半导体晶圆真空传输用什么真空机组？

深圳市滨海真空技术有限公司2026-08-16

晶圆传输机器人需要在真空腔室内完成取放片。滨海真空为传输设备配套分子泵加干式螺杆罗茨真空机组，为传输腔提供10⁻⁴至10⁻⁶ Pa高洁净真空。某12英寸晶圆厂使用后，晶圆滑片率降低。管路电抛光，氦检漏，颗粒控制满足要求。

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简介：专注于真空设备的技术开发、销售及咨询，提供机械设备安装服务，涉及货物和技术进出口。

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