与卧式炉相比，立式炉有哪些独特优势？

赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-04-19

立式炉的结构更紧凑，占地面积小，在寸土寸金的半导体生产车间，能有效节省空间，降低场地成本。它在温度控制方面更精确，能实现更好的温度均匀性，减少晶圆因受热不均产生的翘曲等问题，提升产品良率。并且立式炉更易实现自动化，从晶圆的装载、工艺过程控制到卸载，都能通过自动化系统高效完成，提高生产效率。此外，在处理过程中，立式炉产生的颗粒较少，能更好地保证半导体制造环境的洁净度。

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