罗茨机组的明显优势在于抽气速率不受入口压力大幅波动影响,在10⁴-10²Pa区间抽速保持恒定。但其极限真空度受前级泵制约,单独运行时只能达到10²Pa,搭配旋片前级泵可提升至10⁻¹Pa。由于转子高速...
旋片机组的优势在于能获得中高真空(10⁻³Pa),且结构紧凑、成本较低。但其抽气性能受泵油状态影响明显——油蒸气会污染被抽气体,因此不适用于半导体制造等洁净要求高的场合;若处理含可凝性气体,易导致泵油...
真空度稳定性:普通工艺(如食品包装抽真空,真空度波动允许±5Pa)可选用基础型机型;高精度工艺(如光刻工艺,真空度波动要求≤±0.5Pa)需选用变频智能机型,通过实时压力反馈调节转速,确保真空度稳定;...
叶轮与液环的柔性接触避免了刚性冲击,整机振动烈度通常≤4.5mm/s(ISO标准),安装时无需减震基础。某制药厂将水环压缩机直接安装在洁净车间二楼,振动未对精密分析仪器造成影响(测试显示振幅≤0.01...
气体在基元容积由大变小的过程中被压缩,而液环持续吸收压缩热,使气体温度基本保持恒定(等温压缩系数可达0.9以上)。这种特性使其特别适合处理乙炔、氯气等易燃易爆或热敏性气体——例如在PVC生产中,氯乙烯...
在真空技术的实际应用中,单一真空泵往往难以满足复杂工艺对真空度、抽气速率、气体适应性等多方面的要求。将不同类型的真空泵组合成真空机组,已成为解决高难度真空需求的主流方案。这种组合并非简单的设备叠加,而...
螺杆式压缩机虽比活塞式更耐少量杂质,但仍无法承受高粉尘或强腐蚀性气体。在处理含液态水的天然气时,水分会稀释转子润滑油,导致密封失效和锈蚀;而处理含氯气体时,即使微量泄漏也会腐蚀转子表面。某化工企业尝试...
提高制造精度和材料质量:采用高精度的制造工艺和优良的材料,减少内部泄漏和摩擦损耗,提高泵的极限压力。可以采用精密加工技术、选用耐腐蚀和较高的强度的材料等。改善工作介质和温度条件:通过控制被抽取气体的种...
防爆型罗茨真空泵通过结构防爆与电气防爆的双重设计,适用于易燃易爆气体的抽气场景。其重点结构改进包括:采用隔爆型电机(Exd IIB T4 等级),电机外壳能承受内部压力而不破裂;转子与泵壳间增加防静电...
变频智能罗茨真空泵组采用“罗茨泵+前级泵+变频控制系统”的集成架构,重点创新在于全变频智能控制模块——通过压力传感器实时监测系统真空度,自动调节电机转速(500~3000r/min),使抽气速率与工艺...
对于可凝性气体(如有机溶剂蒸气),抽速稳定性取决于泵的防凝结能力。旋片泵通过气镇阀可维持对蒸气的抽速,但会使真空度略有下降;无油螺杆泵则因结构特点,对蒸气的适应能力更强,抽速衰减率通常低于10%。在锂...
工作压力相同但气体类型不同时,机组选型需针对性调整:可凝性气体(水蒸气、溶剂蒸气),重点问题:气体凝结会污染泵油或堵塞通道,导致抽速下降。选型策略:低中真空:优先选干式螺杆泵(无油)或带气镇的旋片泵(...
旋片真空泵机组通常由单级或双级旋片泵为主泵,根据需求可搭配扩散泵组成高真空系统,基本配置包括泵体、转子、旋片、油雾分离器及真空阀门。重点部件旋片泵的转子偏心安装在定子腔内,转子槽内的旋片在弹簧力和离心...
双级旋片泵通过串联两个泵腔,使一级泵排出的气体经二级泵再次压缩,极限真空度可达10⁻³Pa,较单级泵(10⁻¹Pa)提升两个数量级。在高真空应用场景中,旋片泵常作为扩散泵的前级泵使用。其工作流程分为三...
如臭氧(O₃)、硝酸蒸气(HNO₃)等,这类气体在高温下会氧化金属表面,破坏钝化膜(如不锈钢表面的Cr₂O₃保护膜)。在40℃以上环境中,臭氧对316L不锈钢的腐蚀速率是常温下的3倍。这些气体的共同特...
对于可凝性气体(如有机溶剂蒸气),抽速稳定性取决于泵的防凝结能力。旋片泵通过气镇阀可维持对蒸气的抽速,但会使真空度略有下降;无油螺杆泵则因结构特点,对蒸气的适应能力更强,抽速衰减率通常低于10%。在锂...
系统泄漏主要来自于管道连接部位、阀门、法兰等部件的密封不良。管道连接处的密封垫老化、损坏,会导致气体泄漏;阀门的密封面磨损或存在杂质,也会造成漏气。泄漏率的大小直接影响系统的真空性能,即使是微小的泄漏...
高真空,10⁻¹Pa-10⁻⁶Pa,深度抽除残余气体,控制气体分子碰撞,扩散泵机组、涡轮分子泵-旋片泵组合机组,真空镀膜(10⁻³-10⁻⁵Pa)、电子束焊接(10⁻³-10⁻⁴Pa)、真空冶炼(10...
螺杆真空泵的传动方式多种多样,根据实际应用场景和需求的不同,常见的传动方式主要包括以下几种:直连电机传动是螺杆真空泵中较常见、也较简便的一种传动方式。它通过将电机与螺杆转子直接连接(通常使用联轴器),...
真空度用于精确描述真空状态下气体稀程度,即空间内气体压强与标准大气压的差值。常用单位有帕斯卡(Pa)、托(Torr)等,1Torr≈133.322Pa。依据真空度不同,可将真空划分为低真空(10^5-...
真空机组通常由主泵、前级泵、连接管道、阀门、真空测量装置及控制系统等构成。主泵根据所需真空度选择,如高真空应用选涡轮分子泵、扩散泵;低真空应用选旋片泵、水环泵等。前级泵用于为主泵提供合适前置真空环境,...
叶轮旋转时,水受离心力作用在泵体内壁形成旋转水环,水环与叶轮轮毂间形成多个大小变化的密封腔。在吸气侧,密封腔容积逐渐增大,压强降低,气体被吸入;在排气侧,密封腔容积逐渐减小,气体被压缩,当压强高于大气...
不同类型真空机组的S-P曲线差异明显:罗茨真空泵在10⁴-10⁰Pa区间保持稳定抽速,适合作为提速泵使用;涡轮分子泵的恒定抽速区间为10⁻¹-10⁻⁷Pa,能在超高真空阶段维持抽气能力;水环泵的有效抽...
耐蚀材质是机组抵御腐蚀的一道防线,选择需遵循“气体特性-材质性能”的匹配逻辑:泵体主体材质,某半导体厂处理氟化氢气体时,对比测试显示:316L不锈钢泵运行1个月出现明显腐蚀,而钛合金泵运行6个月仍保持...
旋片泵的极限真空度约10⁻³Pa,无法满足超高真空需求;涡轮分子泵虽能达到10⁻¹¹Pa,但必须在入口压力低于10⁻¹Pa时才能启动。真空泵的抽气速率随压力变化呈现特定曲线:罗茨泵在10⁴-10⁰Pa...
定期对系统进行烘烤除气和检漏,去除系统内的残留气体和发现潜在的泄漏点。对于长期停用的真空机组,在重新启用前,需要进行详细的检查和处理,以保证其能够正常工作并达到规定的真空度。当处理含有腐蚀性、易燃易爆...
螺杆真空泵的传动方式多种多样,根据实际应用场景和需求的不同,常见的传动方式主要包括以下几种:直连电机传动是螺杆真空泵中较常见、也较简便的一种传动方式。它通过将电机与螺杆转子直接连接(通常使用联轴器),...
传统真空泵(尤其是油封式真空泵)在工作过程中会产生大量的废油,这些废油需要专门处理,增加了处理成本和对环境的污染。螺杆真空泵在抽气过程中具有较高的效率,能够迅速达到所需的真空度。这使得螺杆真空泵在长时...
在工作特性上,单级机型极限真空度可达6.5×10²Pa,抽速范围覆盖30~10000L/s,泵腔内无需用油密封润滑,能有效减少油蒸气对真空系统的污染。其传动方式分为“电机-齿轮同侧布置”与“异侧布置”...
对于干式真空泵可以从狭义与广义两个方面来进行定义:从狭义上讲,干式真空泵应该定义为:在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质、排气口与大气相通可连续向大气排气、可在大气压至10Pa范围内连续抽气。从干...