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浙江望远镜真空镀膜机品牌

来源: 发布时间:2024年07月07日

然后将基板2推入两个限位板10之间的限位槽内,并关闭密封门5,打开抽风机21,将腔体1内的空气抽出,通过控制面板使加热器工作通过加热板14加热坩埚3进行镀膜,镀膜完成后,使宝来利真空伸缩杆10工作,带动活动板9运动,使坩埚3运动至防护框7内,然后第二伸缩杆11工作,推动宝来利真空密封盖12和第二密封该13发生运动,使防护框7密封,然后即可打开密封门5将基板取出或换面继续覆膜。需要说明的是,在本文中,诸如宝来利真空和第二等之类的关系术语宝来利宝来利用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不宝来利包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,镍铬,有需要可以咨询!浙江望远镜真空镀膜机品牌

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提升了清理效率。附图说明图1为本实用新型结构示意图。图2为本实用新型的结构示意俯视图。图中:1控制箱、2前罐体、3后罐体、4清理装置、41通孔、42喷头、43刮板、44u形架、5驱动装置、51半圆槽、52半圆板、53转轴通孔、54减速电机、55防护罩、6泵、7集料盒、71出料口、72外螺管、73收集盒、8清洗箱。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例**是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1、图2,本实用新型提供一种技术方案:一种磁控溅射真空镀膜机,包括控制箱1,控制箱1的上表面后侧固定安装后罐体3,后罐体3的前表面铰接有前罐体2,后罐体3的前表面上侧固定安装有驱动装置5,驱动装置5,驱动装置5的下侧安装有清理装置4,清理装置4包括u形架44,u形架44的下端通过轴承转动安装在后罐体3的内部下侧,u形架44的外侧固定安装有刮板43,刮板43的外侧与后罐体3、前罐体2的内表面紧密贴合,后罐体3和前罐体2的上表面外侧均匀开设有通孔41。装饰真空镀膜机供应商家宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,细腻有光泽,有需要可以来咨询!

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所述u形架的下端通过轴承转动安装在后罐体的内部下侧,所述u形架的外侧固定安装有刮板,所述刮板的外侧与后罐体、前罐体的内表面紧密贴合,所述后罐体和前罐体的上表面外侧均匀开设有通孔,所述通孔从上至下向外倾斜,所述通孔的内部固定安装有喷头。推荐的,所述驱动装置包括半圆板,所述前罐体的前表面上侧开设有与半圆板匹配的半圆槽,所述半圆板的上表面开设有转轴通孔,所述半圆板的上表面固定安装有防护罩和减速电机,所述防护罩罩接在减速电机的外侧,所述减速电机的输出轴转动安装在转轴通孔的内部,所述减速电机输出轴的下端与u形架固定装配。推荐的,所述前罐体的下表面后侧安装有集料盒,所述集料盒包括出料口,所述出料口的下侧固定安装有外螺管,所述外螺管的外侧螺接有收集盒。推荐的,所述控制箱的内部左侧固定安装有清洗箱和泵,所述清洗箱固定安装在泵的右侧,所述泵通过软管与喷头固定装配。推荐的,所述控制箱、减速电机、泵通过导线电连接,且控制箱与外部电源连接。与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该磁控溅射真空镀膜机,能够通过清理装置与驱动装置的配合,对镀膜机腔体内壁粘黏的靶材和杂质进行自动刮除清理,不需人力手动擦拭。

以专门作为工艺反应的内反应腔20。宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12、第二底板21和第二侧壁22均可由金属材料组成,其中,第二底板21和第二侧壁22则优先选用热传导效果较好的金属材料组成,例如可选不锈钢或铝合金等材料。除上述结构形式外,外腔体10和内反应腔20还可以共用一个底板,真空镀膜设备用一圈隔离板对外腔体10进行分割即可。但为了将内反应腔20的空间尽可能地缩小到所需范围,且真空镀膜设备大限度地降低非必要的空间,该实施方式中设置了宝来利真空底板11和第二底板21相互分离的设置结构,以在垂直方向上缩小内反应腔20的空间。其中,宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12和密封盖板30三者相互密闭连接共同构成了与外部大气隔离的具有封闭结构的外腔体10。而内反应腔20则位于该外腔体10之内,但是第二侧壁22与密封盖板30之间并未形成封闭式接触,两者之间属于分离式设计结构。该结构也就使得外腔体10与内反应腔20之间在仍属于相互连通的结构构造,用该结构可以将真空设备中的部分构件分离,将工艺过程中非必要的机械结构部件设置于外腔体10中,而与工艺反应相关的结构部件设置于内反应腔20中。在工艺反应过程中,由于工艺反应区的压力要大于外腔体10中的压力。宝来利齿轮真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,细腻有光泽,有需要可以来咨询!

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