广西一体式电镀设备

半导体滚镀设备

是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备，主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺，实现高精度、高一致性的金属覆盖，满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求

与传统滚镀不同，半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。

二、功能

1.金属互连：在晶圆上形成铜导线。

2.凸块制备：沉积锡、铜、金等材料，用于芯片与基板的电气连接。

3.阻挡层/种子层镀覆：镀钛、钽等材料，防止金属扩散并增强附着力。

三、设备组成

1.电镀槽：

材质：耐腐蚀材料，避免污染镀液

镀液循环系统：维持镀液成分均匀，过滤颗粒杂质

2.旋转载具：

晶圆固定装置：真空吸附或机械夹持，确保晶圆平稳旋转

转速控制：通过伺服电机调节转速，优化镀层均匀性

3.阳极系统：

可溶性/不溶性阳极：铜、铂等材料，依镀层需求选择

阳极位置调节：控制电场分布，减少边缘效应

4.供液与喷淋系统：

多点喷淋头：均匀分配镀液至晶圆表面，避免气泡滞留

流量控制：精确调节镀液流速，匹配不同工艺需求

5.控制系统：

PLC/工控机：集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。

配方管理：存储不同镀层的工艺参数 镀镍设备配套活性炭吸附装置，定期去除镀液中有机杂质，防止细孔、麻点等镀层缺陷。广西一体式电镀设备

电镀滚镀机与电镀生产线的关系

从属关系：滚镀机是电镀生产线的执行设备之一

1.电镀生产线的系统构成

电镀生产线是涵盖前处理（除油、酸洗）→电镀处理（镀槽设备）→后处理（清洗、钝化、干燥）→自动化控制的完整流程系统，目标是通过电化学原理在工件表面沉积金属镀层（如镀锌、镍、铜、铬等）。

关键设备包括：镀槽（如滚镀机、挂镀槽、连续镀设备）、电源、过滤循环系统、加热/冷却装置、传输装置（如行车、链条）等。

2.滚镀机的定位

滚镀机是电镀处理环节中用于批量小件电镀的镀槽设备，属于电镀生产线的“执行单元”，主要解决小尺寸、大批量工件（如螺丝、电子元件、五金件）的高效电镀问题。与挂镀机（适用于大件或精密件，单个悬挂电镀）、篮镀（半手工操作，适用于中等尺寸工件）共同构成电镀生产线的不同镀槽类型。 加工电镀设备电镀废水的重金属回收设备采用离子交换树脂，高效吸附镍、铜离子，实现资源循环利用。

全自动磷化线

一种用于金属表面处理的自动化生产线，通过化学磷化工艺在金属表面形成一层磷酸盐转化膜，以提升金属的耐腐蚀性、涂装附着力和润滑性能

一、基本概念

1.磷化（Phosphating）是一种化学表面处理技术，利用磷酸盐溶液与金属（如钢铁、锌、铝等）发生反应，生成一层致密的磷酸盐晶体膜（如磷酸铁、磷酸锌）

功能：防锈、增强涂层附着力、减少摩擦、延长金属寿命

2.全自动磷化线通过自动化设备实现磷化工艺全流程无人化操作，覆盖预处理、磷化、后处理等环节。

二、组成

1.预处理单元

脱脂槽：去除金属表面油污

酸洗槽：氧化皮和锈迹

水洗槽：冲洗残留化学药剂

2.磷化处理单元

磷化槽：主反应区，金属浸泡或喷淋磷化液，生成转化膜

温度与浓度控制：通过传感器和自动加药系统维持工艺参数稳定

3.后处理单元

封闭/钝化槽：增强磷化膜耐腐蚀性

烘干系统：热风或红外烘干，避免水痕残留

4.自动化系统

输送装置：传送带、机械臂或悬挂链，精细控制工件移动

PLC控制：集成温控、液位监测、流程时序管理

数据监控：实时记录工艺参数，支持远程操作与故障诊断

三、工作流程

上料 → 脱脂 → 水洗 → 酸洗 → 水洗 → 表调（调整表面活性）→ 磷化 → 水洗 → 钝化 → 烘干 → 下料。

电镀周边设备有哪些？

1.镀槽：是电镀加工的设备，用于盛放电镀液，为电镀提供反应场所。根据电镀工艺和工件的不同，镀槽的材质、形状和尺寸也各不相同，常见的有聚丙烯、聚四氟乙烯等材质制成的镀槽。

2.整流器：其作用是将交流电转换为直流电，为电镀过程提供稳定的电流。电镀过程需要精确控制电流的大小和稳定性，以确保电镀层的质量和性能。

3.过滤机：用于过滤电镀液中的杂质、颗粒和悬浮物，保持电镀液的清洁度。过滤机通常采用滤芯式或滤袋式过滤，可根据电镀液的性质和过滤精度要求选择不同的过滤材料。

4.加热和冷却装置：加热装置通常采用电加热或蒸汽加热的方式，而冷却装置则多采用冷水机或冷却塔进行冷却。

5.搅拌设备：包括机械搅拌和空气搅拌等方式。

6.挂具：用于悬挂和固定待电镀的工件，使工件能够在电镀槽中与电镀液充分接触，并保证电流均匀地通过工件。7.行车：主要用于在电镀车间内吊运工件、原材料和成品等重物。

8.废气处理设备：电镀过程中会产生各种有害气体，如酸雾、碱雾和重金属废气等。废气处理设备通常采用喷淋塔、活性炭吸附装置、催化燃烧装置等，对废气进行净化处理，达标后排放。 废水处理设备分类收集含铬、镍等废水，经化学沉淀、离子交换处理，确保重金属达标排放。

电镀废气处理抽风设备什么？

是用于将电镀过程中产生的废气收集并输送至废气处理设备的装置，常见的有以下几种：

离心风机：利用叶轮旋转产生的离心力使气体获得能量，从而实现气体的输送。

                  具有风压高、风量较大、效率较高的特点，

                  适用于输送距离较长、阻力较大的电镀废气系统。

轴流风机：气体沿着风机轴的方向流动

                 其特点是风量较大、风压低          

                 适用于对通风量要求较大但阻力较小的场合，如电镀车间内的局部抽风或简单的废气收集系统。

屋顶风机：通常安装在电镀车间的屋顶，可将车间内的废气直接排至室外。

                它具有安装方便、不占用室内空间的优点，

               适用于一些对室内空间布局要求较高的电镀企业。

防爆风机：电镀废气中含有易燃易爆气体，如某些有机溶剂挥发产生的废气，就需要使用防爆风机。

               这种风机采用特殊的防爆结构和材料，能够有效防止在运行过程中产生的电火花等引发炸掉事故，确保安全生产。 检测设备配备 X 射线测厚仪与 pH 传感器，在线监测镀层厚度及药液参数，实时反馈并修正工艺偏差。出口型电镀设备供应商家

废气处理设备配套槽边吸气罩与洗涤塔，中和电镀过程中挥发的酸碱废气，符合环保排放要求。广西一体式电镀设备

被动元器件与电镀设备的应用案例：

案例1：MLCC端电极电镀

           流程：陶瓷烧结→端面研磨→溅射镍层→电镀铜/锡层→激光切割分粒。

          设备：溅射镀膜机+滚镀线，确保端电极导电性与焊接性。

案例2：薄膜电阻调阻后电镀

          流程：氧化铝基板→溅射镍铬电阻膜→激光调阻→电镀镍/锡保护层。

           作用：电镀层防止调阻后的敏感膜层氧化，并提升端面焊接性能。

案例3：功率电感引脚镀锡

           流程：磁芯绕线→引脚焊接→电镀纯锡→热风整平。

          目标：降低接触电阻，适应大电流场景。 广西一体式电镀设备