晶圆测试是在半导体器件制造过程中执行的一个步骤。在此步骤中,在将晶圆送至芯片准备之前执行,晶圆上存在的所有单个集成电路都通过对其应用特殊测试模式来测试功能缺陷。晶圆测试由称为晶圆探针器的测试设备执行。...
探针台的分类:探针台可以按照使用类型与功能来划分,也可以按照操作方式来划分成:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。手动探针台:手动探针台系统顾名思义是手动控制的,这意味着晶圆载物台和卡盘、压盘、显...
光学平台隔振系统的构成:光学平台由上下面板、蜂窝内芯和U型清洁舱采用低温恒温粘接而成,温度应变小。钢质蜂窝内芯采用垂向支撑桁架蜂窝结构,U型清洁舱与蜂窝芯六边形内壁相配合内嵌在蜂窝孔中,蜂窝孔六边形板...
自动化探针台搭配测试机能够对出厂晶圆片的电气参数、光学参数进行测试,根据测试结果评定上一道工序的工艺质量,并指导下一道工序。从全球市场看,半导体探针台设备行业集中度较高,目前主要由国外厂商主导,行业呈...
夹心光学平板主要是由带磁不锈钢(不锈铁)及填充材料组成(目前使用Z多的填充材料是蜂窝巢结构材料及型钢框架结构)。特点是:固有频率低,吸振性能强。光学平台支架按其隔振形式主要分为:机械式隔振支架与气垫式...
光学平台很主要的一个目标是消除平台上任意两个以上部件之间的相对位移。大多数光学实验都对系统稳定性有较高的要求。各种因素造成的振动会导致仪器测量结果的不稳定性和不准确性,所以光学平台显得十分重要。光学平...
简单的光学平台保养说明书:如果光学平台环境温度过高,温差过大,出现玻璃收缩,也可以立即用油封然后用砂纸轻轻磨平不说了,想要光学显微镜继续吊打大家,首先要把离镜头越近的光学玻璃考虑在内,切勿安装在镜头上...
探针(探针卡):待测芯片需要测试探针的连接,才能与测试仪器建立连接。常见的有普通DC测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针等。探针头插入单个探针臂并安装在操纵器上。探针尖锐端尺寸和材料取决于被...
晶圆是制作硅半导体积体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。半导体工业对于晶...
光学平台测量方法:使用脉冲锤对平台或面包板的表面施加一个已测量的外力,并将一个传感器贴合在平台或面包板表面对合成振动进行测量。探测器发出的信号通过分析仪进行读取,并用于产生频率响应谱(即柔量曲线)。在...
固有频率还分为水平方向和竖直方向,但通常来说竖直方向的固有频率对整体隔振性能的影响,起到决定性作用,水平方向的固有频率指标通常用于参考。振动恢复时间(Damping Settling Time):也叫...
光学平台的隔振性能取决于台面本身和支架的隔振性能,总体上说,光学平台的隔振,通过三个方面来实现:隔振支架:通常来说,气浮式隔振支架性能优于阻尼式隔振支架,部分性能优异的隔振支架可以将外界振动(常见10...