上海多弧离子真空镀膜机厂家

BLL-1680RS溅射镀膜机工艺操作（摘选）

①工艺自动前提条件，设备必须在自动，自抽模式下，手动模式下不会自动执行工艺。②工艺自动情况下，在满足真空度，抽真空时间，镀膜温度后，自动执行所选择的工艺，进行辉光清洗→弧光清洗→沉积，所有沉积层计时完成后，工艺完成。③工艺自动执行过程中，可以通过点击相应过程按钮终止当前流程，例：此时工艺流程辉光清洗已经完成，进行到弧光清洗中，则单击弧光清洗按钮可以停止当前流程。④工艺自动执行到沉积层任意一层时，如遇问题，点击暂停按钮可停止当前层沉积，排除问题后，点击继续按钮即可继续沉积（继续时需保证所执行的工艺没有改变，以及弧光清洗已经完成）。⑤手动沉积：工艺设置手动，在箭头9处选择开始层，然后点击沉积按钮，则执行该层沉积。若该层手动开始后，改“工艺手动”为“工艺自动”，那么会按工艺自动执行完该层后面的所有沉积层。 真空镀膜机广泛应用于电子、光学、化工等领域。上海多弧离子真空镀膜机厂家

多弧离子真空镀膜机BLL-1350PVD型常规配置；

真空系统真空泵:2X-70SV300E2M275增压泵:ZJP600WAU2001EH2600高真空泵:分子泵低温泵扩散泵真空室加热系统:最高温度:0到200℃型号:不锈钢管装加热器基片架盘型号:12轴公转或公自转，转速:0到30转数/分软启，软停，可调速电器控制系统:PC和PLC控制VAC系统:进口复合真空计MFC系统:进口质量流量控制器;进口电磁阀APC系统偏压电源:直流脉冲电源溅射电源:直流脉冲电源电源;中频电源弧源:多弧，平面，孪生，柱靶深冷系统:DW-3全程自动控制镀膜，保障生产产品的一致性，重复性，稳定性。 广东光学真空镀膜机厂家供应真空镀膜机可以降低生产成本，提高经济效益。

真空镀膜机通常由多个主要部件组成，每个部件都有特定的功能，以确保涂层过程的顺利进行。以下是真空镀膜机的一些主要部件及其功能：1.真空腔体（VacuumChamber）：功能：提供一个密封的空间，用于创建真空环境。在这个腔体中，涂层过程将在无空气或真空的条件下进行。2.真空泵（VacuumPump）：功能：用于抽取真空腔体内的空气，创造高度真空的工作环境。不同类型的真空泵包括机械泵、扩散泵、离心泵等，其选择取决于所需的真空度。3.靶材或蒸发源（TargetorEvaporationSource）：功能：提供薄膜材料，可以是金属靶材或化合物靶材。靶材通过蒸发或溅射的方式将薄膜材料释放到真空腔体中，从而沉积在物体表面。4.衬底台（SubstrateHolder）：功能：支持待涂层的物体，也称为衬底。衬底台通常可旋转、倾斜或移动，以确保薄膜均匀沉积在整个表面。5.加热系统（HeatingSystem）：功能：在蒸发涂层中，加热靶材使其蒸发。加热系统可能采用电阻加热或电子束加热等方法。6.冷却系统（CoolingSystem）：功能：控制真空腔体内的温度，防止部分设备过热。冷却系统通常包括冷却水或其他冷却介质。7.控制系统（ControlSystem）：功能：监测和控制整个涂层过程。

    高真空多层精密光学镀膜机BLL-900F型常规配置;真空系统真空泵:2X-70SV300E2M275增压泵:ZJP300WAU1001EH1200高真空泵:分子泵低温泵扩散泵真空室加热系统:ZUI高温度:0到400℃型号:不锈钢管装加热器(选择:红外线灯管)基片架盘型号:球面型(选择:平面型，公自转，多行星型，可调角度行星盘)转速:0到30转数/分软启，软停，可调速电器控制系统:PC和PLC控制VAC系统:进口复合真空计MFC系统:进口质量流量控制器;进口电磁阀:APC系统镀膜沉积控制系统:晶控美国产IC-6，XTC-3S/M，INFICON310.石英晶体感应器:1，2，6头光控控制:国产光控(或进口光控)离子源:霍儿源(或考夫曼，RF源)电子束源-容量:10KW180°或270°电子枪深冷系统真空室麦斯纳阱扩散泵冷阱全程自动控制镀膜以达到产品ZUI终所需要求。 真空镀膜机可以应用于太阳能电池、LED等新能源领域。

    中频热蒸发双门真空镀膜机是一种高效、稳定、可靠的镀膜设备，应用于电子、光学、化工、汽配等领域。该设备采用中频清洗和镀制硅油保护膜，硅油控制采用先进技术确保了硅油的稳定性，从而实现高质量的镀膜效果。中频热蒸发双门真空镀膜机具有多项优势。首先，该设备采用双门结构，可交替装载工件镀膜产品，提高了生产效率。其次，该设备采用真空镀膜技术，能够在无氧、无尘、无污染的环境下进行镀膜，保证了产品的质量和稳定性。此外，该设备还具有高度自动化的特点，可实现全自动控制，减少了人工干预，提高了生产效率和产品质量。中频热蒸发双门真空镀膜机的应用范围非常多。在电子领域，该设备可用于制造半导体器件、光电器件、显示器件等；在光学领域，该设备可用于镀制反射镜、透镜、滤光片等；在化工领域，该设备可用于制造防腐蚀涂层、耐磨涂层等；在汽配领域，该设备可用于汽车灯具，饰板等。总之，中频热蒸发双门真空镀膜机是一种高效、稳定、可靠的镀膜设备，具有多项优势和极大的应用范围。我们相信，该设备将为客户提供更加稳定的产品和服务。 真空镀膜机是现代工业生产中不可或缺的重要设备。福建热蒸发真空镀膜机加工

光学真空镀膜机是一种高精度的设备，用于在光学元件表面上制备高质量的薄膜。上海多弧离子真空镀膜机厂家

    真空镀膜机的维护保养对于确保设备长时间稳定运行和保持涂层质量非常重要。以下是一些需要注意的问题以及维护保养的一般指导：1.真空系统的检查：·定期检查真空泵和真空管路，确保系统真空度稳定。清理真空室和泵的内部，防止积聚的杂质影响真空度。2.镀膜材料的管理：定期检查和更换镀膜材料，确保蒸发源或溅射靶材的稳定性和寿命。清理镀膜源周围区域，防止杂质进入涂层。3.电源和加热系统的检查：定期检查电源和加热系统的工作状态，确保设备能够提供足够的功率。检查加热元件和温度控制系统，确保温度控制精度。4.底座和旋转系统的维护：检查底座和衬底旋转系统，确保其运转平稳。润滑旋转部件，防止因摩擦而导致的故障。5.涂层监测和控制系统的校准：校准涂层监测和控制系统，确保其准确测量涂层厚度和其他性能参数。定期校准光学监测系统，确保光学涂层的性能。6.安全系统的检查：确保真空镀膜机的安全系统正常工作，包括紧急停机按钮、过热保护等。检查真空系统的泄漏，确保操作环境安全。7.定期清理：清理真空室内的残留物和杂质，确保涂层的纯净度。定期清理控制系统和电气元件，防止积尘和杂物影响设备运行。 上海多弧离子真空镀膜机厂家

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