自净型传递窗的结构设计融合了净化工程与机械设计的双重要求。箱体采用 304 或 316L 不锈钢材质焊接而成,内壁圆弧角处理避免积尘,表面电解抛光工艺进一步提升抗腐蚀能力与清洁便利性;门体通常采用钢化玻璃视窗搭配不锈钢框架,配合电磁锁互锁系统防止两侧门同时开启;净化单元由风机组、初效与高效过滤器组合而成,部分型号还配备压差表监测过滤器阻力变化,当阻力达到初始值的 1.5-2 倍时提示更换滤芯;控制系统采用 PLC 智能程序,可设定自净时间、风机启停逻辑及故障报警功能,部分先进机型支持与洁净室集中监控系统联网,实现远程状态监测。在电子半导体行业的晶圆传递场景中,自净型传递窗常搭配防静电接地装置,避免高精密元件因静电吸附微粒污染。定期检查传递窗的密封条,确保密闭性防止未净化空气渗入。青海常见传递窗

节能设计是自净型传递窗技术发展的重要方向。通过采用 EC 变频风机,可根据实际需要调节风量,在非工作时段降低能耗;热回收技术的应用将排风能量传递给进风,减少空调系统的冷热量损失;LED 紫外线灯相比传统汞灯可节能 30% 以上,且无汞污染风险。在大型制药企业的洁净车间集群中,多台自净型传递窗的集中控制系统可根据生产班次智能调度设备运行,避免闲置时的能源浪费。欧盟 EP 标准对洁净室设备的能效等级提出明确要求,未来自净型传递窗的设计将更注重生命周期成本优化,在保证净化性能的前提下降低运行能耗。辽宁如何传递窗厂家传递窗的内部照明设计,便于操作人员清晰观察和取放物品。

压差控制与气流组织密切相关,传递窗的进排风位置需遵循 “上送下回” 或 “侧送侧回” 原则,避免形成气流死角。对于自净型传递窗,内部循环风机的风量需与压差控制需求匹配,例如在 ISO 5 级洁净室中,循环风量需达到箱体容积的 500 倍 / 小时以上,确保在门关闭时快速建立稳定压差。实际应用中,压差调试需结合洁净室整体风量测试进行,使用热球风速仪检测传递窗门缝的气流方向(应始终向洁净室外侧),风速≥0.25m/s 以形成有效气幕。定期(每季度)校准压差传感器的零点与量程,防止因传感器漂移导致压差失控,是压差控制系统维护的关键步骤。在医药洁净厂房的验证过程中,需通过烟雾模拟测试传递窗开启时的气流走向,确认污染空气不会逆向流入洁净区,确保压差控制方案的有效性。
对于自净型传递窗,需重点测试高效过滤器出风面的风速均匀性,使用风速仪(精度 ±3%)在出风面网格布点(间距≤200mm),检测各点风速是否在 0.36-0.54m/s 范围内(ISO 14644-3 推荐值),不均匀度≤20%。气流流型测试需在空态与满载状态下分别进行:空态测试验证设备本身的气流设计合理性;满载测试则模拟实际使用场景,在箱体内放置典型传递物品(如周转箱、晶圆盒),观察物品摆放是否对气流造成遮挡,导致局部涡流产生。当发现气流死角时,需调整物品放置方式或优化箱体内部导流板设计,确保污染物无滞留风险。使用传递窗时需提前开启紫外杀菌灯,对传递物品进行表面消毒处理。

控制系统具备严格的权限管理功能,只有经过静电防护培训的人员才能操作,防止非授权使用带来的污染风险。设备验证需通过粒子计数扫描(每立方米≥0.1μm 粒子数≤10 个)、静电衰减测试(1000V 到 100V 衰减时间≤2 秒)与振动测试(加速度≤0.5g,频率 10-200Hz),确保在晶圆搬运机器人(AMHS)对接过程中无振动导致的颗粒脱落。在先进封装的 Flip Chip 工艺中,传递窗需与真空系统联动,当传递含有易氧化金属凸点的芯片时,先对箱体抽真空至 10^-3mbar,再充入氮气保护,防止凸点在传递过程中氧化失效。这种高可靠性的传递窗设计,不只保障了晶圆制造的良率,也满足了半导体行业对微污染控制的优良追求。传递窗的紫外杀菌时间需根据物品类型和污染程度合理设置。青海常见传递窗
传递窗的电源应配备稳压装置,保障设备稳定运行。青海常见传递窗
压差控制系统的关键组件包括微压差变送器(精度 ±0.5Pa)、PLC 控制器与电动风阀。微压差变送器实时监测传递窗与洁净室的压力差值,信号传输至 PLC 后与设定值对比,当压差低于下限(如 5Pa)时,PLC 输出指令开启电动风阀,从洁净室新风管引入正压空气;当压差超过上限(如 15Pa)时则打开排风阀释放多余压力,形成闭环控制。这种动态调节机制可在门开启过程中快速响应,将压力波动控制在 ±2Pa 范围内,避免因压力失衡导致的污染物扩散。在生物安全实验室的负压传递窗设计中,压差控制更为严格,需确保箱体内压力始终低于相邻洁净区 10Pa 以上,且配备压力传感器故障报警功能,防止有害气溶胶泄漏。青海常见传递窗