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如图3所示，所述温控装置包括温控管40，所述温控管40连接位于外腔体10外的恒温控制器41。温控管40的引入口及引出口与外部的恒温控制器41连接，恒温控制器41可用于恒温制冷也可用于恒温加热，保证内反应腔20中的温度可以持续恒定，从而使工艺反应区域内的工艺环境温度更稳定。经过在真空镀膜设备上的实际应用验证，该真空腔体对于工艺成膜质量及镀膜均匀性均有十分有效的改善和提升。其中，温控管40包括加热管和/或冷却管。一般情况下，在工艺反应过程中，通常需要升温以完成相关的工艺反应，因此，温控管40包括必要的加热管，而冷却管可以根据实际的工艺需要选选择性地添加即可。例如，若在工艺反应过程中，需要进行快速降温，此时可以设置冷却管。所述加热管非限制性地例如可以为电加热管、水加热管或油加热管。冷却管例如可以为水冷却管或油冷却管。为了增加温控效果，第二侧壁22和第二底板21处均设有温控管40。其中，所述温控管40缠绕于所述第二侧壁22的外部，且所述温控管40铺设于所述第二底板21的底部。除上述缠绕方式外，还可以用埋设的方式铺设加热管，例如，所述第二底板21内和所述第二侧壁22内均设有用于穿设温控管40的通道，所述温控管40埋设于所述通道内。 宝来利真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，功能镀膜，有需要可以咨询！江苏AR真空镀膜设备生产企业

所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。本实用新型一种实施方式的真空反应腔室，其结构如图1和图2所示，包括：用于提供真空环境的外腔体10，以及位于所述外腔体10内的用于进行工艺反应的内反应腔20；所述内反应腔20的侧壁上设有自动门23，所述自动门23连接自动门控制器，工件自所述外腔体10经所述自动门23进入所述内反应腔20中。本实施方式提供的真空反应腔室，外腔室和内反应腔20为嵌套结构，其内反应腔20位于外腔室内。该结构中，相当于设置了两个腔室，其中外腔体10用于隔绝大气，提供真空环境，而内反应腔20中的区域为工艺反应区，形成相对封闭的工艺环境，相关工艺反应在内反应腔20中进行。由于采用双腔室结构，可以将工艺模块部件设置于内反应腔20中，而与工艺反应无直接关系的机械模块部件则被设置于外腔室中。经抽真空处理后，位于外腔体10中的工件再经自动门23进入内反应腔20中进行工艺反应，可以有效避免设备杂质和工件杂质进入内反应腔20中。该结构可以避免工艺环境外的污染源进入工艺反应区域。 浙江金属涂层真空镀膜设备现货直发宝来利真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，工艺品质好，有需要可以咨询！

泵6通过软管与喷头42固定装配。泵6能够将清洗箱8中的清洗液通过软管、喷头42均匀喷洒到后罐体3和前罐体2的内壁上。控制箱1、减速电机54、泵6通过导线电连接，且控制箱1与外部电源连接。通过控制箱1控制减速电机54、泵6的工作状态。工作原理：需要对后罐体3、前罐体2的内表面进行清理时，通过控制箱1控制泵6，将清洗箱8中的清洗液通过软管、倾斜的喷头42均匀喷洒到后罐体3和前罐体2的内壁上；同时驱动装置5中减速电机54能够带动u形架44、刮板43在后罐体3和前罐体2的内部转动，将清洗液及内壁上的物质剐蹭下来，并通过集料盒7中出料口71、外螺管72、收集盒73的配合，方便收集、清理，完成后泵6、减速电机54停止工作。对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解。

本实用新型涉及真空设备领域，尤其涉及一种真空反应腔室和真空镀膜设备。背景技术：目前，真空设备，例如，pecvd（plasmaenhancedchemicalvaporde****ition，等离子体增强化学气相沉积）和pvd（physicalvaporde****ition，物宝来利相沉积）设备已被广泛应用于各种产品的生产过程中，如光伏电池、半导体器件等等。真空设备中(如pecvd设备、pvd设备)的宝来利真空反应室通常为单个反应腔室，传动部件和升降部件等机械模块部件以及溅射靶材等工艺模块部件均设置于该单个反应腔室内，这就造成反应腔室内的工艺环境不够封闭，容易造成工艺环境污染。另外，设置单个反应腔室时，由于工艺反应区域较大，容易造成工艺所需原料的浪费，同时，还会造成工艺反应过程中温度波动大，不可控因素较多，从而影响工艺过程。技术实现要素：本实用新型的宝来利真空目的在于提供一种真空反应腔室，以解决现有真空设备中由于只设置一个反应腔室造成的工艺环境易被污染、工艺原料易被浪费、环境温度可控性低等问题。本实用新型的第二目的在于提供一种包含本实用新型真空反应腔室的真空镀膜设备。为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：一种真空反应腔室，包括：用于提供真空环境的外腔体。 宝来利真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，汽车轮毂镀膜，有需要可以来咨询考察！

真空镀膜机在使用过程中需要定期进行哪些维护和保养工作？这些工作对真空镀膜机的性能和寿命有何影响？真空镀膜机在使用过程中需要定期进行的维护和保养工作主要包括以下几个方面：清洗设备：定期清洗真空镀膜机内部，特别是镀膜室、蒸发舟等关键部件，以去除积累的尘埃、残留物和其他杂质。这有助于保持设备的清洁度，提高膜层的均匀性和质量。检查真空系统：定期检查真空系统的密封性和抽气效率，确保镀膜过程中能够达到所需的真空度。这有助于减少气体残留对膜层质量的影响。更换易损件：根据设备使用情况和厂家建议，定期更换易损件，如蒸发舟、热屏蔽板等。这有助于确保设备的稳定性和延长使用寿命。校准设备参数：定期对真空镀膜机的各项参数进行校准，包括真空度、沉积速度、温度等。这有助于确保设备处于比较好工作状态，提高膜层的均匀性和稳定性。这些维护和保养工作对真空镀膜机的性能和寿命具有重要影响。宝来利数码相机镜片真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，细腻有光泽，有需要可以来咨询！浙江手表真空镀膜设备定制

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所述u形架的下端通过轴承转动安装在后罐体的内部下侧，所述u形架的外侧固定安装有刮板，所述刮板的外侧与后罐体、前罐体的内表面紧密贴合，所述后罐体和前罐体的上表面外侧均匀开设有通孔，所述通孔从上至下向外倾斜，所述通孔的内部固定安装有喷头。推荐的，所述驱动装置包括半圆板，所述前罐体的前表面上侧开设有与半圆板匹配的半圆槽，所述半圆板的上表面开设有转轴通孔，所述半圆板的上表面固定安装有防护罩和减速电机，所述防护罩罩接在减速电机的外侧，所述减速电机的输出轴转动安装在转轴通孔的内部，所述减速电机输出轴的下端与u形架固定装配。推荐的，所述前罐体的下表面后侧安装有集料盒，所述集料盒包括出料口，所述出料口的下侧固定安装有外螺管，所述外螺管的外侧螺接有收集盒。推荐的，所述控制箱的内部左侧固定安装有清洗箱和泵，所述清洗箱固定安装在泵的右侧，所述泵通过软管与喷头固定装配。推荐的，所述控制箱、减速电机、泵通过导线电连接，且控制箱与外部电源连接。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该磁控溅射真空镀膜机，能够通过清理装置与驱动装置的配合，对镀膜机腔体内壁粘黏的靶材和杂质进行自动刮除清理，不需人力手动擦拭。 江苏AR真空镀膜设备生产企业