2000真空镀膜机设备厂家

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因此，即使外腔体10与内反应腔20在气路上相互连通，但外腔体10中的污染物也很难进入到内反应腔20中，从而可以保证内反应腔20始终保持清洁的工艺环境。由此，外腔体10与所述内反应腔20可共用一套抽真空系统。由于外腔体10与内反应腔20之间应属于相互连通的气路环境，因此，当对外腔体10进行抽真空处理时，内反应腔20也同时进行抽真空处理。本实施方式中，自动门设置于所述第二侧壁22上，所述外腔体10内设有传送装置13，所述工件自所述传送装置13经所述自动门23传递至所述内反应腔20中。自动门控制器控制自动门的启闭。抽真空完成后，自动门控制器检测传送装置上是否有工件存在，经检测若有工件存在，则控制自动门打开，工件在传送装置的作用下进入内反应腔中;然后自动门控制器再控制自动门关闭。可以理解的是，传送装置包括转动轴和套设在转动轴上的传送带，以及驱动转动轴旋转的驱动机构，例如电机。其中，传送带的设置高度与内反应腔中的工件反应载台相对应。继续参照图2，为了保证作为工艺区域的内反应腔20的环境温度恒温可控，第二底板21和/或所述第二侧壁22上设有用于对所述内反应腔20进行控温的温控装置，以使内反应腔20内的温度始终处于所需的工艺温度范围内。

所描述的实施例宝来利宝来利是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种高分子等离子表面真空镀膜设备，包括腔体1、基板2和坩埚3，腔体1内壁底部的两侧分别固定连接有加热器和冷凝器，坩埚3放置在加热板14的顶部，腔体1左侧的底部固定连接有抽风机21，并且抽风机21进风口的一端连通有风管22，风管22远离抽风机21的一端贯穿腔体1并延伸至腔体1的内部，腔体1左侧的顶部固定连接有电机16，电机16通过导线与控制开关及外部电源连接，并且电机16输出轴的一端固定连接有双向螺纹杆17，双向螺纹杆17表面的两侧且位于腔体1的内部均螺纹连接有活动块18，两个活动块18的底部均固定连接有限位板19，两个限位板19相对的一侧均开设有与基板2相适配的限位槽，并且两个活动块18的顶部均通过第二滑轨20与腔体1内壁的顶部滑动连接，双向螺纹杆17远离电机16的一端贯穿腔体1并延伸至腔体1的内部，双向螺纹杆17位于腔体1内部的一端与腔体1内壁的右侧通过轴承转动连接，腔体1底部的四角均固定连接有支撑腿4。宝来利真空镀膜机性能稳定，膜层均匀耐磨，化合物膜层，有需要可以咨询！

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本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种磁控溅射真空镀膜机。背景技术：真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且**终沉积在基片表面，经历成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)，**终形成薄膜。目前市场上类似的磁控溅射真空镀膜机在长时间使用后，会在镀膜机腔体的内壁粘黏有靶材和杂质，通常需要装卸内部的转动架，用人工的方式对腔体内壁进行定时维护，手动清理擦拭，费时费力，清理效率低，为了解决上述问题，我们提出一种磁控溅射真空镀膜机。技术实现要素：本实用新型的目的在于提供一种磁控溅射真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种磁控溅射真空镀膜机，包括控制箱，所述控制箱的上表面后侧固定安装后罐体，所述后罐体的前表面铰接有前罐体，所述后罐体的前表面上侧固定安装有驱动装置，所述驱动装置，所述驱动装置的下侧安装有清理装置，所述清理装置包括u形架。2000真空镀膜机设备厂家