所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。本实用新型一种实施方式的真空反应腔室,其结构如图1和图2所示,包括:用于提供真空环境的外腔体10,以及位于所述外腔体10内的用于进行工艺反应的内反应腔20;所述内反应腔20的侧壁上设有自动门23,所述自动门23连接自动门控制器,工件自所述外腔体10经所述自动门23进入所述内反应腔20中。本实施方式提供的真空反应腔室,外腔室和内反应腔20为嵌套结构,其内反应腔20位于外腔室内。该结构中,相当于设置了两个腔室,其中外腔体10用于隔绝大气,提供真空环境,而内反应腔20中的区域为工艺反应区,形成相对封闭的工艺环境,相关工艺反应在内反应腔20中进行。由于采用双腔室结构,可以将工艺模块部件设置于内反应腔20中,而与工艺反应无直接关系的机械模块部件则被设置于外腔室中。经抽真空处理后,位于外腔体10中的工件再经自动门23进入内反应腔20中进行工艺反应,可以有效避免设备杂质和工件杂质进入内反应腔20中。该结构可以避免工艺环境外的污染源进入工艺反应区域。宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,眼镜镜架镀膜,有需要可以咨询!上海眼镜架真空镀膜机厂家
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通过上述说明可知,温控管40的设置形式多种多样,本实用新型并不限制温控管40的具体设置形式,例如可以按照上述温控管40缠绕并固定的形式,也可以按照在第二侧壁22或第二底板21上安装水套或设通道的形式,只要求保证使用时温控管40可耐压耐温不出现渗漏或漏电现象即可。另一方面,本实用新型一种实施方式的真空镀膜设备,包括机械模块部件、工艺模块部件和实施例一的真空反应腔室,所述工艺模块部件位于所述内反应腔20内,部分所述机械模块部件位于所述外腔体10内。该真空镀膜设备包括本实用新型的真空反应腔室,因此,该真空镀膜设备具有上述真空反应腔室的全部***,在此不再赘述。其中,设置于外腔体10内的部分机械模块部件为与工艺反应无关的一些传动机械部件、升降机械部件等等,另一部与工艺反应相关的机械部件,如镀膜靶材的转动部件等等则设置于内反应腔20中。具体的,可以根据真空镀膜设备的具体结构而定。该真空镀膜设备中,由于真空反应腔室设计成内外腔结构,同时,通过设置温控装置,可以有效地保证工艺环境封闭、恒温、外部污染源少,为工艺反应提供了更为稳定、纯净的环境。通过实际实验证明,反应区域温度环境更均匀。宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,工艺品镀膜,有需要可以咨询!
虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式*包含一个**的技术方案,说明书的这种叙述方式**是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。蒸发镀膜机离子镀膜机车灯镀膜机宝来利真空BLL多弧离子PVD镀膜设备CCZK-SFL连续磁控镀膜生产线蒸发镀膜机离子镀膜机车灯镀膜机汽车灯具,高等灯具反光碗的镀膜,通过蒸镀,硅油保护膜一次性完成,具有宝来利真空的反射率和耐腐蚀性能。丹阳市宝来利真空机电有限公司多弧离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜技术,将各种气体宝来利真空BLL系列磁控溅射镀膜流水线可适用于幕墙玻璃,铝镜,反光镜生产。宝来利医疗器械真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,细腻有光泽,有需要可以来咨询!ITO真空镀膜机制造商
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