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超高效无隔板空气过滤器技术亮点是什么?在半导体行业的应用价值

来源: 发布时间:2026-01-15

东莞市华业净化设备有限公司的HY-HEPA-ULPA型超高效无隔板空气过滤器,是针对电子半导体、高精尖科研等领域极高洁净度需求研发的旗舰级高精尖产品,重要技术亮点集中体现在过滤精度、材质工艺和使用寿命三大重要维度,凭借远超行业普通标准的性能表现,成为多个洁净环境构建的重要支撑设备。在过滤精度上,该过滤器突破普通高效过滤器的性能瓶颈,采用双层叠加的超高效滤材设计,配合精确的气流导向结构,过滤效率严格遵循国际ULPA标准,可精确捕集0.12μm以上的微小颗粒物,过滤效率高达99.999%以上,相较于普通高效过滤器,能实现对纳米级污染物的有效拦截,为洁净环境提供多效防护。在材质工艺上,该产品延续华业净化一贯的高标准管控标准,外框采用加厚型阳极氧化处理铝合金,经过多道防腐工艺加工,不仅机械强度更高,抗腐蚀性能也极为出色,可有效抵御半导体车间光刻胶挥发、蚀刻工艺产生的轻微腐蚀性气体侵蚀,避免外框老化变形;滤材则选用进口高纯度超细玻璃纤维,经过特殊的覆膜处理,化学性质极为稳定,不易与空气中的化学物质发生反应,同时杜绝纤维脱落风险,确保长期使用中过滤性能不衰减、无二次污染。在使用寿命上,通过优化滤材褶皱密度和内部气流通道设计,该过滤器的容尘量较普通超高效过滤器提升60%以上,使用寿命延长50%,能大幅减少过滤器更换频率,降低企业的运维成本和停机损失。

在半导体行业,华业净化这款HY-HEPA-ULPA型超高效无隔板空气过滤器具有不可替代的重要应用价值,直接关联半导体产品的生产精度与良率。半导体晶圆光刻车间堪称“洁净度的重要战场”,随着芯片制程不断向7nm、3nm甚至更先进节点突破,光刻工艺对环境洁净度的要求达到纳米级标准——电路图案需以纳米级精度投影到晶圆表面,任何0.12μm以上的微小尘埃附着,都可能导致图案失真、线路短路,直接造成晶圆报废,带来巨额经济损失。华业净化的HY-HEPA-ULPA型超高效过滤器作为车间末端净化的重要设备,普遍集成于FFU风机过滤单元或高效送风口,配合车间的恒温恒湿、负压隔离、气流均布等洁净工程系统,能为光刻工序营造每立方米空气中大于等于0.1μm的颗粒数不超过10个的无尘环境,精确保障光刻精度,为我国半导体产业突破先进制程技术瓶颈提供关键环境支撑。除光刻车间外,在半导体封装测试车间,芯片引脚焊接、封装材料贴合等工序对尘埃污染同样敏感,微小尘埃会导致引脚接触不良、封装密封性下降,影响芯片使用寿命和可靠性,该超高效过滤器能有效拦截车间内的焊锡烟雾颗粒、塑料碎屑等污染物,确保封装测试环节的环境洁净度。更值得一提的是,华业净化针对半导体行业24小时连续生产的特性,为该产品配备了完善的售后保障体系,提供定期上门检测、滤材状态监测、快速更换维护等定制化服务,确保过滤器始终处于正常运行状态,从设备保障到服务支撑为半导体生产的稳定高效保驾护航。

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