半导体高纯碳化硅纯度能做到什么级别？

江苏三责新材料科技股份有限公司2026-07-22

半导体领域应用的高纯碳化硅部件纯度可以达到较高水准，基础基材纯度能够稳定达到 99.97%。部件表面经过 CVD 碳化硅涂层加工处理之后，纯度可进一步提升至 99.9999% 级别，杂质含量被严格控制在极低范围。高纯度属性可以规避生产过程中的物料污染问题，江苏三责新材料科技股份有限公司严控原料与加工流程，量产高纯度碳化硅半导体配件。

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