1.前处理:晶圆清洗、去氧化层、活化表面。
2.装载:将晶圆固定于旋转载具,浸入镀液。
3.电镀:
施加电流,金属离子在晶圆表面还原沉积。
旋转载具确保镀液流动均匀,消除厚度差异。
4.后处理:镀层退火、清洗、干燥。
1.高均匀性:
旋转+喷淋设计减少“边缘增厚”现象,镀层均匀性达±5%以内。
2.精密控制:电流密度精度:±1 mA/cm²;温度波动:±0.5℃。
3.洁净度保障:设备内建HEPA过滤系统,满足Class 1000以下洁净环境。
4.高效生产:支持多片晶圆同时处理(如6片/批次),UPH(每小时产量)可达50~100片。
1.先进封装:2.5D/3D IC的TSV镀铜、Fan-Out封装中的RDL金属化。
2.功率器件:IGBT、MOSFET背面金属化(镀银、镀镍)。
3.传感器与MEMS:微结构表面镀金,提升电气性能与可靠性。 在线监测设备搭载 AI 算法,实时分析镀层缺陷(如麻点、漏镀),自动调整电流参数提升良品率。江苏高速电镀设备
龙门式自动线通过龙门机械手(横跨电镀槽上方的移动框架)和悬挂系统,将工件按预设程序在不同工艺槽(如除油、电镀、水洗等)间自动转移,全程由PLC(可编程逻辑控制器)控制,实现无人化连续生产。
组成
1.龙门机械
手采用伺服电机驱动,双立柱+横梁结构,负载能力可达200-1000kg行程精度:±0.1mm(机型可达±0.05mm)移动速度:水平0.5-2m/s,升降0.2-0.5m/s
2.轨道系统
精密导轨+齿轮齿条传动,支持多工位并行作业防腐蚀设计(不锈钢或镀层保护),适应酸碱环境
3.挂具系统
定制化夹具,适配不同工件形状(如支架、吊篮)导电触点采用银/铜复合材料,接触电阻<0.05Ω
4.控制系统
PLC+触摸屏(HMI),预设上百种工艺配方实时监控电流、温度、pH值,数据存储追溯
环保型电镀设备生产过程过滤循环设备通过精密滤芯净化电解液,去除金属颗粒等杂质,保障镀液清洁与工艺稳定。
集气罩:根据前处理设备形状、废气散发特点定制,如槽边侧向集气罩等,可高效收集废气,常见材质有 PP 等耐腐蚀材料 。
通风管道:多选用耐腐蚀的 PP 材质,用于连接抽风设备各部件,将废气输送至处理设备,其设计需考虑废气流量、阻力等因素 。
引风机:常安装在输送通道出风口处,为废气的抽取和输送提供动力 ,可根据实际需求选择不同规格和性能的引风机。
此外,一些抽风装置还可能配备过滤处理箱、活性炭吸附网板等,用于对废气进行初步过滤、吸附,减少大颗粒杂质等对风机的损害 。
电镀滚镀机与电镀生产线的关系
从属关系:滚镀机是电镀生产线的执行设备之一
1.电镀生产线的系统构成
电镀生产线是涵盖前处理(除油、酸洗)→电镀处理(镀槽设备)→后处理(清洗、钝化、干燥)→自动化控制的完整流程系统,目标是通过电化学原理在工件表面沉积金属镀层(如镀锌、镍、铜、铬等)。
关键设备包括:镀槽(如滚镀机、挂镀槽、连续镀设备)、电源、过滤循环系统、加热/冷却装置、传输装置(如行车、链条)等。
2.滚镀机的定位
滚镀机是电镀处理环节中用于批量小件电镀的镀槽设备,属于电镀生产线的“执行单元”,主要解决小尺寸、大批量工件(如螺丝、电子元件、五金件)的高效电镀问题。与挂镀机(适用于大件或精密件,单个悬挂电镀)、篮镀(半手工操作,适用于中等尺寸工件)共同构成电镀生产线的不同镀槽类型。 工件篮设备用于篮镀工艺,网孔大小根据工件尺寸定制,兼顾电解液流通性与防止小件掉落。
阳极氧化线的典型应用场景
1.铝加工与建筑领域:
建筑铝型材(门窗、幕墙)的阳极氧化 + 染色,提升耐候性和美观度。
铝制家具、装饰件(如拉手、面板)的表面处理。
2.电子与消费品:3C 产品外壳(手机、笔记本电脑)的阳极氧化着色,实现金属质感与轻量化(如苹果 iPhone 的阳极氧化工艺)。铝电解电容器的阳极箔氧化(形成绝缘膜)。
3.机械与航空航天:铝合金零件的硬质阳极氧化(如航空发动机叶片、液压部件),增强耐磨和耐温性(耐温可达 150℃以上)。钛合金医用植入物的阳极氧化,提升生物相容性。
4.汽车工业:铝合金轮毂、发动机零件的阳极氧化,兼顾防腐与散热。汽车内饰件(如换挡旋钮、装饰条)的装饰性氧化处理。
与其他表面处理生产线的对比
对比项 阳极氧化线 电镀线 电泳线 涂层性质 金属氧化物(与基体一体) 外来金属 / 合金镀层 有机树脂涂层(非金属) 结合力 化学键结合(强) 机械 / 冶金结合 物理吸附 + 化学键结合 主要材料 铝、镁、钛等轻金属 钢铁、铜、塑料(导电化后) 金属、塑料(导电化后) 功能性 侧重防腐、耐磨、绝缘、装饰 防腐、导电、贵金属装饰 防腐、绝缘、均匀覆盖 挂镀导电装置采用磷铜合金挂具,表面镀硬铬增强导电性,减少接触电阻导致的镀层不均问题。广东电镀设备定做价格
后处理电镀设备包含钝化槽与干燥箱,前者增强镀层耐腐蚀性,后者快速去除水分防止白斑。江苏高速电镀设备
工艺优化与镀液研发:可探索电镀工艺参数(如镀液成分、电流密度、温度等)对镀层质量的影响,通过调控参数分析镀层的厚度、均匀性、光泽度等指标,为工业化生产筛选比较好工艺方案。同时,支持新型镀液配方的小试实验,评估镀层的耐腐蚀性、耐磨性等性能,助力环保型、功能性镀液的开发与改良。
精细制备小批量样品:在科研场景中,能精确控制电镀过程,为材料科学、表面工程等领域提供少量高质量样品,用于微观结构分析、成分分布检测等基础研究;在产品开发阶段,可快速制备电镀试样,帮助企业验证新产品的外观与性能,提前优化设计,降低大规模生产的试错成本。
教学实践与科普展示:作为教育工具,支持学生亲身体验电镀原理与操作流程,通过调节参数观察实验现象,培养实践动手能力与科学思维;在科普活动中,以直观的电镀过程演示,向公众展示表面处理技术的魅力,激发对材料科学的兴趣。其紧凑设计与灵活可控性,使其成为连接理论研究与实际应用的关键桥梁,兼具科研价值、生产指导意义与教育功能。编辑分享 江苏高速电镀设备