罗茨泵为双转子容积式真空泵,抽气过程中,泵腔内有两叶、三叶或四叶对称转子,彼此反向旋转,由轴端齿轮驱动同步转动,转子间及转子与泵腔壁间无接触*存微小间隙。转子高速运转(通常 1500-3000r/min),无需油润滑,实现无油清洁抽气,润滑*需轴承、齿轮及动密封处。抽气时,转子旋转使被抽气体从吸气口进入泵腔并封闭在吸气腔内,随后经排气口排出。由于吸入气体未被压缩,当转子顶部转过排气口边缘,吸气腔与排气侧相通,高压气体返流使泵腔压力骤升达排气压力,完成外压缩,转子持续运转实现连续抽气,主轴旋转一周排出 4 个泵腔容积气体,几何抽速有相应计算公式。多数罗茨泵为卧式结构,重心低稳定性好,两转子通过高精度齿轮同步旋转。为避免误操作设旁路溢流阀,根据许可压力差设计,可在大气压力下启动缩短抽气时间,许可压力差可通过调节砝码自重控制。压缩过程产生的热量会使转子与泵体出现温差,气冷式罗茨泵通过冷却气体直接冷却转子,湿式罗茨泵则向泵腔注水降低间隙泄漏量,双级压缩式罗茨泵可节省功率并降低工作压力范围。罗茨真空泵适配自动化生产线,提升整体生产效率。螺杆罗茨真空泵价格

启动罗茨真空泵前,需先启动前级泵,打开前级泵预抽管路上的阀门和罗茨泵进气口上的阀门。待系统内的压力达到罗茨真空泵的允许压力后,关闭预抽阀门,起动罗茨真空泵。如果是较大的真空系统,为避免罗茨泵长时间工作在高压力下产生过热卡死,应待前级泵抽到一定压力后再起动罗茨泵。罗茨真空泵的停车程序:关闭罗茨真空泵进气阀,从上到下逐级停罗茨真空泵,***停前级泵,严禁搞错停车程序。前级泵停车后,立即向前级泵进气口放气。停车程序的正确执行对于保护设备和确保系统安全至关重要。运行运转中必须按照罗茨真空泵的技术规格使用,入口压力在1330pa以下,泵的最大压差不得高于其最大允许压差值。注意电动机负荷和泵的各部位温升,正常情况下,泵的比较高温升不得超过40℃,最高温度不得超过80℃。运转中不应有不规则的异常振动和异常噪声,如发现电机过载、温升过高、声音异常、振动大等情况,应立即停机检查原因,排除故障。每日需检查油位,油位过高会使温度升高,过低会造成润滑不良。每月检查油的品质,若变质须及时更换。定期检查罗茨泵的轴承、油封、齿轮等部件,如有损坏应予更换。浙江滑阀罗茨真空泵工作原理罗茨真空泵符合行业标准,确保安全合规运行。

罗茨真空泵又称机械增压泵,属旋转式容积真空泵,**结构包含泵壳与两个 8 字型转子。转子平行安装在一对轴上,通过传动比为 1 的同步齿轮驱动,实现等速反向旋转,且转子间、转子与泵壳间保持特定间隙不接触,运转时摩擦损失小、功率消耗低,可高速运转。转子由泵壳两侧端盖的滚动轴承支承,借助可调同步齿轮确保高速旋转时的相对位置,固定端特殊结构保障转子与端盖的端面间隙,使泵受热时*向齿轮箱一端膨胀。两侧端盖内的四组聚四氟乙烯活塞环密封装置,能防止油箱润滑油进入泵腔,出轴处的平衡式机械密封可避免大气漏入。冷却方式通常为风冷,高压力工况下推荐选用水冷结构,电动机动力经联轴器传给主动轴,再通过同步齿轮带动从动轴旋转,ZJ 系列为卧式结构,多采用联轴器与电机直联,特殊需求可选用三角带传动。ZJP 型是 ZJ 型的派生产品,抽气原理相同,但进排气口连通且通道上垂直安装重力阀。当进排气口压力差与阀有效作用面积的乘积超阀头自重时,阀自动开启,此数值为泵可靠运转的比较高压力差,使其具备过载自动保护功能。理论上 ZJP 型可在大气压下与前级泵同步启动,但系统容积大时,旁通阀开启时间长,有效抽速小,经济性差,建议前级泵抽到一定压力后再启动 ZJP 型。
罗茨真空泵是一种旋转式变容真空泵,**工作部件为泵腔内一对 “8” 字形转子。这两个转子相互垂直安装在平行轴上,由传动比为 1 的齿轮驱动,做反向同步旋转运动。转子间、转子与泵壳内壁间保持 0.1~0.8 毫米的微小间隙,既不接触又能实现高转速运行。当转子转动时,进气口侧形成封闭空间吸入气体,随转子旋转推送至排气口,因排气侧压强大,部分气体返冲后被排出,完成抽气循环。其工作过程可按转子旋转角度拆解:0° 时,下转子封入定量气体;45° 时该封闭空间与排气口相通,高压气体返冲;90° 时,封入气体与返冲气体一同排出,同时上转子完成吸气;135° 时上转子封闭空间与排气口相通,重复排气过程,主轴旋转一周共排出四倍封入体积的气体。这种无内压缩的工作方式决定其压缩比低,中高真空应用需搭配前级泵。
罗茨泵机组极限压力由前级泵极限压力与其对应压缩比比值求得。

罗茨泵有效抽气量 Qeff 是理论抽气量 Qth 与间隙返流量 Qv 之差。理论抽气量 Qth 与入口压力 pA 和几何抽速 Sth 相关,返流量 Qv 由转子与泵体间隙泄漏量 Qv1 和转子返流速率相关的 Qv2 组成,间隙泄漏量与流导 L、前级压力 pV 有关,转子返流则因转子吸附和解吸气体、有害空间气体携带等。零流量压缩比 K0 是重要性能参数,指泵口封闭时出口压力与入口压力比值,与气体种类相关,有最大值 Komax。其值受出口压力影响,在较高出口压力时因间隙流导处于黏滞流态而下降,低出口压力时受转子返流影响也下降,在约 10⁰Pa 附近达最大值,且大容量罗茨泵 K0 更高。罗茨泵机组极限压力 pA,e 由前级泵极限压力 pv,e 与其对应压缩比 K0,e 之比求得,双级罗茨泵压缩比约为单级乘积,可获更低极限压力。芯片封装用智能罗茨真空泵组,提升良率缩短周期。吉林罗茨真空泵口碑推荐
罗茨真空泵适用领域广,覆盖化工、电子等行业。螺杆罗茨真空泵价格
罗茨真空泵具有抽速大、效率高、对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感等特点,在100-1帕压力范围内有较大抽气速率,能迅速排除突然放出的气体。它常被串联在扩散泵与油封式机械真空泵之间,作为机械增压泵使用,以提高中间压力范围的抽气量。在工业领域,罗茨真空泵广泛应用于真空冶金中的真空浇铸、真空熔炼、真空脱气等工艺,以及化工、食品、医药行业的真空蒸馏、真空浓缩和真空干燥等过程。在电子行业,它用于半导体制造工艺,如薄膜沉积、光刻、蚀刻等环节,确保反应室的真空度,保证工艺的精确控制。此外,罗茨真空泵还在环保领域用于处理工业废气,通过抽真空有效去除有害气体,保护环境。螺杆罗茨真空泵价格
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