薄膜应力分析仪是一种通过测量薄膜在不同工艺条件下的形变而分析薄膜膜层应力状态的仪器。其工作原理主要基于弹性应变理论,测量薄膜在不同状态下的形状改变,根据相关参数计算出薄膜膜层的应力状态。通常,薄膜应力...
电阻率测量仪产品特点:1. 非接触式测量:电阻率测量仪可以进行非接触式的电阻率测量,不会对被测物体造成影响,同时避免了测试人员接触高压电器的危险,提高了工作安全性;2. 高度精度:电阻率测量仪精度高,...
EVG320技术数据晶圆直径(基板尺寸)200、100-300毫米清洁系统开室,旋转器和清洁臂腔室:由PP或PFA制成(可选)清洁介质:去离子水(标准),其他清洁介质(可选)旋转卡盘:真空卡盘(标准)...
使用说明书解锁系统后,将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。调整负载补偿:将负载放在蕞上面,并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车...