本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。 背景技术： 在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越...

冲渣沟高强耐磨陶瓷浇注料产品比国内同类产品性能指标高出15-30%；比国外同类知名进口产品高出50-80%。水泥干法线生产过程中，诸如生料立磨、旋风分离筒、选粉机及篦冷机管道等很多部位由于...

精密结构陶瓷是一种新型的高科技材料，其应用范围 ，具有优异的物理和机械性能。这种材料被用于制造各种不同的产品，从微电子设备到医疗设备和航空航天部件。精密结构陶瓷的制造需要经过多道复杂工序。首先，需要选...

耐磨胶泥的应用具有重要的工程意义。磨损本身非常复杂，存在多种磨损类型，而且随着工况，诸如载荷、速度、温度、介质条件(有无润滑〉，摩擦表面的性质等的变化，都会使磨损类型发生改变，从而影响磨损...

1.粉末加入量：涂层中起耐磨作用的主要是氧化铝陶瓷粉末，当粉末加入量少时，承受磨损的支点少，涂层得不到有效保护。随着粉末加入量的增多，承受磨损的陶瓷面积增大，涂层得到保护，磨损失重量减少。...

1.粉末加入量：涂层中起耐磨作用的主要是氧化铝陶瓷粉末，当粉末加入量少时，承受磨损的支点少，涂层得不到有效保护。随着粉末加入量的增多，承受磨损的陶瓷面积增大，涂层得到保护，磨损失重量减少。...

有用于输送半导体晶圆的机械手。具体地，该机械手将半导体晶圆插入到处理室（process chamber），或者将半导体晶圆从处理室中取出。传送室（transfer chamber）连结于处理室。机械手...

（3）“钉扎”理论， 认为存在于基体晶界的纳米颗粒产生“钉扎”效应，从而限制了晶界滑移和孔穴、蠕变的发生，晶界的增强导致纳米氧化锆复相陶瓷韧性的提高。 二、氧化锆增韧陶瓷的种类 氧化锆...

与传统的SCARA型搬运机械手相比，蛙腿型机械手的传动机构更简单，刚性更高，且工作效率更高。如上图所示，蛙腿型机械手手臂为对称双连杆的并联结构，包括1对大臂和2对小臂。2个直驱电机分别通过2个同轴的旋...

它通常有几个自由度，用以抓取或移动物体（工具或工件）。”所以对工业机械臂可能理解为：拟人手臂、手腕和手功能 的机械电子装置；它可把任一物件或工具按空间位姿（位置和姿态）的时变要求进行移动，从而完成某一...

工业机械臂不应该称之为智能制造的未来，智能制造的概念与涵盖的范围不是工业机械臂这一种工业产品能够一言以蔽之的。高精度、多传感的三轴与五轴加工就不是智能制造了吗？答案肯定是否定的。智能制造的目的在于...

高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘)，特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面积吸附,同时也可作气浮平台，广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷...