金属表面处理真空镀膜薄膜折射率不符合要求如何调整？

广东华升纳米科技股份有限公司2025-11-23

金属表面处理真空镀膜折射率偏离设计，常因气体配比失衡、沉积温度或离子轰击能量不当，致膜层致密度与化学计量偏移。对策：①梯度实验微调N₂/O₂流量比，每5%步进记录n值，锁定接近目标区间；②升高基底温度至150–200℃，增强表面迁移，减少孔隙，可提升n约0.1；③调节射频偏压，-200 V低能转为-400 V中高能，增加离子填隙，密度↑3%，n随之增大；④周期引入10 nm高n过渡层并交替沉积，形成纳米叠层，兼顾光学与应力匹配。经上述金属表面处理参数耦合优化，可将550 nm波长折射率偏差控制在±0.01内，光谱曲线与设计重合度＞98%，保障批量金属表面处理真空镀膜光学件一次良品率，缩短金属表面处理新品开发周期。