远程等离子源,是一种基于变压器电感耦合等离子体技术的duli式自由基发生器(RPS),可以有效的解离输入气体。产生清洗或蚀刻所需的自由基(氟、氧原子等),这些自由基通过腔室压差传输,远程等离子体内的电...
半导体制造对工艺洁净度和精度要求极高,任何微小的污染或损伤都可能导致器件失效。RPS远程等离子源通过其低损伤特性,在清洗和刻蚀步骤中发挥重要作用。例如,在先进节点芯片的制造中,RPS远程等离子源可用于...
快速退火炉要达到均温效果,需要经过以下几个步骤:1. 预热阶段:在开始退火之前,快速退火炉需要先进行预热,以确保腔室内温度均匀从而实现控温精细。轮预热需要用Dummy wafer(虚拟晶圆),来确保加...
新能源行业(如光伏、锂电池)对材料表面性能的要求日益严苛,真空等离子清洗机凭借其低温、均匀、无损伤的处理特性,成为新能源材料改性的关键设备。在光伏领域,真空等离子清洗机可用于硅片表面清洗与...
RPS远程等离子源在功率器件制造中的可靠性提升:功率器件(如GaN或SiC半导体)对界面质量极为敏感。污染会导致漏电流或击穿电压下降。RPS远程等离子源提供了一种温和的清洁方法,去除表面氧化物和金属杂...
RPS远程等离子源在量子计算器件中的前沿应用在超导量子比特制造中,RPS远程等离子源通过O2/Ar远程等离子体去除表面磁噪声源,将量子比特退相干时间延长至100μs以上。在约瑟夫森结制备中,采用H2/...
RPS远程等离子源在医疗器械制造中的洁净保障在手术机器人精密零件清洗中,RPS远程等离子源采用特殊气体配方,将生物相容性提升至ISO10993标准。通过O2/H2O远程等离子体处理,将不锈钢表面细菌附...
安全是操作等离子清洗机的首要原则,必须建立并严格执行一套完善的安全操作规程,以防范潜在风险。主要风险包括:电击风险,因为设备内部存在高压和高频电源;气体相关风险,如气体泄漏导致窒息、火灾或(特...
随着3D NAND堆叠层数突破500层,深孔刻蚀后的残留物清洗成为技术瓶颈。RPS远程等离子源利用其优异的自由基扩散能力,可有效清理 深宽比超过60:1结构底部的聚合物残留。通过优化远程等离子体参数,...
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的等离子清洗机已在众多行业客户中成功应用,积累了丰富的实践案例和积极的市场反馈。例如,一家汽车零部件供应商反映,在引入晟鼎的在线式等离子清洗机处理其尼龙材质进气歧...
在全球倡导绿色制造和可持续发展的背景下,等离子清洗机展现出***的环境友好特性,与传统清洗方法相比具有巨大优势。等离子清洗机的主要工作介质是电能和气体(如空气、氧气、氩气、氮气),这些气体...
等离子清洗机属于高压、高温设备,操作时需严格遵守安全规范,避免触电、气体泄漏等事故。操作人员需接受专业培训,熟悉设备结构、操作流程和应急处理方法。操作前需检查设备接地是否良好,避免静电积累...
金刚石薄膜具备超高硬度、优异导热性、良好电学绝缘性,广泛应用于刀具涂层、热沉材料、电子器件领域,其制备中退火对温度精度要求严苛,晟鼎精密 RTP 快速退火炉凭借高温稳定性与精细控温能力,在金刚石薄膜制...
在半导体及新材料领域,许多敏感材料(如有机半导体材料、二维层状材料、柔性薄膜材料)对高温与热应力极为敏感,传统退火炉长时间高温与缓慢热循环易导致材料分解、开裂或性能退化,晟鼎精密 RTP 快速退火炉通...
倾斜型接触角测量仪,作为一种先进的表面分析仪器,其基本原理在于通过改变固体表面的倾斜角度,来测量液体与固体表面之间的接触角。这种测量方式相较于传统的静态接触角测量,更能模拟实际应用中液体在固体表面上的...
柔性显示(如OLED、MicroLED)对基材表面清洁度及平整度要求极高,任何微小污染物或表面缺陷均可能导致显示不均或器件失效。等离子清洗机通过产生均匀的等离子体场,可高效去除柔性基材(如...
等离子清洗机的定期维护是确保长期稳定运行的关键,主要包括真空系统、电极、气体管路和控制单元的检查。真空泵需定期更换油封和过滤器,防止污染累积影响抽速;电极可能因长时间使用积累沉积物,导致放...
等离子清洗机主要由电源系统、反应室、真空系统、气体供应和控制单元组成。电源系统生成高频电场,常用射频或微波类型,决定等离子体能量;反应室容纳工件,材料常为不锈钢或石英,确保耐腐蚀和均匀性;真空系统包括...
在材料科学、冶金工程、半导体制造等领域的快速发展中,高温接触角测量仪凭借其独特的技术优势,成为研究材料高温界面行为的关键工具。该仪器通过精确测量液体与固体在高温环境下的接触角,揭示材料的润湿性、表面张...
目前,在汽车发动机领域,油底壳与曲轴箱、曲轴箱与缸体等密封面通常采用硅胶密封,这些硅胶密封面常因残留有机物(如珩磨油、切削液、清洗液等)造成硅胶的附着力不足,从而导致密封失效,发动机漏油。目前的常规工...
sessile drop 法作为晟鼎精密接触角测量仪的基础测量方法,凭借操作简便、适配性强的优势,广泛应用于多个领域的表面性能检测。在材料研发领域,可测量静态接触角判断材料的疏水 / 亲水特性,例如通...
等离子清洗机在各行业的广泛应用已产生有效地经济效益和社会效益。以半导体行业为例,某有影响力的芯片制造商引入晟鼎精密的微波等离子清洗机后,晶圆清洗良率从92%提升至98%,单条生产线年节约成...
RPS远程等离子源在功率器件制造中的关键技术在IGBT模块制造中,RPS远程等离子源通过优化清洗工艺,将芯片贴装空洞率从5%降至0.5%以下。采用H2/Ar远程等离子体在380℃条件下活化DBC基板表...
服务于航空航天和电动汽车的SiC/GaN功率模块,其散热能力直接决定了系统的输出功率和寿命。功率芯片与散热基板(如DBC)之间的界面热阻是散热路径上的关键瓶颈。RPS远程等离子源应用领域在此环节通过表...
目前,在汽车发动机领域,油底壳与曲轴箱、曲轴箱与缸体等密封面通常采用硅胶密封,这些硅胶密封面常因残留有机物(如珩磨油、切削液、清洗液等)造成硅胶的附着力不足,从而导致密封失效,发动机漏油。目前的常规工...
在Mini LED封装工艺中,针对不同污染物并根据基板及芯片材料的不同,采用不同的清洗工艺可以得到理想的效果,但是使用错误的工艺气体方案,都会导致清洁效果不好甚至产品报废。例如银材料的芯片采用氧等离子...
等离子清洗机属于高压、高温设备,操作时需严格遵守安全规范,避免触电、气体泄漏等事故。操作人员需接受专业培训,熟悉设备结构、操作流程和应急处理方法。操作前需检查设备接地是否良好,避免静电积累...
航空航天工业对材料的性能、可靠性和轻量化要求达到了细致,等离子清洗机在该领域扮演着至关重要的角色。其应用遍及航空发动机(如清洁涡轮叶片的热障涂层前处理)、机体结构(如碳纤维复合材料机翼、机...
等离子清洗机根据等离子体产生方式和处理环境的不同,可分为多种类型,每种类型均针对特定应用场景进行优化。按等离子体产生方式划分,包括射频等离子清洗机、微波等离子清洗机、直流等离子清洗机等。射频等离子清洗...
东莞市晟鼎精密仪器有限公司作为等离子清洗机领域的带头企业,其产品凭借多项关键技术优势占据市场高地。公司自主研发的等离子发生器采用移相全桥逆变谐振电路拓扑技术,配合独有特殊喷枪,解决了传统设...