6)自适应控制。采用组合自适应控制将系统划分成关节子系统和柔性子系统。利用参数线性化的方法设计自适应控制规则来辨识柔性机械臂的不确定性参数。对具有非线性和参数不确定性的柔性机械臂进行了**...
晶圆运送机械吸臂广泛应用于半导体制造过程中的各个环节,如薄膜沉积、光刻、蚀刻、清洗、检测等。具体应用举例如下: 薄膜沉积:在薄膜沉积设备中,晶圆运送机械吸臂负责将晶圆从装载室传送至沉积室,以...
4、Al-SiO2法 Al-SiO2法是目前制备氧化铝陶瓷中采用**多的方法。该方法将Al金属和SiO2粉体混合均匀后,在Ar气条件下进行反应,反应温度一般为1300~1500 ℃ ,反...
有用于输送半导体晶圆的机械手。具体地,该机械手将半导体晶圆插入到处理室(process chamber),或者将半导体晶圆从处理室中取出。传送室(transfer chamber)连结于处理室。机械手...
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品。 晶圆的原始材料是硅,而地壳表面有用之不竭...
工业机械臂不应该称之为智能制造的未来,智能制造的概念与涵盖的范围不是工业机械臂这一种工业产品能够一言以蔽之的。高精度、多传感的三轴与五轴加工就不是智能制造了吗?答案肯定是否定的。智能制造的目的在于...
它通常有几个自由度,用以抓取或移动物体(工具或工件)。”所以对工业机械臂可能理解为:拟人手臂、手腕和手功能 的机械电子装置;它可把任一物件或工具按空间位姿(位置和姿态)的时变要求进行移动,从而完成某一...
晶圆运送机械吸臂具有高度的安全性。它采用了多重安全保护措施,如防止晶圆滑落的吸盘设计、防止碰撞的传感器等,有效地保护了晶圆的安全。此外,晶圆运送机械吸臂还具有防静电功能,避免了静电对晶圆的损害,保证了...
(1)晶粒大小。品粒越细,晶界面积越大,产生塑性变形就越大。(2)温度。在压力恒定下,应变速率随着温度提高而增加。(3)应变速率大小。尤其在位伸变形时,较低的应变速率可获大于200%的拉伸...
耐磨陶瓷管道性能比较:耐磨陶瓷弯头能得到市场的青睐并不断取代一些传统的防磨材料,根本原因在于其优异的产品品质,以及在与传统防磨材料,如铸石、铸钢等材料相比所具有的多方面优势。1、铸石以前每...
耐磨陶瓷衬板安装:分焊接和胶粘两种,根据具体施工环境而定,焊接一般用在冲击力较大的工况下,粘接受胶粘剂影响,温度不能超过300度 赢驰耐磨陶瓷衬板优势:种类全,规格多,公差小,尺寸精,可提供专业安...
吸盘类型:微孔陶瓷。 主要特点:平面度、平行度好,组织致密均匀、强度高、通透性好、吸附力均匀。 我厂位于享誉中国科技前沿重镇的珠三角,有10多年专业生产加工氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化...