔体内的用于进行工艺反应的内反应腔;并且,内反应腔的侧壁上设有自动门,工件自外腔体经自动门进入内反应腔中。其中,外腔室和内反应腔为嵌套结构,其内反应腔位于外腔室内。该结构中,相当于设置了两个腔室,其中外腔体用于提供真空环境,而工艺反应则在内反应腔中进行。由于采用双腔室结构,可以将工艺模块部件设置于内反应腔中,而与工艺反应无直接关系的机械模块部件则被设置于外腔室中。经抽真空处理后,位于外腔体中的工件再经自动门进入内反应腔中进行工艺反应,可以有效避免设备杂质和工件杂质进入内反应腔中。该结构可以避免工艺环境外的污染源进入工艺反应区域,避免工艺污染,提供工艺质量。由于设置双腔室,作为工艺反应区的内反应腔相对较小。 浙江汽车饰板真空镀膜设备宝来利真空镀膜设备性能稳定,膜层均匀耐磨,装饰镀膜,有需要可以咨询!

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通过上述说明可知,温控管40的设置形式多种多样,本实用新型并不限制温控管40的具体设置形式,例如可以按照上述温控管40缠绕并固定的形式,也可以按照在第二侧壁22或第二底板21上安装水套或设通道的形式,只要求保证使用时温控管40可耐压耐温不出现渗漏或漏电现象即可。另一方面,本实用新型一种实施方式的真空镀膜设备,包括机械模块部件、工艺模块部件和实施例一的真空反应腔室,所述工艺模块部件位于所述内反应腔20内,部分所述机械模块部件位于所述外腔体10内。该真空镀膜设备包括本实用新型的真空反应腔室,因此,该真空镀膜设备具有上述真空反应腔室的全部***,在此不再赘述。其中,设置于外腔体10内的部分机械模块部件为与工艺反应无关的一些传动机械部件、升降机械部件等等,另一部与工艺反应相关的机械部件,如镀膜靶材的转动部件等等则设置于内反应腔20中。具体的,可以根据真空镀膜设备的具体结构而定。该真空镀膜设备中,由于真空反应腔室设计成内外腔结构,同时,通过设置温控装置,可以有效地保证工艺环境封闭、恒温、外部污染源少,为工艺反应提供了更为稳定、纯净的环境。通过实际实验证明,反应区域温度环境更均匀。

所述双向螺纹杆远离电机的一端贯穿腔体并延伸至腔体的内部,所述双向螺纹杆位于腔体内部的一端与腔体内壁的右侧通过轴承转动连接。推荐的,所述双向螺纹杆表面的两侧且位于腔体的内部均螺纹连接有活动块,两个所述活动块的底部均固定连接有限位板,并且两个活动块的顶部均通过第二滑轨与腔体内壁的顶部滑动连接。推荐的,所述腔体左侧的底部固定连接有抽风机,并且抽风机进风口的一端连通有风管,所述风管远离抽风机的一端贯穿腔体并延伸至腔体的内部。有益效果本实用新型提供了一种高分子等离子表面真空镀膜设备。与现有技术相比具备以下有益效果:(1)、该高分子等离子表面真空镀膜设备,通过两个宝来利真空滑轨相对的一侧之间滑动连接有活动板,宝来利真空伸缩杆输出轴的一端且位于防护框的内部与活动板的底部固定连接,防护框顶部的两侧分别滑动连接有宝来利真空密封盖和第二密封盖,并且宝来利真空密封盖和第二密封盖相背离的一侧分别与两个第二伸缩杆的输出轴固定连接,坩埚放置在加热板上,通过宝来利真空伸缩杆工作可以使坩埚运动至防护框内,两个第二伸缩杆工作能够控制密封盖将防护框密封,当镀膜工作完成后,可以将坩埚密封在防护框内。 宝来利真空镀膜设备性能稳定,膜层均匀耐磨,汽车轮毂镀膜,有需要可以来咨询考察!

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