POCl₃扩散中，“预沉积” 和 “推进扩散” 是指什么？

赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-07-16

这是 POCl₃扩散的两个关键步骤。预沉积是指在较低温度下（如 800°C-850°C），让 POCl₃分解产生的磷原子在硅片表面形成一层高浓度的磷硅玻璃，为后续扩散提供磷源；此阶段主要控制表面磷浓度，不追求深度。推进扩散则是在更高温度（如 900°C-1000°C）下，将预沉积的磷原子向硅片内部扩散，达到设计的结深和浓度分布；此阶段通过控制温度和时间，精确调节扩散深度和内部浓度梯度，是决定器件性能的关键步骤。

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