LED外延MOCVD碳化硅涂层盘有哪些规格？

江苏三责新材料科技股份有限公司2026-07-22

MOCVD碳化硅涂层盘拥有多种标准分片规格，包含19片2吋、14片4吋、36片4吋、41片4吋等主流款式，也可按需定制单片6吋、8吋规格。涂层杂质总含量低于5ppm，沉积厚度差异小，高温外延环境温场均匀，适配AIXTRON、Veeco等主流外延机台稳定运行。

本回答由 江苏三责新材料科技股份有限公司 提供

江苏三责新材料科技股份有限公司

简介：三责新材成立于2014年，专注于高性能碳化硅陶瓷的研发、生产和销售，拥有多个制造基地和研发中心。

简介：三责新材成立于2014年，专注于高性能碳化硅陶瓷的研发、生产和销售，拥有多个制造基地和研发中心。

类似问题

企业信息

江苏三责新材料科技股份有限公司

联系人：专属咨询顾问

手机： ***

地址：

上海市******