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洁净车间设计的气流组织形式有哪些?

来源: 发布时间:2026-01-08
洁净车间设计的气流组织形式主要分为两大类:单向流(Unidirectional Flow) 和 非单向流(Non-Unidirectional Flow,又称乱流 / Turbulent Flow)。此外,还有一种结合了两者特点的混合流(Mixed Flow)
选择哪种形式,根本取决于洁净度等级工艺需求。以下是详细的分类解析:

一、 单向流(Unidirectional Flow)

根本原理:气流以均匀的截面速度,沿着平行流线,呈单一方向流动。就像一把 “气刀”,将室内的微粒直接 “推” 出室外,而不是依靠稀释。
适用等级:ISO 4 ~ ISO 6 级(高洁净度,如芯片光刻、无菌灌装)。

1. 垂直单向流(Vertical Unidirectional Flow)

  • 气流走向:顶棚满布高效过滤器送风  垂直向流动动  穿过工作区  地板或墙下侧回风。
  • 特点
    • 洁净度比较高:能将人员和设备产生的污染迅速压至回风口排出。
    • 自净时间短:污染后恢复极快。
  • 设计要点
    • 顶棚高效过滤器覆盖率需 ≥80%(通常采用 FFU 层流罩)。
    • 地面通常采用格栅架空地板(回风夹道),以保证回风均匀。

2. 水平单向流(Horizontal Unidirectional Flow)

  • 气流走向:一面墙满布高效过滤器送风  水平横向流动  对面墙回风。
  • 特点
    • 气流质量梯度:送风墙侧需干净,回风墙侧需差。
    • 成本较低:不需要高架地板。
  • 设计要点
    • 工艺布局严格:必须将需关键的工序 / 设备布置在送风墙侧,人员和污染源布置在回风墙侧(下风向)。

二、 非单向流 / 乱流(Non-Unidirectional Flow)

根本原理:气流以不均匀的速度呈不平行的流线流动,伴有回流和涡流。依靠稀释作用,将室内的污染物浓度降低到允许范围内。
适用等级:ISO 7 ~ ISO 9 级(中低洁净度,如电子组装、包装、普通制药)。

1. 顶送下回(Top Supply, Bottom Return)

  • 气流走向:顶棚散流板 / 高效风口送风  扩散至工作区  穿过工作区  地板或墙下侧回风。
  • 特点
    • 通用性强:适合大多数乱流洁净室。
    • 控制效果较好:利用 “上送风下压” 的原理,防止污染物向上飞扬。
  • 设计要点
    • 送风口需布置均匀,避免死角。
    • 回风口通常设置在侧墙下部走廊下方

2. 顶送侧回(Top Supply, Side Return)

  • 气流走向:顶棚送风  扩散  侧墙中上部回风。
  • 特点
    • 施工简单:不需要处理地板回风,造价低。
    • 易积尘:地面容易积尘,因为气流不经过地面。
  • 适用场景:对地面无特殊要求的一般洁净区(如 ISO 8/9 级)。

3. 侧送侧回(Side Supply, Side Return)

  • 气流走向:侧墙中上部送风  对侧或同侧下部回风。
  • 特点
    • 气流死角多:洁净度较差。
    • 成本比较低
  • 适用场景:需用于ISO 9 级或辅助区,生产区极少使用。

三、 混合流(Mixed Flow)

根本原理:在一个较大的乱流洁净室中,设置一个局部的单向流区域。结合了乱流的低成本和单向流的高洁净度。
适用场景
  • 工艺需求差异大:例如车间整体是 ISO 7 级,但其中某台设备需要 ISO 5 级的环境。
  • 设计方式
    • 整体环境采用 “顶送下回” 乱流。
    • 在关键设备上方安装洁净棚(Clean Booth)层流罩(Laminar Flow Hood),形成局部垂直单向流。

四、 气流组织对比与选型指南

对比维度 单向流 (层流) 非单向流 (乱流)
洁净度等级 ISO 4 ~ 6 级 (Class 1~1000) ISO 7 ~ 9 级 (Class 10,000~1,000,000)
根本机制 活塞推扫 (置换原理) 稀释混合 (混合原理)
截面风速 0.36 ~ 0.54 m/s (需均匀) 无特定要求,主要看换气次数
换气次数 极高 (400~800 次 /h) 中等 (10~60 次 /h)
自净时间 极快 (<1 分钟) 较慢 (5~20 分钟)
造价成本  (需满布 FFU、高架地板)  (常规风管、散流器)
能耗 极高 较低
典型应用 芯片光刻、无菌配液、手术室 包装、组装、灌装辅助区

五、 设计建议

  1. 优先选垂直单向流:如果预算允许且工艺要求高(ISO 5 级),垂直单向流是容错率比较高的选择。
  2. 乱流选顶送下回:对于 ISO 7/8 级车间,“顶送下回” 能很大程度减少地面扬尘,优于顶送侧回。
  3. 避免 “大材小用”:不要为了 ISO 8 级的车间设计单向流,这会造成巨大的初投资和电费浪费。
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