对比项 传统滚镀 半导体滚镀 对象 小型金属零件(螺丝、纽扣等) 晶圆、芯片、微型半导体元件 精度 微米级 纳米级(≤100nm) 洁净度 普通工业环境 无尘室(Class100~1000) 工艺控制 电流/时间粗调 实时闭环控制(电流、流量、温度) 镀液类型 酸性/碱性镀液 高纯度镀液(低杂质)
大尺寸晶圆兼容:适配12英寸(300mm)晶圆,向18英寸过渡。环保镀液:无物、低毒配方,减少废水处理压力。智能化集成:AI工艺优化:通过机器学习预测镀层缺陷。与CMP(化学机械抛光)、PVD设备联动,形成全自动金属化产线
半导体滚镀设备是封装与芯片制造的关键装备,通过精密旋转与镀液控制,实现纳米级金属镀层的均匀沉积。其技术在于洁净环境下的高精度工艺控制 槽体设备采用 PVC、PP 等耐酸碱材料,根据电解液特性定制,有效抵御盐酸、铬酸等药液腐蚀。江苏机械电镀设备
是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备,主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺,实现高精度、高一致性的金属覆盖,满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求
与传统滚镀不同,半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。
1.金属互连:在晶圆上形成铜导线。
2.凸块制备:沉积锡、铜、金等材料,用于芯片与基板的电气连接。
3.阻挡层/种子层镀覆:镀钛、钽等材料,防止金属扩散并增强附着力。
1.电镀槽:
材质:耐腐蚀材料,避免污染镀液
镀液循环系统:维持镀液成分均匀,过滤颗粒杂质
2.旋转载具:
晶圆固定装置:真空吸附或机械夹持,确保晶圆平稳旋转
转速控制:通过伺服电机调节转速,优化镀层均匀性
3.阳极系统:
可溶性/不溶性阳极:铜、铂等材料,依镀层需求选择
阳极位置调节:控制电场分布,减少边缘效应
4.供液与喷淋系统:
多点喷淋头:均匀分配镀液至晶圆表面,避免气泡滞留
流量控制:精确调节镀液流速,匹配不同工艺需求
5.控制系统:
PLC/工控机:集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。
配方管理:存储不同镀层的工艺参数 四川连续电镀设备电镀槽体的防腐内衬采用聚四氟乙烯(PTFE),耐受强酸碱与高温,延长设备使用寿命 30% 以上。
高精度定位
伺服系统+光栅尺反馈,确保工件浸镀位置误差<1mm适用于精密电子接插件、汽车精密部件等对镀层均匀性要求高的场景(厚度偏差±3-5%)。
多工艺兼容性
可集成除油、酸洗、电镀、钝化、烘干等20+工序支持挂镀、滚镀(通过可切换挂具)混合生产
柔性化生产
通过编程快速切换工件类型(换型时间<30分钟)支持小批量多品种(如同时处理10种不同规格螺栓)
稳定性强
故障率<0.5%(关键部件如电机、传感器采用工业级防护)连续运行寿命>10万小时
行业 应用案例 工艺要求 汽车制造 发动机支架镀锌、轮毂镀铬 耐盐雾>720小时,厚度10-15μm
电子行业 手机接口镀金、PCB接插件镀镍 镀层 孔隙率<5个/cm² 五金 卫浴镀铜镍铬三镀层 表面粗糙度Ra<0.2μm
根据工艺类型和应用场景的不同,可分为以下几大类:
一、传统湿法电镀设备
1. 前处理设备
清洗设备
酸洗/碱洗槽
电解脱脂设备
2.电镀槽
镀槽主体:耐酸碱材质的槽体
加热/冷却系统:控制电镀液温度
搅拌装置:机械搅拌、空气搅拌或磁力搅拌
3.电源与控制系统
整流器:提供直流电源,控制电流密度和电压
自动化控制:PLC或触摸屏系统
4. 后处理设备
水洗槽:
烘干设备
抛光设备
5. 环保与辅助设备
废水处理系统:中和池、沉淀池、膜过滤设备
废气处理设备:酸雾吸收塔、活性炭吸附装置
二、其他电镀设备
1. 连续电镀设备
滚镀机:用于小件批量电镀(如螺丝、纽扣)
挂镀线:自动悬挂输送系统,适合大件(如汽车零件)连续电镀
2. 选择性电镀设备
笔式电镀工具
3. 化学镀设备
无电解镀槽:无需外接电源,通过化学反应沉积金属(如化学镀镍、镀铜)
三、设备选型与应用场景
电镀类型 典型设备 应用领域 装饰性电镀 (镀铬、镀金) 挂镀线、抛光机、真空镀膜机 珠宝、卫浴五金、汽车装饰件 功能性电镀(镀镍、镀锌) 滚镀机、脉冲电源、废水处理系统 机械零件防腐、电子元件导电层 高精度电镀 水平电镀线、化学镀设备 印刷电路板微孔金属化 耐磨/耐高温镀层 PVD/CVD设备、离子镀系统 刀具涂层、航空发动机叶片 镀镍设备配套活性炭吸附装置,定期去除镀液中有机杂质,防止细孔、麻点等镀层缺陷。
是电镀自动化生产系统的控制单元,主要用于协调龙门机械手、电镀槽、电源系统、液位/温度传感器等设备的运行,确保电镀工艺精细执行。
特性说明:主要电器采用西门子及三菱PLC、欧姆龙、富士电器等品牌,每一台行车可自动、半自动转换,开放式自由程序选择,智能控制管理,在电脑和人机界面触摸屏对数据实时处理及进行有效监控,设计科学合理、紧凑、自动化程度高;用于ABS塑料、汽车、五金、电子、卫浴、灯饰家电等行业 镀铜设备的阳极磷铜板定期活化处理,维持表面活性,稳定铜离子浓度,保障镀层沉积速率。湖北全自动电镀设备
废水处理设备分类收集含铬、镍等废水,经化学沉淀、离子交换处理,确保重金属达标排放。江苏机械电镀设备
玻璃钢离心风机是采用玻璃纤维增强塑料(FRP)制造的离心式通风设备,由玻璃钢叶轮、机壳及金属支架构成。工作时电机驱动叶轮高速旋转,通过离心力将气体甩出机壳,叶轮中心形成负压持续吸入气体,实现高效输送。其特点包括:1. 耐酸碱盐腐蚀,适用于化工、污水处理等腐蚀性环境;2. 重量轻强度高,便于运输安装且结构稳定;3. 低噪音设计,适合对环境要求高的场所;4. 可定制化适配不同风量风压需求。广泛应用于工业废气处理(如化工废气、冶金粉尘)、环保工程(污水处理厂除臭、垃圾站换气)及民用通风(商场空调、住宅排油烟)等领域,兼具耐候性与经济性江苏机械电镀设备