金属表面处理真空镀膜薄膜应力过大导致开裂的对策呢？

广东华升纳米科技股份有限公司2025-11-23

金属表面处理真空镀膜薄膜应力过大而开裂，根源多是热膨胀失配与沉积致密化应力叠加。对策：①降低基底温度至150 ℃以下，采用间歇沉积+30 s停层冷却，减少热应力；②引入10 nm厚Cr或Ti过渡层，缓冲不锈钢与陶瓷膜间膨胀差；③梯度功率沉积，先20 W低致密度成核，再升80 W增厚，总应力可降30%；④每200 nm插入反溅射5 nm，释放累积张应力。经上述金属表面处理优化，膜内应力可由1.2 GPa降至0.3 GPa，划格无裂纹，满足后续冲压折弯，保障批量金属表面处理真空镀膜良品率与交货节拍，降低金属表面处理返工成本。

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