针对微机电系统(MEMS)器件的制造,匀胶机的设计和功能有一定的特殊性。MEMS器件通常涉及微小结构和复杂形状,对涂层的均匀性和薄膜完整性有较高要求。MEMS器件匀胶机在传统匀胶技术基础上,强化了对液...
半导体台式晶圆分选机针对半导体材料和工艺的特殊要求进行了设计,能够满足研发和工艺开发过程中对晶圆分选的多样化需求。设备采用机械手与视觉识别技术相结合的方式,在洁净环境中自动完成单片晶圆的取放及正反面检...
紫外激光直写光刻机利用紫外波段激光作为光源,具备较高的光束聚焦能力,能够刻写更细微的图形结构。该设备通过计算机控制激光束逐点扫描,实现无掩模的高精度图形刻写,适应芯片设计中对微纳结构的严格要求。紫外激...