安田丰技术(江苏)有限公司2026-06-12
设备利用高纯度化学液配合动态冲洗工艺,可有效去除晶圆表面的痕量金属离子。通过控制液体温度、流量与浸泡时间,使金属污染物溶解并随废液排出。处理后晶圆表面金属残留量能满足敏感器件制造要求。
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