金属表面处理真空镀膜腔室壁出现沉积物堆积如何处理？

广东华升纳米科技股份有限公司2025-11-23

金属表面处理真空镀膜腔室壁沉积物堆积，会放气、剥落成颗粒，导致膜层与污染。处理流程：①定期空载通氩/氧等离子体，80℃下原位刻蚀30min，把疏松沉积物剥离抽走；②对厚层，停机后人工用无尘布蘸5%柠檬酸湿擦，再用纯酒精漂洗，快速烘干；③加装可拆屏蔽板，每批次后取出喷砂+超声清洗，实现离线维护；④优化工艺气压与靶距，降低散射比例，从源头减少壁沉积。经此金属表面处理管理，可保持本底真空≤5×10⁻4Pa，颗粒计数降80%，保障金属表面处理真空镀膜良品率，延长金属表面处理设备保养周期。

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