光掩膜版吸附式机械手是否需要额外配备气源？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-05-17

安田丰技术光掩膜版吸附式机械手需要额外配备气源，共需两路气源配合工作：一路负压用于产生吸附力，实现对光掩膜版的抓取；一路正压用于控制内部电磁阀的开启和闭合，保障设备正常运行。外部气源提供后，由机械手自身完成气源的准确控制，操作便捷。

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简介：安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料，服务于AR和半导体行业，致力于提供高性能、高效率的解决方案

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