罗茨真空泵又称机械增压泵，属旋转式容积真空泵，**结构包含泵壳与两个 8 字型转子。转子平行安装在一对轴上，通过传动比为 1 的同步齿轮驱动，实现等速反向旋转，且转子间、转子与泵壳间保持特定间隙不接触...

罗茨泵比较大优势在于中低真空区间（1Pa至数千Pa）拥有大抽速和高抽气效率。但它不能**工作，必须串联前级泵（如旋片泵、水环泵、干式活塞泵等）构成机组。前级泵负责将系统压力抽至罗茨泵的允许启动压力（通...

精密陶瓷（如氧化铝、氮化硅陶瓷）的烧结对真空环境洁净度与稳定性要求严苛，罗茨真空泵通过无油运行设计与精细压力控制满足工艺需求。在医疗陶瓷植入体、5G 陶瓷滤波器的烧结过程中，其常与旋片泵串联使用，先由...

半导体领域国产替代提速，先进制程适配能力增强。国内干式真空泵已突破 14nm 先进逻辑芯片与 128 层以上 3D NAND 存储器工艺的适配瓶颈，在集成电路制造环节累计出货量超 2.5 万台，2...

化工真空蒸馏场景需罗茨机组精细匹配分离需求，**是压力梯度与抽速协同。处理乙醇 - 水共沸物（分离乙醇纯度 99.5%）时，采用 “罗茨泵（抽速 300L/s）+ 液环泵” 二级组合，通过 PID 调...

真空凝壳炉浇铸需在精细控压与快速抽气中实现，罗茨真空泵的动态响应能力提供了关键支撑。在 TA10 钛合金转熔浇铸中，其可将炉内真空度稳定在 0.03Pa，抽除浇铸过程中型腔内释放的气体，配合可调节浇铸...

停车后启动困难多发生于湿式罗茨泵，常见原因包括水垢沉积、异物进入、转子串位及轴弯曲。硬水冷却易在泵内形成水垢堵塞间隙，可采用机械铲除或 5%-10% 盐酸清洗；异物进入多因管道安装前未清理，需拆解泵体...

钛合金砂型铸造需严格控制铸型与熔炼环境的真空度，罗茨真空泵是**真空设备。在大型钛合金泵体铸型制备中，其先对铝矾土填料与氧化钇涂料组成的铸型进行预抽真空，抽除型腔内的空气与水分，避免浇注时产生气孔缺陷...

无油化技术成为行业刚需，医疗与食品领域双重驱动标准升级。在医疗、制药行业，随着生物制剂、无菌医疗器械对介质洁净度要求提升，无油真空泵需同时满足 ISO 13485 医疗器械质量管理体系认证，以及 10...

针对运行超 5000 小时的老化机组，性能复苏需聚焦间隙修复与系统优化。转子与泵腔间隙因磨损增大至 0.5mm 以上时，可采用激光熔覆技术修复转子表面，再精磨至设计间隙 0.15-0.2mm，使抽速恢...

钕铁硼稀土永磁体生产中，预烧结脱气是提升磁性能的关键环节，罗茨真空泵的高效抽气能力贯穿全程。在连续真空预烧结设备中，装有磁块的料架依次通过多段脱气室，罗茨真空泵在此过程中逐步抽除磁块中的脱氢与成型剂残...

电子行业的半导体芯片制造中，罗茨真空机组是光刻工艺的关键支撑设备。光刻工艺需要在高真空环境下进行，以避免空气中的杂质颗粒和水汽影响光刻胶的涂覆质量和曝光精度。罗茨真空机组与真空腔体配合，能快速将腔体内...