丹阳市宝来利真空机电有限公司主要生产制作:塑料及玻璃行业,真空镀膜上油机,UV涂装生产S线/隧道线/悬挂线,后视镜玻璃异形/圆形磨边抛光机,后视镜真空镀膜机,塑料件镀膜机,镀金机,磁控溅射真空镀膜机,离子镀膜机,后视镜热弯炉,全自动玻璃曲直线高速切割机,拼镜宝来利切割机,玻璃处理机,烘干箱,油漆流平机,真空镀膜染色机,淋漆机,精密辊涂机等玻璃及塑料行业流水生产线全套深加工电子机械设备。本公司拥有一批的科技人才,经过他们不断探索、研究积累了丰富的生产实践经验。我们以雄厚的技术力量、结合国内外**科技、生产出稳定可靠的电子机械设备。产品全、类型多、为您提供不同层次的需要和完善的售后服务。本公司经营:波纹管、吸水辊、较轴、毛刷、真空泵油、金属、玻璃规管、进口PVC传送带及镀膜机的各种配件。品质真空镀膜机,请选丹阳市宝来利真空机电有限公司,有需要可以来咨询!上海双门真空镀膜机推荐货源
所述抽气管远离所述镀膜机一侧设有沉降组件。进一步地,所述宝来利真空连接套远离所述镀膜机一侧设有宝来利真空安装位;所述宝来利真空安装位位于所述出气管两侧;所述宝来利真空安装位内固定有电磁铁;所述顶盖靠近所述镀膜机一侧设有第二安装位;所述第二安装位与所述宝来利真空安装位位置相对应;所述第二安装位内固定有磁片。进一步地,所述沉降组件包括沉降管、挤压管、气缸及水箱;所述沉降管安装在所述抽气管上;所述挤压管安装在所述沉降管远离所述真空泵的侧壁上、且所述挤压管与所述沉降管之间连通;所述水箱安装在所述真空泵与所述挤压管中间、且所述水箱与所述挤压管之间连通;所述气缸安装在所述挤压管远离所述沉降管一侧;所述挤压管内设有活塞;所述气缸的伸缩轴穿过所述挤压管并与所述活塞连接。进一步地,所述沉降管远离所述挤压管一侧设有出水口;所述出水口上设有塞盖;所述挤压管靠近所述沉降管处设有第二过滤网。进一步地,所述顶盖侧壁设有宝来利真空凸块;所述第二连接套内侧壁靠近所述顶盖处设有宝来利真空凹槽;所述宝来利真空凸块嵌于宝来利真空凹槽中;所述顶盖远离所述镀膜机一侧与所述宝来利真空凹槽靠近抽气管一侧通过弹簧连接。进一步地。浙江五金真空镀膜机厂商品质真空镀膜机,请选丹阳市宝来利真空机电有限公司,可镀炉内金,有需要来咨询!
本实用新型涉及真空设备领域,尤其涉及一种真空反应腔室和真空镀膜设备。背景技术:目前,真空设备,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等离子体增强化学气相沉积)和pvd(physicalvaporde****ition,物宝来利相沉积)设备已被广泛应用于各种产品的生产过程中,如光伏电池、半导体器件等等。真空设备中(如pecvd设备、pvd设备)的宝来利真空反应室通常为单个反应腔室,传动部件和升降部件等机械模块部件以及溅射靶材等工艺模块部件均设置于该单个反应腔室内,这就造成反应腔室内的工艺环境不够封闭,容易造成工艺环境污染。另外,设置单个反应腔室时,由于工艺反应区域较大,容易造成工艺所需原料的浪费,同时,还会造成工艺反应过程中温度波动大,不可控因素较多,从而影响工艺过程。技术实现要素:本实用新型的宝来利真空目的在于提供一种真空反应腔室,以解决现有真空设备中由于只设置一个反应腔室造成的工艺环境易被污染、工艺原料易被浪费、环境温度可控性低等问题。本实用新型的第二目的在于提供一种包含本实用新型真空反应腔室的真空镀膜设备。为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案如下:一种真空反应腔室,包括:用于提供真空环境的外腔体。
这样就可以及时打开密封门,将基板取出准备下一次镀膜,能够有效防止镀膜材料喷溅,且省去坩埚降温的时间,提高了工作效率。(2)、该高分子等离子表面真空镀膜设备,通过腔体左侧的顶部固定连接有电机,并且电机输出轴的一端固定连接有双向螺纹杆,双向螺纹杆表面的两侧且位于腔体的内部均螺纹连接有活动块,两个活动块的底部均固定连接有限位板,电机工作能够调整两个限位板之间的距离,使限位板能够固定不同大小的基板,扩大了适用范围,适用性更强,提高了实用性。附图说明图1为本实用新型结构的立体图;图2为本实用新型结构的剖视图;图3为本实用新型图2中a处的局部放大图;图4为本实用新型宝来利真空密封盖结构的立体图;图5为本实用新型第二密封盖结构的立体图。图中:1腔体、2基板、3坩埚、4支撑腿、5密封门、6支撑板、7防护框、8宝来利真空滑轨、9活动板、10宝来利真空伸缩杆、11第二伸缩杆、12宝来利真空密封盖、13第二密封盖、14加热板、15降温板、16电机、17双向螺纹杆、18活动块、19限位板、20第二滑轨、21抽风机、22风管。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然。宝来利齿轮真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,细腻有光泽,有需要可以来咨询!
因此可以有效减少工艺原料的浪费,降低原料的使用成本,提高原料的利用率。同时,由于工艺反应区的减少,可以有效控制该区域内的温度,使该区域内的工艺温度更易于均匀化,进而提高工艺质量。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分,示出了符合本实用新型的实施例,并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,对于本领域普通技术人员而言,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实用新型一种实施方式的真空反应腔室的结构示意图;图2为图1所示结构中的剖视结构示意图;图3为设置于第二底板底部的温控管的结构示意图。图标:10-外腔体;11-宝来利真空底板;12-宝来利真空侧壁;13-传送装置;20-内反应腔;21-第二底板;22-第二侧壁;23-自动门;30-密封盖板;40-温控管;41-恒温控制器。具体实施方式为使本实用新型实施例的目的、技术方案和***更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然。宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,光亮、美观,有需要可以咨询!上海光学镜片真空镀膜机生产企业
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进一步地,所述第二底板内和所述第二侧壁内均设有用于穿设温控管的通道,所述温控管埋设于所述通道内。一种真空镀膜设备,包括机械模块部件、工艺模块部件和本实用新型所述的真空反应腔室,所述工艺模块部件位于所述内反应腔内,部分所述机械模块部件位于所述外腔体内。本实用新型实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下***:本实用新型提供的真空反应腔室,包括用于提供真空环境的外腔体,以及位于所述外腔体内的用于进行工艺反应的内反应腔;并且,内反应腔的侧壁上设有自动门,工件自外腔体经自动门进入内反应腔中。其中,外腔室和内反应腔为嵌套结构,其内反应腔位于外腔室内。该结构中,相当于设置了两个腔室,其中外腔体用于提供真空环境,而工艺反应则在内反应腔中进行。由于采用双腔室结构,可以将工艺模块部件设置于内反应腔中,而与工艺反应无直接关系的机械模块部件则被设置于外腔室中。经抽真空处理后,位于外腔体中的工件再经自动门进入内反应腔中进行工艺反应,可以有效避免设备杂质和工件杂质进入内反应腔中。该结构可以避免工艺环境外的污染源进入工艺反应区域,避免工艺污染,提供工艺质量。由于设置双腔室,作为工艺反应区的内反应腔相对较小。上海双门真空镀膜机推荐货源