上海光学真空镀膜机厂家

    多弧离子真空镀膜机是一种利用电弧放电原理在真空中进行薄膜沉积的设备，它通常具备以下特点：-高效的镀膜过程：多弧离子真空镀膜机能够实现高效率的薄膜沉积，这是因为它采用多个弧源同时工作，提高了薄膜沉积的速率。-柱状弧源设计：部分多弧离子镀膜机采用柱状弧源设计，这种设计使得镀膜机内部结构更为紧凑，通常一台镀膜机只装一个柱状弧源于真空室中心，而工件则放置在四周。-大弧源配置：在某些高级的多弧离子镀膜机中，会使用直径较大的弧源，这些弧源直径可达100mm，厚度约为直径的1/4。一台镀膜机上可以装有12到32个这样的弧源，而待镀工件则置于真空室中心。-薄膜质量：多弧离子镀膜机能够在较低的温度下制备出均匀、紧密且具有良好附着力的薄膜，这对于保证薄膜的性能和质量至关重要。综上所述，多弧离子真空镀膜机是一种适用于多种工业领域的高效镀膜设备，其通过多个弧源的设计实现了快速且高质量的薄膜沉积，满足了现代工业生产对薄膜材料高性能要求的需求。 磁控溅射真空镀膜机具有较高的镀膜均匀性和重复性，可以保证产品的质量稳定性。上海光学真空镀膜机厂家

    磁控溅射真空镀膜机在溅射过程中控制颗粒污染是确保薄膜质量的关键。以下是减少颗粒污染的几个方法：1.定期清洁：定期清洁镀膜室内壁、靶材表面和基板支架，以去除累积的尘埃和杂质。2.优化靶材使用：使用高质量的靶材，并确保靶材表面平滑无大颗粒物，避免在溅射过程中产生颗粒。3.提高真空度：在开始溅射前，确保达到高真空状态以排除室内残余气体和污染物，这有助于减少颗粒的产生。4.磁场和电场控制：适当调整磁场和电场的配置，以稳定等离子体，减少靶材异常溅射导致的颗粒污染。5.基板预处理：在溅射前对基板进行彻底的清洗和干燥处理，以消除可能带入镀膜室的颗粒。6.使用粒子过滤器：在镀膜机的进气口安装粒子过滤器，阻止外部颗粒进入镀膜室。7.监控系统：安装颗粒监测系统，实时监控镀膜过程中的颗粒数量和分布，及时采取措施。通过上述措施，可以有效控制磁控溅射过程中的颗粒污染，保证薄膜的品质。安徽PVD真空镀膜机供应商光学真空镀膜机的镀膜层具有高透过率、低反射率、高耐磨性等特点。

为了减少多弧离子真空镀膜机在镀膜过程中产生的宏观颗粒污染，可以采取以下措施：1.优化靶材表面：确保靶材表面平整，无大颗粒或突出物。定期清理和更换靶材，以减少因靶材表面不平整而产生的颗粒。2.调整弧源参数：适当调整弧源的电流和电压，以及靶材与基板之间的距离，可以减少靶材溅射时产生的大颗粒。3.使用磁场过滤：在镀膜室内安装磁过滤器，可以有效捕获和去除等离子体中的带电粒子，从而减少宏观颗粒的产生。4.提高真空度：在开始溅射前，确保达到高真空状态以排除室内残余气体和污染物，这有助于减少颗粒的产生。5.基板预处理：在溅射前对基板进行彻底的清洗和干燥处理，以消除可能带入镀膜室的颗粒。通过上述措施，可以有效控制多弧离子真空镀膜过程中的宏观颗粒污染，保证薄膜的品质。

BLL-1680RS溅射镀膜机工艺操作（摘选）

①工艺自动前提条件，设备必须在自动，自抽模式下，手动模式下不会自动执行工艺。②工艺自动情况下，在满足真空度，抽真空时间，镀膜温度后，自动执行所选择的工艺，进行辉光清洗→弧光清洗→沉积，所有沉积层计时完成后，工艺完成。③工艺自动执行过程中，可以通过点击相应过程按钮终止当前流程，例：此时工艺流程辉光清洗已经完成，进行到弧光清洗中，则单击弧光清洗按钮可以停止当前流程。④工艺自动执行到沉积层任意一层时，如遇问题，点击暂停按钮可停止当前层沉积，排除问题后，点击继续按钮即可继续沉积（继续时需保证所执行的工艺没有改变，以及弧光清洗已经完成）。⑤手动沉积：工艺设置手动，在箭头9处选择开始层，然后点击沉积按钮，则执行该层沉积。若该层手动开始后，改“工艺手动”为“工艺自动”，那么会按工艺自动执行完该层后面的所有沉积层。 光学真空镀膜机的镀膜层具有高精度、高均匀性、高致密性等特点。

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光学真空镀膜机广泛应用于光学、电子、航空航天等领域。上海光学真空镀膜机厂家

    高真空多层精密光学镀膜机BLL-900F型常规配置;真空系统真空泵:2X-70SV300E2M275增压泵:ZJP300WAU1001EH1200高真空泵:分子泵低温泵扩散泵真空室加热系统:ZUI高温度:0到400℃型号:不锈钢管装加热器(选择:红外线灯管)基片架盘型号:球面型(选择:平面型，公自转，多行星型，可调角度行星盘)转速:0到30转数/分软启，软停，可调速电器控制系统:PC和PLC控制VAC系统:进口复合真空计MFC系统:进口质量流量控制器;进口电磁阀:APC系统镀膜沉积控制系统:晶控美国产IC-6，XTC-3S/M，INFICON310.石英晶体感应器:1，2，6头光控控制:国产光控(或进口光控)离子源:霍儿源(或考夫曼，RF源)电子束源-容量:10KW180°或270°电子枪深冷系统真空室麦斯纳阱扩散泵冷阱全程自动控制镀膜以达到产品ZUI终所需要求。 上海光学真空镀膜机厂家