1.前处理:晶圆清洗、去氧化层、活化表面。
2.装载:将晶圆固定于旋转载具,浸入镀液。
3.电镀:
施加电流,金属离子在晶圆表面还原沉积。
旋转载具确保镀液流动均匀,消除厚度差异。
4.后处理:镀层退火、清洗、干燥。
1.高均匀性:
旋转+喷淋设计减少“边缘增厚”现象,镀层均匀性达±5%以内。
2.精密控制:电流密度精度:±1 mA/cm²;温度波动:±0.5℃。
3.洁净度保障:设备内建HEPA过滤系统,满足Class 1000以下洁净环境。
4.高效生产:支持多片晶圆同时处理(如6片/批次),UPH(每小时产量)可达50~100片。
1.先进封装:2.5D/3D IC的TSV镀铜、Fan-Out封装中的RDL金属化。
2.功率器件:IGBT、MOSFET背面金属化(镀银、镀镍)。
3.传感器与MEMS:微结构表面镀金,提升电气性能与可靠性。 汽车轮毂电镀设备配置多轴旋转挂具,360 度无死角电镀,满足复杂曲面的均匀镀层要求。海南电镀设备发展

集气罩:根据前处理设备形状、废气散发特点定制,如槽边侧向集气罩等,可高效收集废气,常见材质有 PP 等耐腐蚀材料 。
通风管道:多选用耐腐蚀的 PP 材质,用于连接抽风设备各部件,将废气输送至处理设备,其设计需考虑废气流量、阻力等因素 。
引风机:常安装在输送通道出风口处,为废气的抽取和输送提供动力 ,可根据实际需求选择不同规格和性能的引风机。
此外,一些抽风装置还可能配备过滤处理箱、活性炭吸附网板等,用于对废气进行初步过滤、吸附,减少大颗粒杂质等对风机的损害 。 海南电镀设备发展连续镀生产线的导电辊镀覆耐磨碳钨涂层,降低钢带传输摩擦,避免划伤与镀层缺陷。

电镀自动线是通过自动化设备实现连续生产的电镀系统,主要类型及特点如下:
主流自动线类型
1.龙门式自动线
结构:多工位龙门机械手驱动,PLC控制
特点:精度高(±0.1mm),适用于精密件(如汽车部件、电子接插件)
产能:单线日处理量可达5000-10000件
2.环形垂直升降线
结构:环形轨道+升降机,连续循环作业
特点:节拍快(20-40秒/挂),适合中小型工件(如五金件、卫浴配件)
优势:占地小,能耗低(节电30%以上)
3.滚镀自动线
结构:六角滚筒+变频驱动,批量处理小型零件(螺丝、纽扣)
参数:滚筒转速3-10rpm,装载量50-200kg/批
镀层均匀性:±15%,效率达8㎡/h
4.连续电镀线
类型:带材/线材电镀(如PCB铜箔、铜线)
技术:张力控制+多槽串联,速度可达10-30m/min
精度:镀层厚度偏差<5%
5.机器人电镀线
配置:六轴机器人+视觉定位
系统应用:复杂曲面工件(汽车轮毂、航空部件)
优势:柔性生产,支持多品种切换
应用领域
汽车:镀锌螺栓、轮毂镀铬
电子:PCB微孔镀铜、连接器镀金
五金:卫浴配件镀镍、锁具镀锌
双筒过滤机特点:一机具备多功能用途,可依据客户使用条件,更换不同滤材。主滤筒采用耐腐蚀的PP/FRPP/PVDF一体注塑成型,耐酸碱腐蚀、防泄漏,且提供多种滤芯规格,可按精度需求选择,满足多元化应用。整机安装与操作简便,清洗便捷高效,占地面积小。支持根据客户不同需求,选择滤筒材质。适用领域,包括电镀、氧化、表面处理等多种工艺环节。分享不同材质的滤芯在电镀设备中的过滤效果有何差异?双筒过滤机的价格区间是多少?滤芯式过滤机在电镀行业中的市场占比是多少?滚镀设备采用带孔滚筒装载小工件,旋转翻滚中完成电镀,高效处理螺丝、电子元件等批量小件。

1.镀铜液方面
酸性镀铜液导电性强、分散性佳,能快速镀厚铜,常用于电子元件底层镀铜;
碱性镀铜液稳定性好,腐蚀性小,所得铜层结晶细、结合力强,适用于钢铁基体打底。
2.镀镍液
瓦特镍镀液成分简单、易维护,镀层光亮耐磨,在防护装饰性电镀中广泛应用;
氨基磺酸镍镀液分散与深镀能力优,镀层内应力低、延展性好,多用于对镀层质量要求高的电子、航天领域。
3.镀锌液里
碱性镀锌液阴极极化作用强,锌层耐腐蚀性好;
酸性镀锌液电流效率高、沉积快,外观光亮,不过腐蚀性强。
4.镀金液
有物镀金液,镀层均匀光亮、硬度高;
无氰镀金液则更环保。
5.镀银液
物镀银液电镀性能好,镀层导电导热优;
硫代硫酸盐镀银液毒性小、更环保。选择镀液要综合零件材质、形状、使用环境及实验目的等,兼顾成本与环保。
在选择镀液时,需要根据待镀零件的材质、形状、尺寸、使用环境以及实验目的等因素进行综合考虑,同时还需考虑镀液的成本、环保性和操作难度等因素。 镀铜设备的阳极磷铜板定期活化处理,维持表面活性,稳定铜离子浓度,保障镀层沉积速率。山东滚镀电镀设备
离心干燥设备适配滚镀后工件,通过高速旋转甩干水分,避免传统热风干燥的能耗与时间损耗。海南电镀设备发展
电镀生产线其组成部分围绕 “前处理→电镀处理→后处理→辅助控制” 具体如下:
一、工艺处理系统
1. 前处理设备
除油装置:
化学除油槽:使用碱性溶液或表面活性剂,去除工件表面油污。
电解除油槽:通过电化学作用强化除油效果,分阳极除油(适用于钢铁件)和阴极除油(适用于铝、铜等易腐蚀金属)。
酸洗 / 活化设备:
酸洗槽-活化槽-水洗槽
2.电镀处理设备
镀槽主体:
按电镀方式分类:
挂镀槽:用于中大件或精密件
滚镀机:用于小尺寸、大批量工件(如螺丝、电子元件)
连续镀设备:针对带状 / 线状工件(如钢带、铜线)
槽体材料:根据电解液性质选择
3. 后处理设备
清洗系统:多级水洗(冷水洗、热水洗),去除镀层表面残留电解液,防止腐蚀。
钝化 / 封闭装置:
钝化槽:通过铬酸盐、无铬钝化剂等形成保护膜(如镀锌后的蓝白钝化、五彩钝化),提高耐腐蚀性。
封闭槽:用于多孔镀层(如阳极氧化膜),通过热水封闭或有机涂层封闭,增强膜层致密性。
干燥设备:
热风干燥箱:适用于小件批量干燥,温度可控(50~150℃)。
离心干燥机:滚镀后工件甩干(滚筒直接接入,快速去除表面水分)。
特殊处理:如镀后抛光(机械或电解抛光)、涂油(防锈)等。 海南电镀设备发展