轮廓仪的**团队 夏勇博士，江苏省双创人才 15年ADE，KAL-Tencor半导体检测设备公司研发、项目管理经验 SuperSight Inc. CEO/共同创始人，太阳能在线检测设备 唐寿鸿博士，国家千人**** 25年 ADE，KAL-Tencor半导体检测设备公司研发经验 KLA-Tencor ***研发总监，***图像处理、算法** 许衡博士，软件系统研发 10 年硅谷世界500强研发经验（BD Medical Instrument） 光学测量、软件系统 岱美仪器与...

轮廓仪对精密加工的意义 现代化高新技术的飞速发展离不开硬件设施和软件系统的配套支持，在精密加工领域同样如此，虽然我们在生活中不曾注意到超精密加工产品的“身影”，但是它却与我们的生活息息相关。例如在光学玻璃、集成电路、汽车零部件、机器人**器件、航空航天材料、****设备等领域，都需要对加工的成品进行检测，从物体表面光滑到粗糙的参数，其中包含了从纳米到微米级别的轮廓、线粗糙度、面粗糙度等二维、三维参数，作为评定该物件是否合格的标准。因此光学轮廓仪应运而生，以下是表面三维轮廓仪对精密加工的作用： 共聚焦显微镜能够在纳米范围内获得高 分辨率。3D轮廓仪代理价格 强大的轮廓仪光电一体软件 ...

轮廓仪是用容易理解的机械技术测量薄膜厚度。它的工作原理是测量测量划过薄膜的检测笔的高度(见右图)。轮廓仪的主要优点是可以测量所有固体膜，包括不透明的厚金属膜。更昂贵的系统能测绘整个表面轮廓。(有关我们的低成本光学轮廓仪的資訊，请点击这里).获取反射光谱指南然而轮廓仪也有不足之处。首先，样本上必须有个小坎才能测量薄膜厚度，而小坎通常无法很标准(见图)。这样，标定误差加上机械漂移造成5%-10%的测量误差。与此相比，光谱反射仪使用非接触技术，不需要任何样本准备就可以测量厚度。只需一秒钟分析从薄膜反射的光就可确定薄膜厚度和折射率。光谱反射仪还可以测量多层薄膜。轮廓仪和光谱反射仪的主要优点列表...

轮廓仪产品应用 蓝宝石抛光工艺表面粗糙度分析（粗抛与精抛比较） 高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析，核探测 Oled 特征结构测量，表面粗糙度 外延片表面缺 陷检测 硅片外延表面缺 陷检测 散热材料表面粗糙度分析（粗糙度控制） 生物、医药新技术，微流控器件 微结构均匀性 缺 陷，表面粗糙度 移相算法的优化和软件系统的开发 本作品采用重叠平均移相干涉算法，保证了亚纳米量级的测量精度；优化软件控制系统，使每次检测时间压缩到10秒钟以内，同时完善的数据评价系统为用户评价产品面形质量提供了方便。 支持连接MES...

随着时代的发展，轮廓仪也越来重要了，不少的产品检测都需要通过轮廓仪进行检测，***就让我们来了解一下轮廓仪的工作原理与应用吧。轮廓仪工作原理轮廓仪是一种双坐标测量仪器。仪器传感器相对于测量的工件台以恒定速度滑动。传感器的触针检测测量仪表的几何变化，并分别在X和Z方向上对其进行采样，并将其转换为电信号。电信号被放大和处理，然后转换成数字信号并存储在计算机系统的存储器中。计算机以数字方式过滤原始表格的轮廓，分离表面并计算粗糙度分量，测量结果为计算符号。某个曲线的实际值及其与参考点的坐标，或放大的实际轮廓曲线。测量结果通过显示器输出，也可以由打印机输出。轮廓仪应用轮廓仪***用于机械加工、汽...

NanoX-8000轮廓仪的自动化系统主要配置 ： ▪ XY比较大行程650*650mm ➢ 支持415*510mm/510*610mm两种尺寸 ▪ XY光栅分辨率 0.1um，定位精度 5um，重复精度 1um ▪ XY 平台比较大移动速度：200mm/s ▪ Z 轴聚焦：100mm行程自动聚焦，0.1um移动步进 ▪ 隔振系统：集成气浮隔振 + 大理石基石 ▪ 配置真空台面 ▪ 配置Barcode 扫描板边二维码，可自动识别产品信息 ▪ 主设备尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm 如果想要了...

轮廓仪的培训 一、 培训承诺 系统建成后，我公司将为业主提供为期1天的**培训和技术资询；培训地点可以在我公司，亦或在工程现场； 系统操作及管理人员的培训人数为10人，由业主指定，我公司将确保相关人员正确使用该系统； 1.1. 培训对象 系统操作及管理人员（培训对象须具有专业技术的技术人员或实际值班操作人员）； 其他业主指定的相关人员。 1.2. 培训内容 系统操作使用说明书。 培训课程的主要内容是系统的操作、系统的相关参数设定和修改和系统的维修与保养与简单升级等，具体内容...

NanoX-8000轮廓仪的自动化系统主要配置 ： ▪ XY比较大行程650*650mm ➢ 支持415*510mm/510*610mm两种尺寸 ▪ XY光栅分辨率 0.1um，定位精度 5um，重复精度 1um ▪ XY 平台比较大移动速度：200mm/s ▪ Z 轴聚焦：100mm行程自动聚焦，0.1um移动步进 ▪ 隔振系统：集成气浮隔振 + 大理石基石 ▪ 配置真空台面 ▪ 配置Barcode 扫描板边二维码，可自动识别产品信息 ▪ 主设备尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm 如果想要了...

NanoX-8000 系统主要性能 ▪ 菜单式系统设置，一键式操作，自动数据存储 ▪ 一键式系统校准 ▪ 支持连接MES系统，数据可导入SPC ▪ 具备异常报警，急停等功能，报警信息可储存 ▪ MTBF ≥ 1500 hrs ▪ 产能 : 45s/点 （移动 + 聚焦 + 测量）（扫描范围 50um） ➢ 具备 Global alignment & Unit alignment ➢ 自动聚焦范围 ： ± 0.3mm ➢ XY运动速度 **快 如果需要了解更多详细参数，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。 我们主要...

1.3. 培训计划 在完成系统布线并开始设备安装后，即向甲方和业主介绍整个系统的概况及性能、特点、设备布置情况和相互之间的关系等，让甲方和业主对整个系统有一个***的认识。 在整个系统验收前后，安排有关人员在进行培训。 1.4. 培训形式 公司指派技术人员向相关人员讲解系统的原理、功能、操作及维修保养要点； 向受训学员提供和解释有关设计文件及图纸等资料，使学员对系统的各个方面都能熟练掌握； 针对系统的具体操作一一指导，使相关人员掌握技术要领； 对学员提出的问题进行详细解答； ...

2）共聚焦显微镜方法 共聚焦显微镜包括LED光源、旋转多***盘、带有压电驱动器的物镜和CCD相机。LED光源通过多***盘（MPD）和物镜聚焦到样品表面上，从而反射光。反射光通过MPD的***减小到聚焦的部分落在CCD相机上。传统光学显微镜的图像包含清晰和模糊的细节，但是在共焦图像中，通过多***盘的操作滤除模糊细节（未聚焦），只有来自聚焦平面的光到达CCD相机。因此，共聚焦显微镜能够在纳米范围内获得高 分辨率。 每个共焦图像是通过样品的形貌的水平切片，在不同的焦点高度捕获图像产生这样的图像的堆叠，共焦显微镜通过压电驱动器和物镜的精确垂直位移来实现。200到400个共焦图像通常在...

表面三维轮廓仪对精密加工的作用： 一、从根源保障物件成品的准确性： 通过光学表面三维轮廓仪的扫描检测，得出物件的误差和超差参数，**提高物件在生产加工时的精确度。杜绝因上游的微小误差形成“蝴蝶效应”，造成下游生产加工的更大偏离，**终导致整个生产链更大的损失。 二、提高效率： 智能化检测，全自动测量，检测时只需将物件放置在载物台，然后在检定软件上选择相关参数，即可一键分析批量测量。摈弃传统检测方法耗时耗力，精确度低的缺点，**提高加工效率。 三、涵盖面广的2D、3D形貌参数分析： 表面三维轮廓仪可测量300余种2D、3D参数，无论加工的物件使用...

filmOnline查film3D图像並与其互动.请参考我们新型光学轮廓仪!film3D使得光学轮廓测量更易负担***，表面粗糙度和表面形貌测量可以用比探针式轮廓仪成本更低的仪器来进行。film3D具有3倍於于其成本仪器的次纳米级垂直分辨率,film3D同样使用了现今比较高 分辨率之光学轮廓仪的测量技术包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)。索取技术资料索取报价这就是您需要的解析力Thefilm3D的直观软件包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量。在数秒内，您可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量。***!**的网路...

白光干涉轮廓仪对比激光共聚焦轮廓仪 白光干涉3D显微镜： 干涉面成像， 多层垂直扫描 比较好高度测量精度：< 1nm 高度精度不受物镜影响 性价比好 激光共聚焦3D显微镜： 点扫描合成面成像， 多层垂直扫描 Keyence（日本） 比较好高度测量精度：～10nm 高度精度由物镜决定，1um精度@10倍 90万-130万 三维光学轮廓仪采用白光轴向色差原理（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高 分辨率的三维测量，测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，台...

NanoX-2000/3000 系列 3D 光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量（PSI）、白光垂直扫描干涉测量（VSI）和单色光 垂直扫描干涉测量（CSI）等技术的基础上，以其纳米级测量准确度和重复性（稳定性）定量地反映出被测件的表面粗 糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。 使用范围广: 兼容多种测量和观察需求 保护性: 非接触式光学轮廓仪 耐用性更强， 使用无损 可操作性:一键式操作，操作...

轮廓仪的技术原理 被测表面(光)与参考面(光)之间的光程差（高度差）形成干涉 移相法(PSI) 高度和干涉相位 f = (2p/l ) 2 h 形貌高度: < 120nm 精度: < 1nm RMS重复性: 0.01nm 垂直扫描法 (VSI+CSI) 精度： /1000 干涉信号~光程差位置 形貌高度: nm-mm, 精度: >2nm 干涉测量技术：快速灵活、超纳米精度、测量精度不受物镜倍率影响 以下来自网络： 轮廓仪，能描绘工件表面波度与粗糙度，并给出其数值的仪器，采用精密气浮导轨为...

轮廓仪在晶圆的IC封装中的应用： 晶圆的IC制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV刻蚀到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程，其中由于光罩中电路结构尺寸极小，任何微小的黏附异物和下次均会导致制造的晶圆IC表面存在缺 陷，因此必须对光罩和晶圆的表面轮廓进行检测，检测相应的轮廓尺寸。 白光轮廓仪的典型应用： 对各种产品，不见和材料表面的平面度，粗糙度，波温度，面型轮廓，表面缺 陷，磨损情况，腐蚀情况，孔隙间隙，台阶高度，完全变形情况，加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 200到400个共焦图像通常在几秒内被捕获，之后软件从共焦图像的堆栈重建精确的...

1.5. 系统培训的注意事项 如何使用电子书阅读软件和软、硬件的操作手册； 数据采集功能的讲解：通讯端口、连接计算器、等待时间等参数的解释和参数设置； 实际演示一一讲解； 如何做好备份和恢复备份资料； 当场演示各种报表的操作并进行操作解说； 数据库文件应定时作备份，大变动时更应做好备份以防止系统重新安装时造成资料数据库的流失； 在系统培训过程中如要输入一些临时数据应在培训结束后及时删除这些资料。 备注：系统培训完成后应请顾客详细阅读软件操作手册，并留下公司“客户服务中心”的电话与...

轮廓仪，能描绘工件表面波度与粗糙度，并给出其数值的仪器，采用精密气浮导轨为直线基准。轮廓测试仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器，作为精密测量仪器在汽车制造和铁路行业的应用十分***。（来自网络） 先进的轮廓仪集成模块 60年世界水平半导体检测技术研发和产业化经验 所有的关键硬件采用美国、德国、日本等 PI ，纳米移动平台及控制 Nikon，干涉物镜 NI，信号控制板和Labview64 控制软件 TMC 隔震平台 世界先进水平的计算机软硬件技术平台 VS2012/64位，....

轮廓仪的功能: 廓测量仪能够对各种工件轮廓进行长度、高度、间距、水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径等几何参数测量。测量效率高、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。 白光轮廓仪的典型应用： 对各种产品，不见和材料表面的平面度，粗糙度，波温度，面型轮廓，表面缺 陷，磨损情况，腐蚀情况，孔隙间隙，台阶高度，完全变形情况，加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 如果您想要了解更多的信息，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。 由于光罩中电路结构尺寸极小，任何微小的黏附异物和下次均会导致制造的晶圆IC表面存在缺 陷。霍梅尔轮廓仪有哪些品牌 比较大视场T...

轮廓仪的性能 测量模式 ： 移相干涉（PSI），白光垂直扫描干涉（VSI），单色光垂直扫描干涉（CSI） 样 品 台 ： 150mm/200mm/300mm 样品台（可选配） XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，倾斜：±5° 可选手动/电动样品台 CCD 相机像素： 标配：1280×960 视场范围： 560×750um（10×物镜） 具体视场范围取决于所配物镜及 CCD 相机 光学系统： 同轴照明无限远干涉成像系统 光 源： 高 效 LED Z 方向聚焦 80mm 手动...

轮廓仪在集成电路的应用 封**ump测量 视场：72*96（um）物镜：干涉50X 检测位置：样品局部 面减薄表面粗糙度分析 封装：300mm硅片背面减薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析：2D, 3D显示；线粗糙度分析：Ra, Ry，Rz，… 器件多层结构台阶高 MEMS 器件多层结构分析、工艺控制参数分析 激光隐形切割工艺控制 世界***的能够实现激光槽宽度、深度自动识别和数据自动生成，**地缩 短了激光槽工艺在线检测的时间，避免人工操作带来的一致性，可靠性问题 欢迎咨询。 轮廓仪可用于：微结构均匀性 缺 陷，表面粗糙度。粗...

1）白光轮廓仪的典型应用： 对各种产品，不见和材料表面的平面度，粗糙度，波温度，面型轮廓，表面缺 陷，磨损情况，腐蚀情况，孔隙间隙，台阶高度，完全变形情况，加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 2）共聚焦显微镜方法 共聚焦显微镜包括LED光源、旋转多***盘、带有压电驱动器的物镜和CCD相机。LED光源通过多***盘（MPD）和物镜聚焦到样品表面上，从而反射光。反射光通过MPD的***减小到聚焦的部分落在CCD相机上。传统光学显微镜的图像包含清晰和模糊的细节，但是在共焦图像中，通过多***盘的操作滤除模糊细节（未聚焦），只有来自聚焦平面的光到达CCD相机。因此，共...

1）白光轮廓仪的典型应用： 对各种产品，不见和材料表面的平面度，粗糙度，波温度，面型轮廓，表面缺 陷，磨损情况，腐蚀情况，孔隙间隙，台阶高度，完全变形情况，加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 2）共聚焦显微镜方法 共聚焦显微镜包括LED光源、旋转多***盘、带有压电驱动器的物镜和CCD相机。LED光源通过多***盘（MPD）和物镜聚焦到样品表面上，从而反射光。反射光通过MPD的***减小到聚焦的部分落在CCD相机上。传统光学显微镜的图像包含清晰和模糊的细节，但是在共焦图像中，通过多***盘的操作滤除模糊细节（未聚焦），只有来自聚焦平面的光到达CCD相机。因此，共...

比较椭圆偏振仪和光谱反射仪光谱椭圆偏振仪(SE)和光谱反射仪(SR)都是利用分析反射光确定电介质，半导体，和金属薄膜的厚度和折射率。两者的主要区别在于椭偏仪测量小角度从薄膜反射的光,而光谱反射仪测量从薄膜垂直反射的光。获取反射光谱指南入射光角度的不同造成两种技术在成本，复杂度，和测量能力上的不同。由于椭偏仪的光从一个角度入射，所以一定要分析反射光的偏振和强度，使得椭偏仪对超薄和复杂的薄膜堆有较强的测量能力。然而，偏振分析意味着需要昂贵的精密移动光学仪器。光谱反射仪测量的是垂直光，它忽略偏振效应（绝大多数薄膜都是旋转对称）。因为不涉及任何移动设备，光谱反射仪成为简单低成本的仪器。光谱反射...

轮廓仪、粗糙度仪、三坐标的区别： 关于轮廓仪和粗糙度仪 轮廓仪与粗糙度仪不是同一种产品，轮廓仪主要功能是测量零件表面的轮廓形状，比如：汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸、角度等），圆柱表面素线的直线度等参数。总之，轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。粗糙度仪的功能是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量，通俗地讲，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老国标叫光洁度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。 但是，轮廓仪和粗糙度仪关系其实挺密切，现在有一种仪器叫做粗糙度轮廓测量一体机，就是在轮廓仪上加装了粗糙度测量模块，这样既可以测量轮廓尺...