小型研发系统与大型工业设备的定位差异。大型工业设备追求的是大批量生产下的优异的均匀性、重复性和产能,其系统复杂、价格昂贵且维护成本高。我们专注于小型研究级系统,其主要目标是“探索”而非“生产”。它...
沉积过程中的参数设置直接影响薄膜的质量和性能,需要根据实验目的和材料特性进行精确调整。温度是一个关键参数,基板温度可在很宽的范围内进行控制,从液氮温度(LN₂)达到1400°C。在生长半导体材料时,不...
微电子领域对电路图案的精细度和准确性要求较高,直写光刻机工艺在这一环节中扮演着关键角色。该工艺通过在晶圆或其他基底表面涂覆光刻胶,利用激光或电子束直接按照设计路径扫描,实现电路图案的曝光。曝光后的光刻...