工业制造的高级化、精密化进程中,高精密结构陶瓷发挥着基石般的作用。在精密机械加工领域,数控机床的高精度主轴是决定加工精度的关键因素之一。高精密结构陶瓷制成的主轴轴承,凭借其极低的摩擦系数、出色的刚性和...
微孔陶瓷简介 性能 (1)气孔率高。多孔陶瓷的重要特征是具有中较多的均匀可控的气孔。气孔有开口气孔和闭口气孔之分,开口气孔具有过滤、吸收、吸附、消除回声等作用,而闭口气孔则有利...
泡工艺发泡工艺是陶瓷组分添加有机或无机化学物质,通过化学反应等产生挥发气体,经干燥和烧成制成多孔陶瓷。发泡工艺与泡沫浸渍工艺相比,更容易控制制品的形状、成分和密度,并可制备各种气孔形状和大...
本发明针对现有技术中的不足,提供了一种晶圆搬运机械手,本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动,且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力,同时提高了重复定位精度。本发明结构合...
半导体行业,尤其是集成电路领域,晶圆的身影随处可见。 晶圆就是一块薄薄的、圆形的高纯硅晶片,而在这种高纯硅晶片上可以加工制作出各种电路元件结构,使之成为有特定电性功能的集成电路产品。 ...
晶圆运送机械吸臂在半导体制造中具有不可替代的重要性。首先,它是保证半导体生产线高效运行的关键环节。在半导体制造过程中,晶圆需要经过多个工序的加工,如光刻、刻蚀、沉积、掺杂等,每个工序都在不同的设备上进...
耐磨陶瓷涂料属于无机非金属材料,主要成分为硅酸盐和氧化铝,和地球岩石层成分相近,不会造成土质恶化和重金属离子污染,不会影响环境。 检测项目 检测数据 检测项目 检测数据 体积密度(g/cm3) 2...
机械制造领域对材料的强度、硬度和耐磨性要求很高,而精密结构陶瓷正好具备这些特性。在机械密封件、刀具、轴承等关键部件中,采用精密结构陶瓷可以提高设备的可靠性和使用寿命。例如,陶瓷刀具具有极高的硬度和耐磨...
氧化锆陶瓷是具有独特的物理和化学性质,如高硬度,低的热传导性,熔点高,抗高温和腐蚀,化学惰性和两性性质,在电子陶瓷、功能陶瓷和结构陶瓷等方面的应用迅速发展。作为特种陶瓷材料在电子、航天、航空和核工业等...
有用于输送半导体晶圆的机械手。具体地,该机械手将半导体晶圆插入到处理室(process chamber),或者将半导体晶圆从处理室中取出。传送室(transfer chamber)连结于处理室。机械手...
高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷...
近年来全球硅晶圆供给不足,导致8英寸、12英寸硅晶圆订单能见度分别已达2019上半年和年底。目前国内多个硅晶圆项目已经开始筹备,期望有朝一日能够打破进口依赖,并有足够的能力满足市场需求。硅...