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江西光学真空镀膜机行价

来源: 发布时间:2024年02月18日

BLL-1680RS溅射镀膜机工艺操作(摘选)

①工艺自动前提条件,设备必须在自动,自抽模式下,手动模式下不会自动执行工艺。②工艺自动情况下,在满足真空度,抽真空时间,镀膜温度后,自动执行所选择的工艺,进行辉光清洗→弧光清洗→沉积,所有沉积层计时完成后,工艺完成。③工艺自动执行过程中,可以通过点击相应过程按钮终止当前流程,例:此时工艺流程辉光清洗已经完成,进行到弧光清洗中,则单击弧光清洗按钮可以停止当前流程。④工艺自动执行到沉积层任意一层时,如遇问题,点击暂停按钮可停止当前层沉积,排除问题后,点击继续按钮即可继续沉积(继续时需保证所执行的工艺没有改变,以及弧光清洗已经完成)。⑤手动沉积:工艺设置手动,在箭头9处选择开始层,然后点击沉积按钮,则执行该层沉积。若该层手动开始后,改“工艺手动”为“工艺自动”,那么会按工艺自动执行完该层后面的所有沉积层。 真空镀膜机可以降低生产成本,提高经济效益。江西光学真空镀膜机行价

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    高真空多层精密光学镀膜机BLL-1800F型常规配置;

真空系统真空泵:2X-70SV300E2M275增压泵:ZJP1200WAU2001EH2600高真空泵:分子泵低温泵扩散泵真空室加热系统ZUI高温度:0到400℃型号:不锈钢管装加热器(选择:红外线灯管)基片架盘型号:球面型(选择:平面型,公自转,多行星型,可调角度行星盘)转速:0到30转数/分软启,软停,可调速电器控制系统:PC和PLC控制VAC系统:进口复合真空计MFC系统:进口质量流量控制器;进口电磁阀APC系统镀膜沉积控制系统:晶控美国产IC-6,XTC-3S/M,INFICON310。石英晶体感应器:1,2,6头光控控制国产光控(或进口光控)离子源:霍儿源(或考夫曼,RF源)电子束源:10KW180°或270°电子枪深冷系统:真空室麦斯纳阱扩散泵冷阱全程自动控制镀膜以达到产品ZUI终所需要求。 浙江热蒸发真空镀膜机供应商磁控溅射真空镀膜机采用磁控溅射技术,可以在真空环境下进行镀膜。

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    BLL-1500F灯管真空镀膜机

1.工艺文件选择框;2.为厂家的每一炉产品识别号(如没有则不用输入),使用可方便日后查找镀膜过程记录文件;3.读取当前选择工艺文件按钮;4.点击可打开当前所选择的Excel文件;5.晶控复位按钮,可以恢复晶控里一些生产厂家预设;6.用于镀膜过程中出现突发状况的暂停,点击之后可对设备做任何操作(如放气,开门,断电,重启),完成之后只需继续按钮,就可以继续执行暂停时执行的膜层未完成的膜厚;7.镀膜手自动开始选择按钮,选择自动时,则当真空点1E-3Pa为绿、镀膜温度、满足时自动开始执行当前所选择工艺文件;8工艺开始时蜂鸣器响2下提示音。11处可以打开深冷控制画面1.深冷温控表,温度设置和显示窗口(PV为实际值,SV为设定值,上限为最高温度,下限为最低温度);2.深冷预冷时间为固定25分钟,每次开机(无论手动自动都需要预冷),预冷时“预冷中”闪烁,预冷完成后常绿。3.制冷需满足RP开启、“1E+3Pa”条件4.真空室放气(充大气)前深冷必须先除霜,除霜时间3分钟(自动控制时会自动执行除霜)10/13二.正常抽真空流程确认压缩空气,冷却水正常后可以开始抽真空;①手动方式:冷机状态→开机械泵RP→开前级阀HV→开分子泵FP。

为了减少多弧离子真空镀膜机在镀膜过程中产生的宏观颗粒污染,可以采取以下措施:1.优化靶材表面:确保靶材表面平整,无大颗粒或突出物。定期清理和更换靶材,以减少因靶材表面不平整而产生的颗粒。2.调整弧源参数:适当调整弧源的电流和电压,以及靶材与基板之间的距离,可以减少靶材溅射时产生的大颗粒。3.使用磁场过滤:在镀膜室内安装磁过滤器,可以有效捕获和去除等离子体中的带电粒子,从而减少宏观颗粒的产生。4.提高真空度:在开始溅射前,确保达到高真空状态以排除室内残余气体和污染物,这有助于减少颗粒的产生。5.基板预处理:在溅射前对基板进行彻底的清洗和干燥处理,以消除可能带入镀膜室的颗粒。通过上述措施,可以有效控制多弧离子真空镀膜过程中的宏观颗粒污染,保证薄膜的品质。 磁控溅射真空镀膜机具有较高的镀膜速率,可以大幅提高生产效率。

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选择合适的靶材和溅射技术需要基于材料特性和应用需求进行综合考虑。首先,**根据应用需求选择靶材**。不同的应用领域对薄膜的性能有不同的要求,例如电子器件可能需要高导电性的金属薄膜,光学涂层可能需要具有特定折射率的薄膜,而耐磨涂层则需要硬度高的材料。因此,选择靶材时要考虑其能否满足这些性能需求。同时,还需要考虑工艺限制,如溅射功率、压力和反应气体等,以确保靶材能够适应所选的工艺参数。其次,**根据材料特性选择溅射技术**。例如,对于需要高纯度薄膜的应用,如半导体芯片、平面显示器和太阳能电池等,可能需要使用高纯溅射靶材。此外,不同的溅射技术适用于不同类型的材料和薄膜特性。磁控溅射适用于大多数金属和一些非金属材料,而反应溅射则常用于化合物薄膜的沉积。还有,在实际应用中,通常需要通过实验和优化来确定较好的靶材和溅射技术组合,以获得较好的膜层性能。 光学真空镀膜机可以进行定制化设计,以满足客户的个性化需求。山东光学真空镀膜机厂商

磁控溅射真空镀膜机可以制备出高质量、高精度的薄膜材料。江西光学真空镀膜机行价

光学真空镀膜机是一种利用真空技术进行薄膜制备的设备。其工作原理是将待镀膜的基材放置在真空室内,通过抽气系统将真空室内的气体抽出,使得真空室内的压力降低到一定的范围内,然后通过加热系统将镀膜材料加热至一定温度,使其蒸发成气体,然后通过控制系统将气体引导到基材表面,形成一层薄膜。在真空室内,为了保证薄膜的均匀性和质量,通常会采用多种手段进行辅助,如旋转基材、倾斜镀膜源、使用多个镀膜源等。此外,为了保证薄膜的光学性能,还需要对真空室内的气体进行精确控制,以避免气体对薄膜的影响。光学真空镀膜机广泛应用于光学、电子、航空航天等领域,可以制备出具有高透过率、高反射率、高耐磨性等特性的薄膜,为现代科技的发展提供了重要的支持。 江西光学真空镀膜机行价