优良的精密光学平台不仅需要高精度的机器设备来加工，更需要有高精度检测手段与检测仪器来保证，也只有优良的光学平台才能保证高精度的科学实验、研究的正常进行。1、试验目的：检测气垫隔振垂直方向和水平固有频率...

随着半导体行业的迅速发展，半导体产品的加工面积成倍缩小，复杂程度与日俱增，生产半导体产品所需的制造设备需要综合运用机械、光学、物理、化学等学科技术，具有技术壁垒高、制造难度大及研发投入高等特点。探针台...

半自动型：chuck尺寸800mm/600mm；X,Y电动移动行程200mm/150mm；chuck粗调升降9mm，微调升降16mm；可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜；针座摆放个数...

挠度是指结构构件的轴线或中面由于弯曲引起垂直于轴线或中面方向的线位移。对于细长物体或薄物体，挠度是在受力后弯曲变形程度的度量。细长物体（如梁或柱）的挠度是指在变形时其轴线上各点在该点处轴线法平面内的位...

阻尼：如果没有阻尼，系统将在静止前振动很长一段时间——至少几秒钟。阻尼可消耗系统的机械能，使衰减更迅速。例如，当音叉顶端浸入水中时，振动几乎立即减弱。同样，当手指轻触共振物块——悬臂梁系统时，该阻尼装...

光学平台精密隔振系统设计需要考虑的环境微振动干扰是复杂的，包括：大型建筑物本身的摆动、地面或楼层间传来的振动、电动仪器和设备的振动、各类机械振动、声音引起的振动、外界街道交通引起的振动，甚至包括人员走...

半导体设备的技术壁垒高。随着半导体行业的迅速发展，半导体产品的加工面积成倍缩小，复杂程度与日俱增，生产半导体产品所需的制造设备需要综合运用光学、物理、化学等科学技术，具有技术壁垒高、制造难度大及研发投...

光学平台普遍应用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和无损检测等领域，以及其他机械行业的精密试验仪器、设备振动隔离的关键装置中，其动态力学特性的好坏直接影响试验结果的准确性和可...

取样长度若取0.25mm时，精密及超精密加工表面的表面粗糙度Ra＞0.02～0.1μm；当取样长度取0.8mm时，普通精加工表面Ra＞0.1～2μm。根据上述说明，取样长度为0.8mm，表面粗糙度为0...

手动探针台规格描述（以实验室常见的仪准ADVANCED八寸，六寸探针台为例）：探针台载物台平整度：5μm探针台右侧标配显微镜升降机构，可抬高显微镜，便于更换镜头和换待测物探针台左侧标配升降器,可快速升...

光学平台很普遍使用的振动响应传递函数为柔量。在恒定（静态）力的情况下，柔量可以定义为线性或角度错位与所施加外力的比值。在动态变化力（振动）的情况下，柔量则可以定义为受激振幅（角度或线性错位）与振动力振...

光学平台中的重复定位精度同精密位移台中概念不同，光学平台的重复定位精度，是指在空载和在一定条件下加上负载并去除负载，光学平台稳定后的高度差。这个指标同负载的大小、加载的位置、加载时的速度、加速度、卸载...