洁净车间设计的气流组织形式有哪些?
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发布时间:2026-01-08
洁净车间设计的气流组织形式主要分为两大类:单向流(Unidirectional Flow) 和 非单向流(Non-Unidirectional Flow,又称乱流 / Turbulent Flow)。此外,还有一种结合了两者特点的混合流(Mixed Flow)。
选择哪种形式,根本取决于洁净度等级和工艺需求。以下是详细的分类解析:
一、 单向流(Unidirectional Flow)
根本原理:气流以均匀的截面速度,沿着平行流线,呈单一方向流动。就像一把 “气刀”,将室内的微粒直接 “推” 出室外,而不是依靠稀释。
适用等级:ISO 4 ~ ISO 6 级(高洁净度,如芯片光刻、无菌灌装)。
1. 垂直单向流(Vertical Unidirectional Flow)
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气流走向:顶棚满布高效过滤器送风 → 垂直向流动动 → 穿过工作区 → 地板或墙下侧回风。
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特点:
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洁净度比较高:能将人员和设备产生的污染迅速压至回风口排出。
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自净时间短:污染后恢复极快。
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设计要点:
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顶棚高效过滤器覆盖率需 ≥80%(通常采用 FFU 层流罩)。
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地面通常采用格栅架空地板(回风夹道),以保证回风均匀。
2. 水平单向流(Horizontal Unidirectional Flow)
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气流走向:一面墙满布高效过滤器送风 → 水平横向流动 → 对面墙回风。
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特点:
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气流质量梯度:送风墙侧需干净,回风墙侧需差。
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成本较低:不需要高架地板。
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设计要点:
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工艺布局严格:必须将需关键的工序 / 设备布置在送风墙侧,人员和污染源布置在回风墙侧(下风向)。
二、 非单向流 / 乱流(Non-Unidirectional Flow)
根本原理:气流以不均匀的速度呈不平行的流线流动,伴有回流和涡流。依靠稀释作用,将室内的污染物浓度降低到允许范围内。
适用等级:ISO 7 ~ ISO 9 级(中低洁净度,如电子组装、包装、普通制药)。
1. 顶送下回(Top Supply, Bottom Return)
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气流走向:顶棚散流板 / 高效风口送风 → 扩散至工作区 → 穿过工作区 → 地板或墙下侧回风。
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特点:
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通用性强:适合大多数乱流洁净室。
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控制效果较好:利用 “上送风下压” 的原理,防止污染物向上飞扬。
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设计要点:
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送风口需布置均匀,避免死角。
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回风口通常设置在侧墙下部或走廊下方。
2. 顶送侧回(Top Supply, Side Return)
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气流走向:顶棚送风 → 扩散 → 侧墙中上部回风。
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特点:
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施工简单:不需要处理地板回风,造价低。
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易积尘:地面容易积尘,因为气流不经过地面。
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适用场景:对地面无特殊要求的一般洁净区(如 ISO 8/9 级)。
3. 侧送侧回(Side Supply, Side Return)
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气流走向:侧墙中上部送风 → 对侧或同侧下部回风。
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特点:
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适用场景:需用于ISO 9 级或辅助区,生产区极少使用。
三、 混合流(Mixed Flow)
根本原理:在一个较大的乱流洁净室中,设置一个局部的单向流区域。结合了乱流的低成本和单向流的高洁净度。
适用场景:
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工艺需求差异大:例如车间整体是 ISO 7 级,但其中某台设备需要 ISO 5 级的环境。
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设计方式:
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整体环境采用 “顶送下回” 乱流。
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在关键设备上方安装洁净棚(Clean Booth)或层流罩(Laminar Flow Hood),形成局部垂直单向流。
四、 气流组织对比与选型指南
五、 设计建议
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优先选垂直单向流:如果预算允许且工艺要求高(ISO 5 级),垂直单向流是容错率比较高的选择。
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乱流选顶送下回:对于 ISO 7/8 级车间,“顶送下回” 能很大程度减少地面扬尘,优于顶送侧回。
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避免 “大材小用”:不要为了 ISO 8 级的车间设计单向流,这会造成巨大的初投资和电费浪费。